200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
27 HU 200 845 A 28 A berendezés valamennyi programozható elemét az ismert kivitelű 22 rendszervezérlő vezérli az ismert kivitelű 23 BUS csatornán keresztül, megfelelően magasszintű méréstechnikaorientált programnyelv segítségével. A találmány szerinti eljárás és az azt megvalósító berendezés a célkitűzéseit megvalósította, a GaAs alapú integrált áramkörök dinamikus paramétereinek (tpd késleltetési idők, írise felfutási idő, tFALL lefutási idő, impulzusszélesség ideje, stb.) mérési pontosságát a „mért érték ± 3%-a, ± 0,5 LSB, ± 10 ps jitter” műszaki adat garantálásával biztosítja, ahol az LSB a mintavételezés időfelbontását jelenti. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére, amelynek során „n” számú bemenetű és „m” számú kimenetű közvetlen mérőhelybe (11) mérendő integrált áramkört (12) behelyezünk, amelyet „n" számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjellel (f 1 (t)) előírásszerűén működtetünk, s az így működő mérendő integrált áramkör (12) „m" számú kimeneti valós válaszjelét (ídut out (t)) impulzus átviteli illesztőn (16), kimeneti koaxiális demultiplexeren (15) át kimeneti-mintavevővel (17k) leképezzük és kimeneti mintavett jelként (fcH2(t)) tároljuk, előállítunk továbbá nagystabilitású időalapjelet (Tbase) referencia időponttal (Tref), amelyhez képest első, második mérő és szabályzó hurokkal (Hi, H2) végzett szabályozással „k” számú időzítőjelet (TMR|...TMRk) hozunk létre az „n” számú egyidejűleg programoz ható és időzíthető gerjesztőjel (f 1 (t)) időzítésére, a mérendő integrált áramkör (12) paramétermérését megelőzően azi eltávolítjuk és a közvetlen mérőhelyre (11) etalon tápvonalat (13) helyezünk be, azzal jellemezve, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjelet (f 1 (t)) bemeneti koaxiális demultiplexeren (14) át bemeneti mintavevővel (17b) leképezzük és bemeneti mintavett jelként (fcH 1 (t)) tároljuk, az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel (f 1 (t)) helyett, vagyis az „n” számú driverelemek (8) „n” számú geometriai kimeneti pontjára (10) változtatható kapcsolási Idejű gerjesztőjelet (f1g(t)) csatolunk, amelynek kapcsolási idejét (tigR/F) egységugrás jelalakot (f1s(t)) előírt pontosság gal megközelítő értékűre állítjuk be, ezután az egységugrás jelalakot (fls(t)) mind bemeneti, mind kimeneti mérővonalon (Mb, Mk) át megmérjük és bemeneti, kimeneti egységugrás mintavett átmeneti jelként (fcms(t), (fcH2s(t)) tároljuk, majd a két mintavett átneneti jellel (fcms(t), fcH2s(t)), valamint ismételt mérési és közelítési lépésekkel meghatározott bemeneti, kimeneti első korrekciós karakterisztikával (Kcm(t), KcH2(t)) az (V), (VI) egyenlet szerinti műveleteket elvégezzük, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, kimeneti korrigált mintavett átmeneti jel (fKCHis(t), fkCH2s(t)) előírt pontossággal megközelíti a megmért egységugrás jelalakját (f1s(t)), majd csökkentjük a változtatható kapcsolási Idejű gerjesztőjel (f1g(t)) kapcsolási idejét (tigR/F), ezalatt külső etalon sampling oszcilloszkóppal (24) megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyén (11), illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő integrált áramkört (12) közvetlenül meghajtó valós bemeneti jel (ídut iN(t) az adott mérendő integrált áramkörre (12) jellemző kapcsolási idejét (tR/F dut iNm), ezt követően lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel (f1g(t)) tényleges kapcsolási idejét (tigR/Fm), majd ezen két mérési eredményből a bemeneti, kimeneti első korrekciós karakterisztikával ((Kch 1 (t), KcH2(t)) azonos módon meghatározzuk az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel (f 1 (t)) csatlakozási helye, egyben az „n” számú driverelem (8) geometriai kimeneti pontja (10), valamint a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) illesztett állapotú „n” számú bemeneti pontja közötti mérővonalszakasz torzító hatását figyelembevevő második korrekciós karakterisztikát (Kp2(t)), ezután a bemeneti és kimeneti első korrekciós karakterisztikával (Kcph (t), (KcH2(t)), valamint a második korrekciós karakterisztikával (Kf2(<)) a (VII), (Vili) egyenlet szerinti műveletet elvégezzük és tároljuk egyrészt a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „n” számú bemeneti pontjára normált bemeneti harmadik korrekciós karakterisztikát (Kxcm(t)), másrészt a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „m” számú kimeneti pontjára normált kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikát (KxcH2(t)), továbbá az eddigi műveleteket az „n” számú bemeneti mórővonal (Mb) mindegyikére és az „m” számú kimeneti harmadik mórővonal (Mk) mindegyikére elvégezzük, és az „n” számú bemeneti és az „m” számú harmadik kimeneti korrekciós karakterisztikát (KxcHi(t), KxcH2(t)) tároljuk, ezután a mérendő integrált áramkört (12) a közvetlen mérőhelybe (11) visszahelyezve a mérendő integrált áramkört (12) előírásszerűén működtetjük, ezen működés közben dinamikus paraméterméréseket végzünk, a torzító tényezők hatását is tartalmazó adott számú bemeneti mintavett jellel (fcmO)), valamint a megfelelő sorszámú bemeneti harmadik korrekciós karakterisztikával (Kxcm(t)) a (IX) egyenlet szerinti műveleteket elvégezzük, amelyekre igaz, hogy a műveletek elvégzése után a bemeneti, korrigált, tárolt jel (f«CHi(t)) leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „n” számú bemeneti pontján a valós bemeneti jelet (ídut iN(t)), továbbá a torzító tényezők hatását is tartalmazó adott számú kimeneti mintavett jelet (fcH2(t)), valamint a megfelelő sorszámú kimeneti harmadik korrekciós karakterisztikával (KxcH2(t)) a (X) egyenlet szerinti műveleteket 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 16
