200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
13 HU 200845 A 14 fKCH2(t), korrigált, tárolt jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „m” számú kimeneti pontján a valós ídut 0UT(t) válaszjelet. Majd mind az „n” számú bemeneti Mb mérővonal és mind az „m" számú kimeneti Mk mérővonal saját késleltetési időit megmér jük, a geometriai eltérésekből adódó késleltetési idők eltérését minden egyes „n” számú bemeneti, illetve „m" számú kimeneti Mb, Mk mérővonalra az átlaghoz képest meghatározzuk, tároljuk. Ezután a bemeneti, kimeneti <kchi (t), fKCH2(t) korrigált, tárolt jelek jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk és a dinamikus paraméterek mérésekor ezen mérővonalankénti tárolt eltérési értékeket a meghatározott dinamikus paraméterekhez hozzáadjuk vagy levonjuk. Az eljárás egy előnyös foganatosítási mód jára jellemző, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és Időzíthető f 1 (t) gerjesztőjel helyett, azaz az „n” számú 8 drivereiemek „n” számú geometriai 10 kimeneti pontjára változtatható kapcsolási idejű f1g(t) gerjesztőjelet csatolunk és annak tigR/p kapcsolási idejét diszkrét értékekkel folyamatosan változtatjuk. Megmérjük a változtatható kapcsolási idejű f1g(t) gerjesztőjel minden egyes diszkrét ti9r/f kapcsolási idejéhez tartozó bemeneti fcHig(t) gerjesztett mintavett jelek tps/Fgcm kapcsolási időit, valamint a kimeneti fcH2g(t) gerjesztett mintavett jelek tR/FgCH2 kapcsolási időit. Ezután a megmért összetartozó értékekből előállítunk bemeneti, kimeneti Afcm, AfcH2 torzulási karakterisztikát, majd a külső etalon sampling 24 oszcilloszkóppal megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyén Illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő 12 integrált áramkört közvetlenül meghajtó valós ídut in(I) bemeneti jel tR/F dut iNm az adott mérendő 12 Integrált áramkörre jellemző kapcsolási idejét. Egyúttal lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási idejű f1g(t) gerjesztőjel tigR/F m tényleges kapcsolási idejét és ezen két mérési eredmény, valamint a bemeneti és kimeneti AfcH 1, AfcH2 torzulási karakterisztika alapján meghatározzuk és tároljuk mind a bemeneti, mind a kimeneti Mb, Mk mérővonalra vonatkozó bemeneti, kimeneti Km, Kh2 helyreállító korrekciós karakterisztikát. A mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyén történő mérésénél egyrészt a bemeneti Mb mérővonalon megmért bemeneti fcm(t) mlntavett jelet a bemeneti Mb mérővonal bemeneti Km helyreállító korrekciós karakterisztikájával szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a bemeneti fhch 1 (t) módosított jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „n” számú bemeneti pontján az előírt kapcsolási idejű, valós ídut iN(t) bemeneti jelet. Másrészt a kimeneti Mk mérővonalon megmért kimeneti fcH2(t) mintavett Jelet a kimeneti Mk mérővonal kimeneti Kh2 helyreállító korrekciós karakterisztikájával szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a kimeneti ÍHCH2(t) módosított jel leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „m” számú kimeneti pontján a valós ídut oirr(t).kimeneti válaszjelet. Majd a bemeneti, kimeneti Km, Kh2 hely reállító korrekciós karakterisztikával elvégzett szorzások után a bemeneti, kimeneti fHcm(t), fHCH2(t) módosított jelek jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk. Az eljárás egy további előnyös foganatosítási módjára jellemző, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f1(t) gerjesztőjelet az eljárás eddigi lépéseinek alkalmazásával a bemeneti Mb mérővonalon megmérjük, majd az „n" számú bemeneti f«CHi(t) korrigált, tárolt jelek, vagy a bemeneti íhchi (t) módosított jelek jelalakjának kijelölt idejű pontját harmadik H3 mérő és szabályzó hurokkal az „n" számú bemeneti, íkch 1 (t), korrigált, tárolt jel vagy a bemeneti fhch 1 (t) módosított jel bármelyike jelalakjának kijelölt időpontjához előírt időértékkel beszabályozzuk. A találmány szerinti eljárás lényegének el méleti levezetése a 2—7. ábra szerinti elvi rajzok alapján történik. A leírásban szereplő hivatkozási jelek részletes tartalma az alábbi: Az első Hí mérő és szabályzó hurok az 1 időalapjel generátorból, az 5 időzítő rendszerből, ezek összeköttetéseiből, továbbá a 23 BUS csatornán át kapcsolódó 22 rendszervezérlőből áll (Egy előnyös megvalósítás esetén a 4 időmérő is a hurok részét képezi). A második H2 mérő és szabályzó hurok az első Hí mérő és szabályzó hurokból, „n” számú' 9 kapuelemből és a 7 PIN logikából áll. A harmadik H3 mérő és szabályzó hurok az 1 időalapjel generátorból, az 5 időzítő rend szerből, a 7 PIN logikából, „n” számú 8 driverelembői, a bemeneti Mb mérővonalból, továbbá a 23 BUS csatornán át kapcsolódó 22 rendszervezérlőből áll. A bemeneti Mb mérővonal a bemeneti koaxiális 14 demultiplexerből, a bemeneti 17b min tavevőből, a 18 jelalak analizátor egyik CH1 bemenetéből, és ezek összeköttetéseiből áll. A kimeneti Mk mérővonal a közvetlen 11 mérőhelyből, az impulzus 16 átviteli illesztőből, a kimeneti koaxiális 15 demultiplexerből, a kimeneti 17k mintavevőből, a 18 jelalak analizátor másik CH2 bemenetéből és ezek összeköttetéseiből áll. A gyakorlatban a problémát az okozza, hogy a mérendő 12 integrált áramkör (Device Under Test, rövidítve DUT) bemeneteire vezetett „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f 1 (t) gerjesztőjel a közvetlen 11 mérőhely illesztett bemeneti pontján valós ídut iN(t) bemeneti jelként jelenik meg mérőautomata kivitelű berendezés esetén (lásd 2. ábra), tehát nem egyszeri manuális mérés esetén és csak Jelentős torzítással mérhető a bemeneti 17b mintavevő 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 9
