199906. lajstromszámú szabadalom • Berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre
1 HU 199906 B 2 mosan el van szigetelve és tömitő gumigyűrűkkel pedig elzárószerkezeten (12) keresztül vákuumig) légmentesen el van zárva, a magnetronrendtérbe torkollik, szert (1) a hajtással Összekötő árnyékoló cső (2) 5 3
/
