199632. lajstromszámú szabadalom • Tartókeret munkamaszkokhoz kontaktmásoló berendezések számára
HU 199632 B A találmány tárgya tartókeret munkamaszkokhoz kontaktmásoló berendezések számára. A találmány előnyösen a félvezetőiparban alkalmazható. Munkamaszkokhoz alkalmazott kontaktmásoló berendezésekben jelenleg szinte kizárólagosan osztott másolókamrát alkalmaznak, amelynél szorítónyomást vákuum segítségével állítanak elő. Mindkét kamra azonos kiképzésű tartókerettel van ellátva, ahol az eredeti maszk tartókerete a hozzátartozó kamrarésszel együtt az eredeti maszk felfeszítéséhez alkalmas vákuumteret képez, a másolat tartókerete pedig a másik kamrarészszel együtt a másolat maszkjának (munkamaszk) felfeszítésére alkalmas hasonló teret képez. Általában a két maszk azonos méretű és négyszögalakú. A kamra rögzített része alján vagy kollimátorlencsével vagy a megvilágító fényt áteresztő kémlelőablakkal van ellátva, a mozgatható kamrarész pedig interferenciasávok megfigyelésére alkalmas szűrővel van ellátva. A másolat és az eredeti maszkkal ellátott két kamrarész lezárásával középső tér alakul ki, amely a vákuumra való csatlakoztatásával és a sarokterek egyidejűleg történő levegőztetésével a két behelyezett maszk között a szükséges szorítóerőt állítja elő. A maszkok peremeivel tömítőkarmantyúkon fekszenek fel, amelyek a tartókeret testében kiképzett vállon nyomókeret és feszítőcsavarok segítségével vannak befogva. A maszkok külső kerülete és a tartókeret testében kiképzett váll fenékrészen lévő furat között a tömítőkarmantyúnak szabad felülete van, amely a másolás során az érintkezés biztosításához maszkmozgatásokat tesz lehetővé. Ezzel egyidejűleg viszont a tömítőkarmantyúk szabad felületei a középső tér irányában nem kívánt módon behajlanak, aminek következtében a maszkokban tangenciális feszültségek keletkeznek, amelyek a maszkok kerületén rendszertelenül eloszlanak és az eredeti maszk mintája és a másolati maszk mintája között megengedhetetlen helyzethibákhoz (pozicionális hibák) vezetnek. Ezen hibákat azzal próbálták minimálisra csökkenteni, hogy a tömítő karmantyút speciális anyagból alakították ki, amelynek merevítő betétje két, egymásra merőleges irányban (amelyek a két, egymással szomszédos maszkélre merőlegesek) azonos szilárdsággal jellemezhető. Az alkalmazott anyagnak továbbá a maszkoknak a tömítő karmantyúk felületére való rátapadását meg kell akadályoznia. A tömítő karmantyúk igénybevételének szempontjából kritikus pontok a maszkok sarkainak a tömítő karmantyúkkal való ütközési pontjai, amelyekben két egymásra merőleges hajiítóigénybevétel hatásvonala metszi egymást. Ezeken a pontokon lép fel leginkább merevségváltozás és ennek következtében a pozicionálási hiba egy megengedett határértéket túlléphet. Az anyag a fenti hajlítóigénybevé- 2 1 tel következtében már kb. négy hónap alatt olyan mértékben kifárad, hogy megengedhetetlen pozicionálási hibák lépnek fel. Ennek következtében a tömítő karmantyúk jelentős költségeit figyelembe véve a teljes berendezés üzemelési költsége jelentősen növekszik. A találmány révén megoldandó feladat abban van, hogy munkamaszkokhöz kontaktmásoló berendezések számára olyan tartókeretet hozzunk létre, amely az ismertetett megoldás fentiekben leírt hiányosságait kiküszöböli. A feladat megoldására munkamaszkokhoz olyan tartókeretet hoztunk létre, amelynek lemezalakú testében külső vállal ellátott központi furat van kiképezve, amely külső váll aljához a tartókeret testével szorítócsavarokkal összekötött nyomókeret közvetítésével tömítő karmantyú van hozzászorítva, ahol a tömítő karmantyú a külső váll alja és a nyomókeret között van elrendezve. A találmány szerinti tartókeret lényege, hogy a tartókeret testében belső váll is ki van alakítva, amelynek aljára tömítés van sugárirányú és tengelyirányú hézaggal elrendezve. A tömítés és a tömítő karmantyú között sugárirányú hézaggal támasztókeret van behelyezve. A tömítésben, a támasztókeretben és a tömítő karmantyúban azonos méretű furatok vannak kiképezve, amelyeknek mérete az eredeti és a másolat maszkjának külső méreténél kisebb, míg a belső váll aljában lévő furat hézaggal nagyobb az eredeti és a másolat legnagyobb méreténél. A nyomókeretben is van furat kiképezve, amelynek mérete a belső váll aljában lévő furat méreténél kisebb. A támasztókeret a furat mindkét oldalán tömítő kiszélesítéssel látható el. A nemkívánt tangenciális erőket azzal küszöböljük ki, hogy a tömítő karmantyú a maszkra nem közvetlenül, hanem a merev támasztókeret közvetítésével hat. A támasztókeret ezen felül a tömítő karmantyút hajlítás esetén a szélesség lényeges részén alátámasztja és ezáltal a merev támasztókeretre ható tangenciális erőket lényegesen korlátozzuk. Ennek köszönhetően a tömítő karmantyú anyagával szemben támasztott minőségi követelményeket lényegesen redukálhatjuk, tehát a tömítő karmantyú olyan szokásos anyagból készíthető, amely a maszknak a tömítésre való rátapadást megakadályozza, ilyen anyag pl. a szilikongumi. A találmányt az alábbiakban kiviteli példa kapcsán a mellékelt rajzra való hivatko-' zással részletesebben is ismertetjük, ahol a rajzon az l.ábra a találmány szerint kialakított tartókeretet mutatja, ahol a zárt vákuumkamra egy része látható, amikor a középső térben vákuum van és a sarokterek lebegőztetve vannak. A kontaktmásolóberendezés rögzített kamrarésze a tartókerettel együtt metszet-2 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
