183865. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés mikronos és mikronfeletti alakzatok méretének és az alakzatok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására
s 98 ioAq ‘EpiuoÁsi lAuaqoazs usqBSBzopuog ppei^aAuo^ pBzsn^ b juajsSaw 013Z3aA[e;zso ue;pz ïamunjj : opepi soispj wq? qp 6 (Bjqp 6) 'izsdaq (a) îjspzaA o[J3Z3A ozoîfBflBSD 3J3J3U3Uip{ OJI3Z3A B S3 (j) BUJOJESO SIJE}l3ip OZOÎfBflBSD 3J3J3U3UII3( (q^g) 3psX39ZS3I OlJJUOSeqSZSSp ZB JUIUIBJ -EA ‘(£V) BU-tOJBSO 0[BZIU0J3[UTZS OZadsq J3ZS3J (y) BIUOJ -BSD S9PBUIJ0JUT OSp ZB }3pU3M3q (^g) 33SA8s 0[ppflî[ -JBUOA B ‘XIBA (o^£) sSssASsZSOJ p{pp|Í3fpzApq OZOÎfEflESD Q appuauisq iqqBAOj A33 (q^-g) SpsASszsaj pqpiossqszs -zso zb imuiEjEA ‘(q-^g aâpsASazsai oqpiosBqazsso sp ozoïEieqSauipzApq nsE[OS3dE3puE[ (yg) qsuâssASa ojoptpqBUOA b ASoq ‘aAzaiuajpf pzzB ‘eîdjeje ipiiAiq ssz 01 -spuaisq qiiuszs ajpApuneq qojuodAiraSi g-5 ZV '6 (Bjqp ■ g) ’izadaq (p ‘ q) spuauipf ojiszsa qipos-BUI S3 OSp A33-A33 (60) IpqUIBIB ÇZOIEJEqâSUI SEJ[EA|3f -Op ZB S3 (/,£) iODJUIEJB OZOIEpqSsUI 5g}.I30SpZS B 3lp3d ppusunq ‘(S3) euJOjESOiEpE ozsdsq pzssi (g) eujojeso stpiiStp b ppuaiusq (o£0) SpsASazsai ozoïEpqgsui }uod sopcayui zb ‘>[izo:>{B]pso sppuauisq (60) jodjuibib ozojej -Bq33UI SE^pApÇop ZB P (■>!) UBUIOPSOPPB îfiposçui A33 (90) IpDJUIBIB OZJOZS E ‘UBA (60) DIOÎ[UrBJB OZOJEJEqSsiU SBpyEApfop }UIUIBpA ‘(i£) 3ipqUIBJB OZOJBJBqSsUI ^3}J3 Z S98É8I i
