199906. lajstromszámú szabadalom • Berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre
HU 199906 B Int. Cl5: C 23 C 14/00 5!->o N Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest Felelős kiadó : Himer Zoltán osztályvezető UNITAS-KÓDEX
/
