196506. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és elrendezés anizotóp akusztooptikai, előnyösen tellúriumdioxid egykristályok felhasználás szempontjából kitüntetett kristálytani síkjának nagy pontosságú, félpercnél pontosabb orientálására
5 196506 6 Az elforgatást úgy végezzük, hogy az elforgatott sík az ultrahang becsatoláséra alkalmas síkkal 0“-nál nagyobb, de 20°-nál, előnyösen 10°-nál kisebb szöget zárjon be. Célszerű még, ha a kitüntetett kritálytani sik korrekcióját úgy végezzük, hogy az egykristály becsatoló síkkal szemben levő síkját a becsatoló sikkal párhuzamosra csiszoljuk. Ezután ezen síkhoz mint bázishoz a becsatoló sikot úgy korrigáljuk, hogy a percekben meghatározott szögeltérés csökkenjen. Ezt kővetően a bázissíkot félrecsiszoljuk és újabb mérést végzünk. Majd a leírtaknak megfelelően újabb korrekciót végzünk és azt mindaddig ismételjük, míg a kiváht pontosságot el nem érjük. A találmány szerinti eljárás megvalósítása az alábbi eljárási lépésekben történik: 1. A nyers, még orientálatlan és megmunkálatlan húzott telluriumdioxid (TeOí) egykristályodból kristályvégással és/vagy csiszolással egy téglatest alakú tömböt alakítunk ki, amelynek egyik éle a kristálynövesztésnél alkalmazott húzási iránnyal közelítőleg párhuzamos. Orientált magról történt növesztés, vagy preferált növesztési irány (TeCü esetén 001 irány) létezése esetén az egyik él iránya igy már közelítőleg meghatározott. A téglatest orientálását röntgendiffrakcióval, Bragg vagy Laue felvételek készítésével végezzük, mellyel 6'-nél nagyobb orientálási pontosságot tudunk elérni. 2. A téglatest mint a hat oldalán polirozéssal sik optikai felületet alakitunk ki. A téglatest két egymással szemben lévő felületén - 001 sik -, melyeken a fényhullámot átbocsátjuk, színgyürű mentes optikai ablakokat polírozunk. 3. Az ultrahangkeltó kialakítását két lépésben végezzük. Először x-41° metszetű LinbOs lapkát készítünk egykristály öntecsből röntgenorientációval, szeleteléssel és mechanikus csiszolással, majd a kész lapkát a téglatesthez ragasztjuk. 4. A ragasztást vezetőragasztóval végezzük a téglatest 110 irányú lapjára. A lapka másik oldalán ugyancsak ezen vezető ragasztóval alakítjuk ki a másik - felső - fegyverzetet. 5. Ezután az ultrahangkeltőből és a téglatestből álló fémymodulátort állóhullám-mentesitjük. Ezt úgy végezzük, hogy a téglatest azon lapját, mely a felragasztott ultrahangkeltővel szemben van, félracsiszoljuk, mert csak úgy tudunk a téglatesttel orientációellenőrzö mérést végezni. 6. Mérés alatt az ultrahangkeltőt a két kivezetésen ét 5-10 MHz-es alapfrekvenciájú jel valamely felharmonikusán tápláljuk. 7. A téglatestet kiterjesztett nyalábú lézerfénnyel világítjuk át. A kiterjesztett nyalábú lézerfénnyel az egész téglatestet átvilágítjuk. 8. A téglatesten átvezetett sugárnyalábot a téglatest mögött egy lencsével fókuszáljuk. 9. A lencse főfókuszsikjába egy furatos takarólemezt helyezünk. Ezzel a lencse Fourier transzformációs tulajdonságait használjuk ki. A diffraktált és a nullarendű sugárnyaláb különböző szög alatt éri a lencsét, így a lencse föfókuszsikjában a furattal mint térfrekvencia-szűróvel a diffraktált sugárnyalábot kiválasztjuk. 10. A diffraktált sugárnyalábot a takarólemez mögött elhelyezett ernyőre vetítjük, melyen a téglatest képét megjelenítjük. 11. A téglatest elforgatásával az ernyőn maximális fényintenzitást állítunk be. Az ernyőn a téglatest határvonalain belül világosabb és sőtétebb tónusú felületeket hozunk létre. Az ernyőn az egyes pontok fényessége az ultrahang teljesítményével arányos. A világosabb tónusú felületekkel az ultrahangenergia terjedési irányát kimutatjuk. 12. Meghatározzuk a téglatest szimmetriavonala és az ultrahangenergia terjedési iránya által bezárt szöget fokokban. 13. A fokokban meghatározott szöget egy diagram segítségével átszámítjuk szögpercekre. Az igy meghatározott szögpercek alapján meghatározzuk, hogy a becsatoló sikot hány /um-rel kell - félrecsiszolni - korrigálni. Ezután az ultrahangkeltőt leoldjuk. 14. A téglatest becsatoló síkkal szemben levő síkját a becsatoló síkkal párhuzamosra csiszoljuk. 15. A párhuzamosra csiszolt síkhoz, mint bázishoz, a becsatoló sikot csiszolással úgy korrigáljuk, miután az ultrahang keltőt a téglatestről leoldottuk, hogy a szögpercekben meghatározott szögeltérés csökkenjen. 16. A fénymodulátort újból állóhullámmentesítjük, vagyis a bázisfelületet félrecsiszoljuk. 17. A téglatest becsatoló lapjára az ultrahangkeltöt vezetőragasztóval ismét felragasztjuk és az előbbieknek megfelelően újabb mérést végzünk. 18. A mérés megkezdésekor a téglatest elforgatásával az ernyőn ismét maximális fényintenzitást állítunk be. A téglatest határvonalain belül ismét világosabb és sötétebb tónusú felületeket hozunk létre. 19. Ismét meghatározzuk a téglatest szimmetriavonala és az ultrahangenergia terjedési iránya által bezárt szöget. 20. A fokokban meghatározott szöget a diagram segítségével ismét átszámítjuk szögpercekre. Az előbbiek alapján ismét meghatározzuk, hogy a becsatoló síkot hány ura-el kell - félrecsiszolni - korrigálni. 21. Miután az ultrahangkeltőt a téglatest becsatoló síkjáról leoldottuk, a téglatest becsatoló síkkal szemben lévő síkját a becsatoló síkkal párhuzamosra csiszoljuk. £ 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 4
