184978. lajstromszámú szabadalom • Kombinált maratási eljárás finomfelbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására
184978 Nemzetközi osztályozás: H 01 L 21/302 H 01 L 21/461
/
184978 Nemzetközi osztályozás: H 01 L 21/302 H 01 L 21/461