184978. lajstromszámú szabadalom • Kombinált maratási eljárás finomfelbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására
7 18497.8 8 két, valamint a nedves kémiai maratás szelektivitásából adódó előnyöket egyesíti az ionmaratás anizotrópiájával. A találmány szerinti kombinált maratási eljárás előnyösen alkalmazható integrált áramkörök és mágneses 5 buboréktárolók finom felbontású mintázatainak kialakítására különösen akkor, ha a maratandó vékonyrétegben mélységbeli összetétel inhomogenitás van jelen. Szabadalmi igénypontok 1. Kombinált maratási eljárás finom felbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására, amelynek során aktív rétegre maszkoló réteget viszünk fel, és a maszkoló rétegen a kívánt mintázatoknak megfelelő ablakokat nyitunk, majd maratjuk az aktív réteget, azzal jellemezve, hogy az aktiv réteg (2) maratását nedves kémiai és ionmaratásos műveletek egymás utáni alkalmazásával végezzük olymódon, hogy homogén aktív réteg (2) esetében a nedves kémiai maratást az aktív réteg (2) legalább 40%-ának eltávolítása után megszakítjuk, vagy inhomogén aktív réteg (2) és alréteg (2a) esetében a nedves kémiai maratást az időegység alatt eltávolított anyagmennyiség változásának — csökkenésének — bekövetkezésekor, vagy a mintázatok oldalfal meredekségének a hordozó (1) vízszintes síkjához képest csökkenésekor — amiket az inhomogenitásból adódó alréteg (2a) okoz — megállítjuk és a mintázatok kialakítását ionbombázásos maratással fejezzük be. 2. Az 1. igénypont szerinti kombinált maratási eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a nedves kémiai maratás befejezése után a maratásnál alkalmazott maszkoló réteget (5) az aktív réteg (2) felületéről az ionmaratás megkezdése előtt eltávolítjuk. 10 15 2 rajz, 6 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 87,2041.66-4 Alföldi Nyomda, Debrecen Felelős vezető: Benkő István vezérigazgató
