184247. lajstromszámú szabadalom • Eljárás kétvégű lámpatest előállítására
1 184 247 2 107 szelepet zárni kell, hogy a 120 kvarccsövet le válaszszűk a vákuumrendszerről, ugyanakkor a 105 szelep nyitásával megindítjuk az argon beáramlását a 108 ágvezetékből az 57 fejrészbe és a 120 kvarccső belsejébe. Az argonáramlást folyamatosan fenntartjuk egészen addig, ameddig a 31 lámpatestet teljesen le nem zártuk, annak érdekében, hogy nedvesség behatolását megakadályozzuk. A találmány szerinti eljárás egyik alapvető fontosságú jellemzője, hogy a 11 pozíciójelű munkahelyen a 36 elektródát úgy vezetjük be a 120 kvarccsőbe, hogy a csúcsával hátrafelé haladjon az 58 szán 64 forgótokmányán keresztül. A 36 elektródát a 120 kvarccső azon végénél vezetjük be, amely a 30 lámpa 35 nyakrészét alkotja és keresztültoljuk a 33 ívkamrán, amíg a 30 lámpa 34 nyakrészébe nem ér. Ezért kell a 36 elektródát, ahelyett, hogy csúcsával előre az 57 fejrész felől helyeznénk el a 34 nyakrészben, csúcsával hátrafelé vezetjük be, mégpedig oly módon, hogy először az 58 szánon, a 35 nyakrészen és a 33 ívkamrán halad át, mielőtt a 34 nyakrészbe, a végleges helyére kerülne. A katódnak ily módon történő behelyezésével válik lehetővé a 100 tömszelencének a bemutatott módon történő elhelyezése és az 57 fejrész végéhez történő állandó csatlakoztatása. Ezáltal a műveletek alatt a 120 kvarccsövet folyamatosan lehet száraz és nem reaktív gázzal, előnyösen argonnal öblíteni, amíg a lámpatestet le nem zártuk. A 14a. ábrán látható, hogy a 36 elektródát 150 helyezőcső segítségével vezetjük a helyére. A 150 helyezőcsövet automatikusan vezetjük az 58 szán 71 állítótengelyébe, amikor az 55 üvegeszterga all pozíciójelű munkahelyen van. A 14. ábrán a bevezetési pozíciót szaggatott vonallal tüntettük fel. A 150 helyezőcsőt úgy kell mozgatni, hogy a katód 42 csúcsa a 45 molibdénhuzalt kövesse a behelyezés során. Amikor az 55 üvegeszterga megáll all pozíciójelű munkahelyen, az ábrákon nem látható tolószerkezet biztosítja, hogy a 150 helyezőcső a benne lévő 36 elektródával együtt az 58 szán 64 forgótokmányán át a 35 nyakrészbe, majd innen a 14a. ábrán látható módon a 35 nyakrészbe kerüljön. Amennyiben a katódot az egész elektróda fejrészének tekintjük, azt mondhatjuk, hogy az elektródát lábrészével előre toljuk be a helyére. A tolószerkezet löketet igen pontosan kell beállítani, annak érdekében, hogy a katód 42 csúcsa az 57 fejrésztől pontosan meghatározott távolságba álljon be. Minthogy a 31 lámpatest a megmunkálás során nem kerül ki az 57 fejrész 63 forgótokmányából, alökethossz pontos beállításával automatikusan biztosítható a 36 elektródának a 31 lámpatesthez képest is pontosan történő beállítása. Miután a 36 elektródát pontosan a helyére juttatta, a tolószerkezet visszahúzódik és magával viszi a 150 helyezőcsövet. A 150 helyezőcső kihúzása közben 151 ütközőrudat tartunk a 36 elektróda 42 csúcsán felütköztetve, hogy megakadályozzuk annak a 150 helyezőcsővel együtt történő elmozdulását. Miután a 150 helyezőcsövet az 58 szánon át eltávolítottuk, a katód biztonságosan és központos helyzetben marad a 34 nyakrészben, minthogy a 48 lapított rész felfekszik a 120 kvarccső belső palástjára és a súrlódás következtében rögzíti a 36 elektródát. Mint már korábban említettük, az argont folyamatosan keresztüláramoltatjuk a 120 kvarccső belsején, a 36 elektróda behelyezése alatt is. így az argon a 150 helyezőcsövön vagy esetleg a 36 elektródán lévő szennyezőket és