182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
182,777 és letiltó kimenetel csatlakoztatva, és a második impulzus keltő egysének az elsőtől kiH.önböző gerjesztő impulzusok generálását kiváltó bemenete a vezérlő egyaeg egy további kimenetéhez csatlakozik. A találmány szerinti megoldást a továbbiakban példák kapcsán, a rajz alapján ismertetjük részletesebben. A rajzon az 1. abra a találmány szerinti eljárás során felhasznált különböző impulzusok és jelek idődiagramjai, és a 2. ábra az eljárás foganatosítására alkalmas találmány szerinti berendezés altalános tömbvázlata. A DLTS eljárással összhangban a vizsgált minta energiaállapotát periodikusan megváltoztatjuk. Ezt különböző utakon érhetjük el. Ha a vizsgált minta egy diódaszerü p-N átmenet, akkor gerjesztésként feszülteégimpulzust lehet alkalmazni, amely csökkenti a minta záróirányu előfeszitését. A töltésállapot megváltoztatását előidézhetjük azonban áranimpulzus sál, amely mindkét tipusu töltéshordozót injektálja, fény impulzus sál vagy bármilyen egyéb ionizáló, azaz elektronokat és lyukakat keltő sugárzás impulzus szerű ráhatásával /például elektronnyaláb , gamma sugárzás » stb./. A gerjesztő /betöltő/ impulzus alatt a vizsgált minta' kapacit iá vagy a rajta folyó áram értéke erősen megváltozik. Abból a célból, hogy a mintának a gerjesztésre adott válaszát a gerjesztő impulzus befejeződése után detektáljuk, a mintát tartalmazó mér ökör t egy mérőegység bemenetére kapcsoljuk. A mérőegység kapacitás- va^y ár arma érő egyaránt lehet. Mivel a gerjesztő impulzus tartama alatt a válaszjel több nagyságrenddel meghaladja az impulzus befejeződését követő szintet, arait detektálni kell, a tulvezérléa időtartamára a mérőegységet leválasztjuk a mérőkörről. Az eddig elmondottakat az 1. ábra idődiagramjai szemléltetik. la. diagramon a gerjesztést létrehozó egység részére Q vezérloimpulzusok sorozata látható, amelyek feladata vázolt Pp gerjesztő impulzus kiváltása. A P( Az küldött P az ld. diagramon vezérlőimpulzusok 0p per indusidőval ismétlődnek és Tg tartanálak. Az első Pc vezéflőimpulzus, t0 időpontban kezdődik és tn időpontban fejeződik be. A Pg. gerjesztő impulzusok /ld. diagram/ időben egybeesnek az őket kiváltó P0 vezérlőimpulzusokkal, azaz tartamuak és kezdeti- és végpontjaik egybeesnek, a különbség 6csak annyi, hogy ismétlődési idejük a TD periódusidő kétszerese. Más szóval kifejezve minden máaodik^Pc vez ér lő impulzus hatására Pg gerjesztő impulzus nem keletkezik. Az lo. diagramon látható P*. tiltó impulzus a t^ időpontban induló Pc vez ér lő impulzus hatását tiltja le, azaz a t/j. időpontban Pg gerjesztő impulzus nem jön létre. Megjegyezzük, hogy a külön P§ tiltó impulzust az érthetőség kedvéért vázoltuk külön, megfelelő áramkörökkel elérhető, hogy a P0 vezérlő impulzusok közül minden második hatástalan legyen. Az la. diagramon a pontvonallal vázolt Pj^ leválasztó impulzusok a mérőegység bemenetének a mérőkörről való leválasztását vezérlik. A P, leválasztó impulzusok lényegében egybeesnek a P0 vezérlőimpulzusokkal, csupán hátsó élük van kissé késleltetve a t^ időponthoz képest. A késleltetés mértéke néhányszor tiz nanosecundum és szerepe az, hogy a mérőegység bemenetének a mérőkörre való rákapcsoláai t2 időpontjában a Pg gerjesztő impulzus már biztonsággal befejeződött. A P. leválasztó impul6
