199632. lajstromszámú szabadalom • Tartókeret munkamaszkokhoz kontaktmásoló berendezések számára
HU 199632 B ben látható. A mozgatható kamrarész (az ábra bal oldalán) pedig a rögzített kamrarészhez képest szimmetrikusan helyezkedik el. A találmány szerinti tartókeret 3 teste lemezalakú, és központi furattal van ellátva, amelyben külső 10 váll van kiképezve, ahol a külső 10 váll aljához 7 nyomókeret közvetítésével 6 tömítő karmantyú van hozzászorítva. A 6 tömítő karmantyú a külső 10 váll alja, valamint a 7 nyomókeret között helyezkedik el. A 7 nyomókeret a tartókeret 3 testével 8 szorítócsavarok segítségével van összekapcsolva. A tartókeret 3 testében belső 9 váll van kialakítva, amelynek aljára sugárirányú és tengelyirányú hézaggal 4 tömítés van ráfektetve. A 4 tömítés és a 6 tömítő karmantyú között sugárirányú és tengelyirányú hézaggal 5 támasztókeret van beiktatva. A 4 tömítésben, az 5 támasztókeretben és a 6 tömítő karmantyúban azonos furatok vannak kiképezve, amelyeknek mérete az eredeti és a másolat 1, 2 maszkjának külső méreténél kisebb. A belső 9 váll aljában lévő furat mérete az eredeti és a másolat 1, 2 maszkjának legnagyobb méreténél méretráhagyással nagyobb, a 7 nyomókeret furatának mérete pedig a belső 9 váll aljában lévő furat méreténél kisebb. Az 5 támasztókeret a furat mindkét oldalán 14 tömítő kiszélesítéssel van kialakítva. A 4 tömítés felőli 14 tömítő kiszélesítés lehetővé teszi, hogy a belső 9 váll aljának vastagsága vékony 1, 2 maszkok megvilágítása esetén növekedjen, míg az ellentétes oldalon lévő 14 tömítő kiszélesítés az 5 támasztókerettel való érintkezést biztosító 6 tömítő karmantyút előfeszíti. Az eredeti 1 maszkját és a másolat 2 maszkját a felnyitott másolókamrába helyezzük, és alacsony vákuum (kb. 90 kPa nyomással) segítségével tartjuk, ahol ezen vákuum a mozgatható kamrarésszel való manipulálást (pozicionálást) és a két kamrarész zárása után a két 1, 2 maszk között meghatározott kis távközt (kb. 1 mm-es távközt) biztosít. A zárás után a mozgatható kamrarész a rögzített kamrarészben lévő tömítésen fekszik fel, ezáltal a kamra belső tereit a környezettől tömören elzárjuk. Ezen szakaszban az eredeti és a másolat 1, 2 maszkját az eredeti és a másolat 11, 12 tereiben uralkodó csökkentett nyomás révén a 4 tömítésen keresztül az 5 támasztókeretre szorítjuk. Ezen erők hatására a teljes elrendezés oly módon tolódik el, hogy az 5 támasztókeret a 6 tömítő karmantyún fekszik fel és ennek közvetítésével a 7 nyomókeretnek a méretráhagyása következtében a belső 10 vállal ellentétesen kialakuló vállon támaszkodik. Ezáltal az eredeti és a másolat 11, 12 tereit a 13 középső tér tömören lezárja, mivel a 6 tömítő karmantyú csak abban az eset3 ben fejti ki hatását, amikor az eredeti és a másolat 11, 12 tereiben túlnyomás van. Az említett méretráhagyás továbbá a 6 tömítő karmantyú belső peremét az 5 támasztókeret irányába elmozdítja, amennyiben az eredeti és a másolat 11, 12 tereiben túlnyomás van. Ez a 6 tömítő karmantyú megbízható működéséhez hozzájárul. Az ezt követő szakaszban az eredeti és a másolat 11, 12 tereit, valamint a 13 középső teret végső vákuumértékre légtelenítjük. Ily módon a teljes rendszer lazul és az 1, 2 maszkok a 6 tömítő karmantyú rugalmasságának köszönhetően egymást megközelítik. A harmadik szakaszban az eredeti és a másolat 11, 12 tereit levegőztetjük, aminek következtében az eredeti és a másolat 1, 2 maszkjait a környezet túlnyomása miatt egymáshoz szorítjuk. Ezen szakaszban az érintkezés (interferenciasávok) minőségellenőrzése folyik, majd a másolat 2 maszkját megvilágítjuk. Az eredeti és a másolat 11, 12 tereinek, valamint a 13 középső térnek végső nyomásértékre való újbóli légtelenítésével az eredeti és a másolat 1, 2 maszkjai szétválnak, ezt követően a 13 középső tér levegőztetésével és a 11, 12 terek kezdeti alacsony vákuumértékre való beállítására a berendezést a mozgatható kamrarész felnyitásához előkészítjük, lehetővé téve az exponált 2 maszk kivételét és új exponálatlan maszk behelyezését. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Tartókeret munkamaszkokhoz kontaktmásoló berendezések számára, amelynek lemezalakú testében központi furat van, a központi furat külső vállal van ellátva, amelynek aljára a testtel szorítócsavarok által összekapcsolt nyomókeret közvetítésével tömítő karmantyú van rászorítva, ahol a tömítő karmantyú a külső váll alja és a nyomókeret között van elrendezve, azzal jellemezve, hogy a testben (3) belső váll (9) van kiképezve, amelynek aljára sugárirányú és tengelyirányú hézaggal tömítés (4) van elrendezve, továbbá a tömítés (4), valamint a tömítő karmantyú (6) között sugárirányú és tengelyirányú hézaggal támasztókeret (5) van elrendezve, a tömítésben (4), a támasztókeretben (5) és a tömítő karmantyúban (6) azonos méretű furatok vannak, amelyeknek mérete eredeti és másolat maszkjának (1,2) külső méreténél kisebb, míg a belső váll (9) aljában lévő furat mérete hézaggal nagyobb mint az eredeti és a másolat maszkjainak (1, 2) legnagyobb mérete, továbbá a nyomókeretben (7) lévő furat mérete kisebb, mint a belső váll (9) aljában lévő furat mérete. 2. Az 1. igénypont szerinti tartókeret, azzal jellemezve, hogy a támasztókeret (5) mindkét oldalán a furat kerületen tömítő kiszélesítéssel (14) van kialakítva. 4 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 1 lap rajz, 1 ábra 3