nedvességet eltávolítja, vagyis a 120 kvarccsövet teljesen tisztán tartja. Az argon bevezetését folyamatosan végezzük, miközben az 55 üvegeszterga a 12 pozíciójelű munkahelyre mozog. A 12 pozíciójelű munkahelyen a 15. ábrán látható módon fémhalogenid 52 pelleteket juttatunk a 33 ívkamrába. Ehhez 153 bevezetőcsövet használunk, amelyet az előző lépéshez hasonlóan az 58 szánon és a 35 nyakrészen átjuttatunk a 31 lámpatestbe. Amikor a 153 bevezetőcső csúcsa a 33 ívkamra középrészéhez ér, a mozgatást leállítjuk. A 153 bevezetőcső alsó részén 154 ejtőnyílás van kialakítva, közvetlenül a csúcsnál lévő 155 kifúvónyílás közelében. A 153 bevezetőcső a rajzon nem ábrázolt kisnyomású száraz inert gázt tartalmazó tartállyal van összekapcsolva, amely a 12 pozíciójelű munkahely közelében a 60 alaplapra van erősítve. A 153 bevezetőcsövet tehát az egész művelet során száraz inert gázzal öblítjük át. A gáz a 153 bevezetőcső 155 kifúvónyílásán át áramlik ki. Miután a 153 bevezetőcsövet a 33 ívkamrában a megfelelő helyre vezettük, néhány fémhalogenid 52 pelletet adagolunk a rajzon nem feltüntetett tartályból a gázáramba, amely ezeket az 52 pelleteket a 153 bevezetőcsőben előregörgeti a 154 ejtőnyílásig, ahol azok a 33 ívkamrába hullanak. Minthogy az 52 pelleteket a 153 bevezetőcsőből az 57 fejrészen át a 120 kvarccsőbe áramló gáz haladási irányára merőlegesen ejtjük ki, nem fenyeget az a veszély, hogy ezeket a gáz befújja a 35 nyakrészbe. Miután az 52 pelleteket elhelyeztük, a 153 bevezetőcsövet visszahúzzuk az 58 szánból és az 55 üvegesztergát a 13 pozíciójelű munkahelyre léptetjük. Itt 51 higanycseppet injektálunk a 33 ívkamrába a 16. ábrán bemutatott módon. Az 51 higanycsepp bejuttatása lényegében ugyanúgy történik, mint ahalogenid 52 pelleteké. A művelethez 157 bevezetőcsövet alkalmazunk, amely gyakorlatilag megegyezik a 153 bevezetőcső konstrukciójával. A 157 bevezetőcsövet is az 58 szánon keresztül juttatjuk a kívánt helyre és az 51 higanycseppet is a gázáram hajtja a 157 bevezetőcső végén lévő ejtőnyílásához. Természetesen a 120 kvarccsövet az 51 higanycsepp bejuttatása során is folyamatosan öblítjük az 57 fejrészen át az inert gázárammal. A munkadarab az 55 üvegesztergával ezután a 14 pozíciójelű munkahelyre kerül. Itt a 37 elektródát helyezzük el a 120 kvarccsőben. A műveletet a 17. ábrán mutatjuk be. A 37 elektródát ugyanúgy 159 helyezőcső segítségével juttatjuk a helyére, mint a 36 elektródát. A 159 helyezőcső lényegében azonos kialakítású, mint a 150 helyezőcső és ezt is tolószerkezet mutatja az 58 szánon a 35 nyakrészbe. A 37 elektródát, azaz az anódot a katóddal ellenkező módon: csúcsával előre toljuk a 35 nyakrészbe. Természetesen a rajzon nem látható tolószerkezet lökete is igen pontosan van beállítva, hogy az anód 44 csúcsa is pontosan a megfelelő helyre kerüljön az 57 fejrész 63 forgótokmányához képest. Minthogy a 31 lámpatestet változatlanul befogva tartottuk, ebbe a 63 forgótokmányba és a katód 42 csúcsát ehhez képest helyeztük, a mostani művelet után a 42 és 44 csúcsok közötti távolság pontosan az előre meghatározott érték lesz. Emellett természetesen a rés elhelyezkedése is pontosan a 33 ívkamra meghatározott részére esik. A 37 elektróda behelyezése során változatlanul fenntartjuk a 120 kvarccsőnek az inert gázzal történő átöblítését, hogy elkerüljük a vízgőz vagy egyéb szennyezők bekerülését és az 52 pelletekkel történő reakcióba lépését. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 7
