200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
29 HU 200845 A 30 elvégezzük, amelyekre Igaz, hogy a műveletek elvégzése után a kimeneti, korrigált, tárolt jel (fKCH2(t)) leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő Integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „m” számú kimeneti pontján a valós válaszjelet (főm 0UT(t)), majd mind az „n" számú bemeneti mérővonal (Mb) és mind az „m” számú kimeneti mérővonal (Mk) saját késleltetési időit megmérjük, a geometriai eltérésekből adódó késleltetési idők eltérését minden egyes „n” számú bemeneti, illetve „m” számú kimeneti mérővonalra (Mb, Mk) az átlaghoz képest meghatározzuk, tároljuk, ezután a bemeneti, kimeneti korrigált, tárolt jelek (fKCHi(t), (fKCH2(t)) jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk és a dinamikus paraméterek mérésekor ezen mérővonalankénti tárolt késleltetési idő eltérési értékeket a meghatározott dinamikus paraméterekhez hozzáadjuk vagy levonjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjel (f1(t)) helyett, azaz az.„n" számú driverelemek (8) „n” számú geometriai kimeneti pontjára (10) változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjelet (f1g(i)) csatolunk, annak kapcsolási Idejét (tigR/F) diszkrét értékekkel folyamatosan változtatjuk, megmérjük a változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel (f1g(t)) minden egyes diszkrét kapcsolási idejéhez (tigR/F) tartozó bemeneti gerjesztett mintavett jelek (fcmg(t)) kapcsolási időit (ÍR/FgCHi), valamint a kimeneti gerjesztett mintavett jelek (fcH2g(t)) kapcsolási időit (tF!/FgcH2), ezután a megmért összetartozó értékekből előállítunk bemeneti, kimeneti torzulási karakterisztikát (Afcm, AfcH2) majd a külső etalon sampling oszcilloszkóppal (24) megmérjük és egyidőben beállítjuk a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyén (11) illesztett állapotú „n” számú bemeneti ponton a mérendő integrált áramkört (12) közvetlenül meghajtó valós bemeneti jel (ídut iN(t)) az adott mérendő integrált áramkörre (12) jellemző kapcsolási idejét (tR/F dut iNm), ezt követően lemérjük az ezt előidéző változtatható kapcsolási idejű gerjesztőjel (f1g(t)) tényleges kapcsolási idejét (tigR/Fm)i ezen két mérési eredmény, valamint a bemeneti és kimeneti torzulási karakterisztika (fcm. fCH2) alapján meghatározzuk és tároljuk mind a bemeneti, mind a kimeneti mérővonalra (Mb, Mk) vonatkozó bemeneti, kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikát (Km, Kh2), a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyén (11) történő mérésénél egyrészt a bemeneti mérővonalon (Mb) megmért bemeneti minta vett jelet (remit)) a bemeneti mérő vonal (Mb) bemeneti helyreállító korrekciós karakterisztikájával (Km) szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a bemeneti módosított jel (íhch 1 (t)) leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „n” számú bemeneti pontján az előírt kapcsolási idejű, valós bemeneti jelet (ídut iN(t)), másrészt a kimeneti mérővonalon (Mk) megmért kimeneti mintavett jelet (fcH2(t)) a kimeneti mérővonal (Mk) kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikájával (Kh2) szorozzuk, amelyre igaz, hogy a szorzás elvégzése után a kimeneti módosított jel (fHCH2(t)) leképezi vagy előírt pontossággal megközelíti a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyének (11) „m” számú kimeneti pontján a valós kimeneti válaszjelet (ídut ouT(t)), majd a bemeneti, kimeneti helyreállító korrekciós karakterisztikával (Km, Kh2) elvégzett szorzások után a bemeneti, kimeneti módosított jelek (fHcm(t)), (fHCH2(t)) jelalakjából a dinamikus paramétereket meghatározzuk. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető gerjesztőjelet (f 1 (t)) az eljárás eddigi lépéseinek alkalmazásával a bemeneti mérővonalon (Mb) megmérjük, majd az „n” számú bemeneti korrigált, tárolt jelek (fKcm(t)), vagy bemeneti módosított jelek (fHCHi(t)) jelalakjának kijelölt idejű pontját harmadik mérő és szabályzó hurokkal (H3) az „n" számú bemeneti, korrigált, tárolt jel (f«CHi(t)), vagy a bemeneti módosított jel (íhchiW) bármelyike jelalakjának kijelölt időpontjához előírt időértékkel beszabályozzuk. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás megvalósítására szolgáló berendezés, amely tartalmaz nagystabilitású időalapjel generátort (1), referencia kábelt (2) referencia ponttal (3), amelyek időzítő rendszer (5) bemenetelre kapcsolódnak, az időzítő rendszer (5) „k” számú kimenete PIN logika (7) azonos számú bemenetére csatlakozik, a PIN logika (7) funkcionális bemenetére „n” csatornás szógenerátor (6) kapcsolódik, a PIN logika (7) „n" számú kimenete azonos számú driver elem (8) „n" számú geometriai kimeneti pontján (10) keresztül egyrészt a mérendő integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelye (11) illesztett „n" számú bemenetére kapcsolódik, a mérendő integrált áramkör (12) kimenete közvetlen mérőhely (11) „m" számú kimenetén, „m” számú impulzus átvitel illesztőn (16), kimeneti koaxiális demultiplexeren (15) keresztül kimeneti mintavevőre (17k) kapcsolódik, a kimeneti mintavevő (17k) kimenete jelalak analizátor (18) másik bemenetével (CH2) van összekötve, a jelalak analizátor (18) mintavételi paráncsjel kimenetei a bemeneti, kimeneti mintavevők (17b, 17k) mintavételi .parancsjel bemenetére, trigger bemeneté (TRIG) az időzítő rendszer (5) kimenetére kapcsolódik, a mérendő Integrált áramkör (12) közvetlen mérőhelyére (11) időlegesen etalon tápvonal (13) csatlakozik, tartalmaz továbbá programozható tápegységet (21), amely kimeneteinek egyik része a közvetlen mérőhelyre (11) van kötve, valamint a nagystabilitású időalapjel generátor (1) az időzítő rendszer (5), a szógenerátor (6), a PIN logika (7), a bemeneti koaxiális demultiplexer (14), a kimeneti koaxi5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 17
