199906. lajstromszámú szabadalom • Berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre
1 HU 199906 B 2 A találmány tárgya berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre. A találmány szerinti berendezés bevonatok felvitelére szolgáló berendezésekben alkalmazható. Orlinov, W., Mladenov, G. "Elektronikus és ionizációs eljárások és berendezések anyagok megmunkálásához és elemzéséhez" ("Technika” kiadó, Szófia, 1982) című szakkönyvből ismert olyan berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre, amely berendezés kamrában elrendezett magnotronrendszert tartalmaz, ahol a kamrához önállóan és egymástól függetlenül munkagáz bevezetésére szolgáló rendszer, hűtőfolyadékot bevezető rendszer, árambevezető rendszer, valamint a bevont tárgyaknak a magnetronhoz képest relatív mozgatására alkalmas hajtás van csatlakoztatva. Ezen ismert berendezés hátránya, hogy az egyes rendszerek elrendezése bonyolult és nagy térfogatot foglal el a kamrában, ami a berendezés mozgáslehetőségeit (mozgásterét) korlátozza és ezáltal a bevonandó munkadarabok nem egyenletes bevonásához vezet. A találmány révén megoldandó feladat abban van, hogy magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre olyan berendezést hozzunk létre, ahol a berendezést alkotó egyes rendszerek egyszerű, gazdaságos módon, racionálisan vannak elrendezve, a lehető legkisebb térfogatot foglalják el a kamrában, hogy a mozgáslehetőségeket (mozgásteret) ne korlátozzák és ezáltal a munkadarabok egyenletes bevonását (rétegfelvitelt) biztosítsák. A feladat megoldására magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre olyan berendezést hoztunk létre, ahol a találmány szerint a magnetronrendszer - a felsorolás sorrendjében — egymásba helyezett nullázott árnyékoló csővel, szigetelő csővel, árambevezető csővel, valmaint belső csővel mereven össze van kötve, ahol az árambevezető cső és a belső cső hűtővízbevezető rendszert képez, míg az árnyékoló cső és a szigetelő cső közötti térben munkagázt átbocsátó cső, valamint villamos vezeték-anód van elrendezve, az árnyékoló cső és az árambevezető cső szigetelő testekkel egymástól villamosán el van szigetelve és tömítő gumigyűrűkkel légmentesen el van zárva, továbbá a magnetronrendszert a hajtással összekötő, árnyékoló cső elzárószerkezeten keresztül vákuumtérbe torkollik. A találmány szerint kialakított, magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre szolgáló berendezés előnye, hogy az alkotó rendszerei, részei leegyszerűsített, kis térfogatú egységbe vannak integrálva, racionálisan vannak elrendezve és kis térfogatot foglalnak el a kamrában, ezáltal az alternáló és/vagy forgó mozgást nem korlátozzák, aminek köszönhetően a munkadarabok bevonása egyenletessé válik. A találmányt az alábbiakban kiviteli példa kapcsán a mellékelt rajzra való hivatkozással részletesebben is ismertetjük, ahol a rajzon az 1. ábrán a találmány szerinti berendezésnek egy előnyös kiviteli alakja hosszmetszetben látható. A találmány szerinti berendezés 1 magnetronrendszerrel van ellátva, amelyben a felsorolás sorrendjében egymásba helyezett, nullázott 2 árnyékoló cső, 3 szigetelő cső, 4 árambevezető cső, valamint 5 belső cső van elrendezve. A 4 árambevezető cső és az 5 belső cső hűtőfolyadékot bevezető rendszert képez. A 2 árnyékoló cső és a 4 árambevezető cső 6, 7 szigetelő testekkel villamosán egymástól el van szigetelve, valamint 8 tömítő gumigyűrűkkel légmentesen le van zárva. A 2 árnyékoló cső és a 3 szigetelő cső közötti térben munkagáz átvezetésére szolgáló 9 cső, valamint villamos 10 vezeték-anód van elrendezve. A villamos 10 vezeték-anód légmentesen elzárt villamos 11 szigetelőn keresztül vákuumtérbe torkollik. A 2 árnyékoló cső 12 elzárószerkezeten keresztül vezet, amely 13 kamrára van szerelve. A 9 cső fölött 14 katód van szerelve. A találmány szerinti berendezés következőképpen működik: Az 5 belső csövön keresztül hűtőfolyadékot vezetünk az 1 magnetonrendszerhez, a hűtőfolyadék a 4 árambevezető cső és az 5 belső cső közötti térbe jut. Megfelelő nyomás előállítása után — amelyet az ábrán nem szereplő adagolórendszer segítségével biztosítunk - a munkagázt bevezető 9 csövön keresztül meghatározott munkanyomás kialakulásáig gázt áramoltatunk át. A 4 magnetronrendszerre, amely feszültség az 1 magnetronrendszer számára a villamos 10 vezeték-anódhoz és a 13 kamrához képest negatív potenciált állít elő. Ennek során az 1 magnetronrendszer porlasztási üzemmódba kerül. A berendezés alternáló mozgását a nullázott 2 árnyékoló csövön keresztül hajtómechanizmus segítségével — amelyet az ábrán nem tüntettünk fel - biztosítunk. A bevonandó munkadarabokat a 13 kamrában az 1 magnetronrendszer alatt mehatározott távolságban rendezzük el, éspedig olyan felületet átfogó alapra helyezzük, amely felületen az 1 magnetronrendszer végighalad. Szabadalmi igénypont Berendezés magnetronos porlasztással, vákuumban történő rétegfelvitelre, amely berendezés kamrában elrendezett mangetronrendszert, munkagázt átbocsátó rendszert, hűtőfolyadékot bevezető rendszert, árambevezető rendszert és hajtást tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a magnetronrendszer (1) — a felsorolás sorrendjében - egymásba helyezett, nullázott árnyékoló csővel (2), szigetelő csővel (3), árambevezető csővel (4) és belső csővel (5) mereven össze van kötve, ahol az' árambevezető cső (4) és a belső cső (5) hűtőfolyadékot bevezető rendszert képez, míg az árnyékoló cső (2) és a szigetelő cső (3) közötti térben munkagázt átbocsátó cső (9), valamint villamos vezeték-anód (10) van elrendezve, továbbá az árnyékoló cső (2) és az árambevezető cső (4) szigetelő testekkel (6, 7) egymástól villa-5 IQ 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
