201386. lajstromszámú szabadalom • Turbomolekuláris vákuumszivattyú
HU 201386 B 2 A dinamikus tömítésnek az 50 hornyok (2. ábra) által alkotott járulékos 36 csatornáin áthaladó gázáramlás nyomása mintegy nagyságrendnyivel emelkedik, úgy hogy a turbomolekuláris vákuumszivattyú evakuálási tulajdonságait legalább 30 %-kal javítani lehessen. A 36 csatornák mélysége folytonosan csökken az ,.N" nyíllal jelölt gáznyomás-oldaltól a „V” nyíllal jelölt gázszívási-oldalig. A dinamikus tömítésnek az 52 bordák (2. ábra) által alkotott járulékos 36 csatornáin áthaladó gázáram nyomása mintegy az ötszörösére emelkedik, miáltal a turbomolekuláris vákuumszivattyú evakuálási tulajdonságai legalább 20 %-kal javíthatók. A 36 csatornák mélysége folyamatosan csökken a „V" nyíllal jelölt gázszívó-oldaltól az „N” nyíllal jelölt gáznyomó-oldalig. A dinamikus tömítés járulékos 36 csatornáinak ilyen kialakításához jelentős előnyként fűződik az a tény. hogy azok a turbomolekuláris vákuumszivattyúnak egy hirtelen nyomásemelkedés következtében történő kiesésével szemben úgy viselkednek, hogy a 36 csatornákon belül ellenállást képeznek a viszkózus gázáram részére. Ipari értékesítés tekintetében a találmány szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyú a legkülönbözőbb technológiai berendezéseknél alkalmazható, ahol 1(H Pa és 10-7 Pa közötti gáznyomású vákuumot kell létrehozni és fenntartani. így például mikrokapcsolások gyártásakor használt elektronikákban, mesterséges kristályok növesztésénél, valamint különféle kutatóberendezéseknél és -készülékeknél, amelyeket vákuum alkalmazásával kell üzemeltetni, pl. elemi részecskék gyorsítását szolgáló berendezéseknél, tömegspektrométereknél és elektromikroszkópoknál. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Turbomolekuláris vákuumszivattyú üreges sztátorral (1), melynek belsejében egy üreges rotor (2) helyezkedik el, ahol is közöttük egy turbomolekuláris gázevakuáló fokozat csatornái (3), valamint egy molekuláris gázevakuáló fokozat ezekkel összekötött csatornái (4) találhatók, melyek egy dinamikus tömítés csatornáival (34) vannak összekötve, amelyek öszszeköttetésben állnak a szabad atmoszférával és az üreges rotor (2) belsejében található csapágy (16) belső felülete, valamint azon hornyok által vannak kialakítva, amelyek a tengely (14) külső felületének egy szakaszában (35) derékszögű, több-bekezdésű csavarmenet alakjában vannak kiképezve, s amelyeknek mélysége folytonosan csökken a gázszívó-oldaltól a gáznyomó-oldalig, azzal jellemezve, hogy a dinamikus tömítés járulékos csatornákkal (36) rendelkezik, melyek a dinamikus tömítés fő csatornáival (34) és a molekuláris gázevakuáló fokozat csatornáival (4) vannak összekötve és a rotor (2) belső felületének egy szakaszában (37), derékszögű, több bekezdésű csavarmenetként kialakított hornyok (50) útján, valamint a csapágy (16) ezen szakasz (37) felé fordult külső felülete által vannak kialakítva. 2. Az 1. igénypont szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyú, azzal jellemezve, hogy a dinamikus tömítés fő csatornáihoz (34) és járulékos csatornáihoz (36) szolgáló hornyok (48, 50) csavarmenetei ellentétes irányúak, s a járulékos csatornák (36) hornyainak (50) mélysége folyamatosan csökken a gáznyomó-oldaltól a gázszívó-oldalig. 3. Az 1. igénypont szerinti turbomolekuláris vákuumszivattyú, azzal jellemezve, hogy a dinamikus tömítés fő csatornáihoz (34) és a járulékos csatornáihoz (36) tartozó hornyok (48, 51) azonos menetirányúak, s a járulékos csatornák (36) hornyainak (51) mélysége folymatosan csökken a gázszívó-oldaltól a gáznyomó-oldalig. 5 10 15 20 25 30 35 5
