191628. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elrendezések előállítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS n" 191 628 B ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 83.08.12. (21)2849/83 A közzététel napja: (41) (42) 85. 03. 28. Megjelent: (45) 88-12. 22. Nemzetközi osztályjelzet: (51) Int. Cl.4 H01 L 21/20 H01 L 21/72 Feltalálóik!: (72) Szabadalmas: (73) Ullmann Peter, Machold Hans-Joachim, Drezda, DD VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik, Drezda, DD ELJÁRÁS FÉLVEZETŐ ELRENDEZÉSEK ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány tárgya eljárás félvezető elrendezések előállítására, amely lényegében a földfémoxid- és vezérlő elektróda oxidréteg előállításából, poliszilicium leválasztásából, a leválasztott polisziliciumrétegek, valamint a vezérlő elektróda oxidrétegének a formázásából, az emitter- és a kollektor-szennyezés beviteléből, valamint az ilymódon létrehozott elülső oldalnak passzív és/vagy aktív félvezető elemekkel történő kiegészítéséből áll. A találmány lényege abban van, hogy a polisziliciumleválasztás előtt a félvezető hordozóanyag hátoldaláról a teljes szigetelőréteget eltávolítjuk.
