183865. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés mikronos és mikronfeletti alakzatok méretének és az alakzatok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására
1 183 865 2 kimeneteken megelennek. A találmány szerinti berendezés 34 vonalkijelölő egységének egy példákén ti kiviteli alakjának felépítése és működése a 9. ábrán látható. Eszerint a 34 vonalkijelölő egység láncbakapcsolt 34a helyzetmeghatározó részegységből, 34b összehasonlító részegységből és ez utóbbira kapcsolt 34c helyzetkijelölő részegységből áll. A 34a helyzetmeghatározó részegység kimenete az M első helyzetcsatornával kapcsolódik a 34b összehasonlító részegység egyik bemenetére, míg a 34c helyzetkijelölő részegység kimenete az N második helyzetcsatornával kapcsolódik a 34b összehasonlító részegység másik bemenetére. A 34a helyzetmeghatározó részegység a bemenetére kapcsolt A2 szinkronozó csatornán érkező szinkronjelekből előállítja a TV kamera letapogató nyalábjának pillanatnyi helyzetnek megfelelő kódolt jelet és ezt kiadja az M első helyzetcsatomán. A 34c helyzetkijelölő részegység a kezelő által kívánt helyzetnek megfelelő kódolt jelet állítja elő és adja ki az N második helyzetcsatomán . A 34b összehasonlító részegység az M és N helyzetcsatornákon érkező kódolt jeleket hasonlítja össze és egyezés esetén kiadja a mérővonalak megjelenítéséhez szükséges digitális jelet a C digitális csatornán, valamint a 32 tároló egység működéséhez szükséges vezérlőjelet az e vezérlő vezetéken. A találmány szerinti eljárás és berendezés előnyei a következőkben foglalhatók össze: 1. A találmány szerinti eljárás lehetővé teszi az alakzatok mérésének szubjektív tényezőktől mentes és az intenzitásgörbék lefutásától független meghatározását, ami által a mérések pontossága nagymértékben megnöveszik. 2. A találmány szerinti berendezésben a keresővonalak segítségével a mérendő tartomány egyszerűen beállítható, az intenzitásgörbék inflexiós pontjainak automatikus meghatározásával és a mért számérték kijelzésével a méretmeghatározás rövid idő alatt és leolvasási hiba nélkül végezhető el. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás mikronos és mikron feletti alakzatoknak és azok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására, azzal jellemezve, hogy a célszerű helyzetbe hozott mérendő alakzatról transzmissziós vagy reflexiós megvilágítás segítségével képet generálunk, és elektronikus képmegjelenítőn megjelenítjük, ezután egy vízszintes és két függőleges, tetszőlegesen beállítható mérővonal segítségével kijelöljük a megjelenített képen a mérendő tartományt, a mérendő tartomány képpont-intenzitásait a vízszintes mérővonal mentén raszter-pontonként rendre digitalizáljuk és tároljuk, ezután a felvett görbét előre rögzített függvények segítségével hely szerint kétszer differenciáljuk, és a vízszintes mérővonal mentén megkeressük azokat a raszter-pontokat, ahol a második differenciálhányados előjelet vált, ezen kijelölt pontok között meghatározzuk a raszterpontok számát, a raszterpontok száma normálás és korrekció után a keresett távolságot adja, amelyet megjelenítünk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a két függőleges mérővonal helyett, a mérendő vonalak környezetében egy-egy mérőablakot jelölünk ki, és a vízszintes mérővonal mentén a hely szerinti differenciálásokat csak ezen két ablakon belül végezzük el. 3. Berendezés az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amelynek sugárforrása és elektromos képmegjelenítő egysége (14) van, azzal jellemezve, hogy elektromos képátalakítója (12) és az elektromos képátalakítóval információs csatornán (A) át összekapcsolt képfeldolgozó főegysége (13) van, amely utóbbi célszerűen láncbakapcsolt analóg-digitál átalakítóból (31), tárolóegységből (32) és aritmetikai egységből (33), valamint vonalkijelölő egységből (34) áll, továbbá az elektromos képátalakító (12) és a vonalkijelölő egység (34) közé elektromos képmegjelenítő (14) van kapcsolva. (2. ábra) 4. A 3. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektromos képátalakítónak (12) mikroszkópja (21), és a mikroszkóphoz (21) csatlakozó TV kamerája (22) van, a TV kamera (22) információs csatornán (A) át a képfeldolgozó főegység (13) bemenetére, másik, második információs csatornán (B) át az elektromos képmegjelenítő (14) bemenetére csatlakozik. (3. ábra) 5. A 3. vagy 4. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a képfeldolgozó főegységnek (13) lánckapcsolású analóg-digitál átalakítója (31), tároló egysége (32), aritmetikai egysége (33) és megjelenítő egysége (35), valamint vonalkijelölő egysége (34) van, az első információs vezetékrendszer (A) analóg (Al) és szinkronizáló csatornából (A2) áll, az analóg csatorna (Al) az analóg-digitál átalakító (31) bemenetére, a szinkronizáló csatorna (A2) pedig a tároló egység (32) egy további második bemenetére és a vonalkijelölő egység (34) bemenetére, a vonalkijelölő egység (34) vezérlő kimenete (e) a tároló egység (32) vezérlő bemenetére csatlakozik, a képfeldolgozó főegység (13) bemenetét az első információs vezetékrendszer (A), kimenetét pedig a vonalkijelölő egységének (34) kimenetére kapcsolt digitális csatorna (C) képezi. (4. ábra) 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a tároló egységnek (32) lánckapcsolású címregisztere (32a) és tároló részegysége (32b) van, a tároló egység (32) egyik bemenetét a szinkronizáló csatorna (A2) képezi, amely a címregiszter (32a) szinkronizáló bemenetével, egy további bemenetét a harmadik információs csatorna (D) képezi, amely a tároló részegység (32b) vezérlő bemenetével van összekötve, a tároló egység (32) digitális vezetékrendszer (E) a címregiszter (32a) kimenetére csatlakozó címcsatorna (El) és a tároló részegység (32b) kimenetére csatlakozó adatcsatorna (E2) képezi. (5. ábra) 7. Az 5. vagy 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az aritmetikai egységnek (33) lánckapcsolású átmeneti tárolója (33a) és különbségképző részegysége (33b), valamint inflexiós pont meghatározó részegysége (33c) van, az inflexióspont-meghatározó egység (33c) két, első és második vezérlő kimenete (b) az átmeneti tároló (33a) egy-egy vezérlő bemenetével van összekötve, az aritmetikai egység (33) bemenetét a címcsatornából (El) és adatcsatornából (E2) álló digitális csatorna (E), kimenetét pedig a különbségképző részegység (33b) kimenetére csatlakozó adatcsatorna (F) képezi. 8. Az 5—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve,hogy az inflexióspont - meghatározó részegységnek (33c) lánckapcsolású beégetett függvénytára (38), szorzó áramköre (36) és szélső-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
