200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
11 HU 200 845 A 12 A 8. ábrán szemléltetett mérőkör az 5. ábrán bemutatottnak a frekvenciatartománybeli megfelelője, a szükséges jelölésekkel. A 9. ábrán látható a találmány szerinti eljárás egyszerűsített megvalósításában létrehozandó „torzulási” karakterisztika . A 10. ábra jelalak korrekciókat szemléltet, amelyek szerint történik a 9. ábrán bemutatott „torzulási” karakterisztika adatai alapján a 11. ábrán látható „helyreállító” korrekciós karakterisztika meghatározása. A 12. ábra a találmány szerinti eljárás során létrejövő jelalak korrekció példakénti érdemi jelalakjait mutatja be a szükséges jelölések feltüntetésével. A 13. ábra szemlélteti a berendezéshez tartozó előnyös kiviteli alak külön kiemelt rajzát. A 14. ábrán a találmány szerinti eljárás harmadik mérő és szabályzó hurkának a működési leírásához szükséges jelalakjai láthatók, a szükséges jelölésekkel. A találmány szerinti eljárást az 1—7. ábrák alapján ismertetjük: Az eljárás során „n" számú bemenetű és „m” számú kimenetű közvetlen 11 mérőhelybe mérendő 12 integrált áramkört behelyezünk, amelyet „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjellel előírásszerűén működtetünk. Az így működő mérendő 12 integrált áramkör „m” számú kimeneti valós ídut out (t) válaszjelét impulzus 16 átviteli illesztőn, kimeneti koaxiális 15 demultiplexeren át kimeneti 17k mintavevővel leképezzük és kimeneti fcH2(t) mintavett jelként tároljuk. Előállítunk továbbá nagystabilitású Tbase időalapjelet Tref referencia időponttal, amelyhez képest első, második Hi,H2 mérő és szabályzó hurokkal végzett szabályozással „k" számú TMRi... TMRk időzítőjelet hozunk létre az „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjel időzítésére. A mérendő 12 integrált áramkör paramétermérését megelőzően azt eltávolítjuk és a közvetlen 11 mérőhelyre etalon 13 tápvonalat helyezünk be. A találmány szerinti eljárásra jeliemző, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjelet bemeneti koaxiális 14 demultiplexeren át bemeneti 17b mintavevővel leképezzük és bemeneti fcH 1 (t) mintavett jelként tároljuk. Az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjel helyett, azaz az „n” számú 8 driverelemek „n” számú geometriai 10 kimeneti pontjára változtatható kapcsolási idejű fig(t) gerjesztőjelet csatolunk, amelynek 11 gR/F kapcsolási idejét f1s(t) egységugrás jelalakot előírt pontossággal megközelítő értékűre állítjuk be. Ezután az f1s(t) egységugrás jelalakot mind bemeneti, mind kimeneti Mb, Mk mérővonalon át megmérjük és bemeneti, kimeneti fcHis(t), fcH2s(t) mintavett átmeneti jelként tároljuk. Majd a két fcHis(t), fcH2s(t) mintavett átmeneti jellel, valamint ismételt mérési és közelítési lépésekkel meghatározott bemeneti, kimeneti Kcm(t), KcH2(t) első korrekciós karakterisztikával konvolváljuk, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, kimeneti fKCHis(t), fkCH2s(t) korrigált mintavett átmeneti jel előírt pontossággal megközelíti a megmért f1s(t), egységugrás jelalakját. Ezután csökkentjük a változtatható kapcsolási idejű fig(t) gerjesztőjel tigR/F kapcsolási idejét és ezalatt külső etalon sampling 24 oszcilloszkóppal megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyén, illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő 12 integrált áramkört közvetlenül meghajtó ídut inŰ) valós bemeneti jel tR/F dut iNm az adott mérendő 12 integrált áramkörre jellemző kapcsolási idejét. Ezt követően lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási idejű f 1 g(t) gerjesztőjel tigR/Fm tényleges kapcsolási idejét, majd ezen két mérési eredményből a bemeneti, kimeneti Kcm(t), KcH2(t) első korrekciós karakterisztikára azonos módon meghatározzuk az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjel csatlakozási helye, egyben az „n" számú 8 driverelem geometriai 10 kimeneti pontja, valamint a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének illesztett állapotú „n” számú bemeneti pontja közötti mórővonalszakasz torzító hatását figyelembevevő KF2(t) második korrekciós karakterisztikát. Ezután a bemeneti és kimeneti Kcm(t), KcH2(t) első korrekciós karakterisztikát a Kp2(t) második korrekciós karakterisztikával összeszorozzuk és tároljuk egyrészt a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „n” számú bemeneti pontjára normált bemeneti Kxcm(t) harmadik korrekciós karakterisztikát, másrészt a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „m” számú kimeneti pontjára normált kimeneti KxcH2(t) harmadik korrekciós karakterisztikát. Továbbá az eddigi műveleteket az „n” számú bemeneti Mb mérővonal mindegyikére és az „m” számú kimeneti Mk mérővonai mindegyikére elvégezzük, és az „n” számú bemeneti és az „m” számú kimeneti KxcHi(t), KxcH2(t) harmadik korrekciós-karakterisztikát tároljuk. Ezután a mérendő 12 integrált áramkört a közvetlen 11 mérőhelybe visszahelyezve előírásszerűén működtetjük és ezen működés közben dinamikus paraméterméréseket végzünk. A torzító tényezőket is tartalmazó adott számú bemeneti fKCHi(t) mintavett jelet a megfelelő sorszámú bemeneti KxcHi(t) harmadik korrekciós karakterisztikával konvolváljuk, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti fkch i (t) korrigált, tárolt jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „n” számú bemeneti pontján a valós ídut inű) bemeneti jelet. Továbbá a torzító tényezők hatását is tartalmazó adott számú kimeneti fcH2(t) mintavett jelet a megfelelő sorszámú kimeneti KxcH2(t) harmadik korrekciós karakterisztika segítségével konvolváljuk, amelyekre Igaz, hogy a műveletek elvégzése után a kimeneti, 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 8
