201386. lajstromszámú szabadalom • Turbomolekuláris vákuumszivattyú
HU 201386 B tt W4+< < 7 i ___________________________________is k é> »M \ú. Jll tfJ7Jß 38J5MAiű „ |ir^Sfl^LJ /y/JÓ/r^^^ \( ( i||l|^..W,Y..,'^^ S Ili ififcpsiM vU I s I 'V J _ FE1 ■■ h<s
/