182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
182.777 integráljuk, és a találmány szerint detektálási periódusonként az érintett detektálási periódust közvetlenül megelőző és követő egymással azonos két gerjesztő impulzus kezdete közötti időpontban a detektálást az említett időtartamra ismét letiltjuk és a súlyozást végző szinkronizáló impulzusokat a holt idő befejeződés! időpontjához szinkronizáljuk és periódusidejüket az egymással azonos gerjesztő impulzusok periódusidejével azonosra állítjuk be. A DLTG módszerrel Összhangban egy mérési ciklus alatt a gerjesztő impulzusok állandó frekvenciája mellett a minta hőmérsékletét vagy állandó hőmérséklet mellett a gerjesztő impulzusok periódusidejét folyamatosan változtatjuk. Ezzel a módszerrel tehát a letiltási szakaszokat és az ezekkel velejáró tranziens folyamatokat kétszeres frekvenciával végezzük a gerjesztő impulzusokhoz és a sulyfüggvényhez képest. A választott sulyfüggvény alkalmazása mellett a tranziens hatások az egyes értékelési periódusokban egymást kiegyenlítik, ami számos előny forrását jelenti. A folytonosság biztosítására a súlyozott integrálás során a letiltott időtartam alatt a detektált válaszjel helyett egy adetektált válaszjelnek a letiltási szakasz kezdeti időpontját közvetlenül megelőző időszakban felvett értékével azonos szimulált jelet használunk. A találmány szerinti eljárás egy előnyös foganatositási módjánál az említett gerjesztő impulzusok közé eső letiltási időtartamok alatt az említett egymással azonos gerjesztő impulzusoktól eltérő intenzitású és/vagy időtartamú további gerjesztő impulzusokkal a mintára ráhatást gyakorlunk. A közbeiktatott második tipusu gerjesztő impulzusok és az első tipusu gerjesztő impulzusokkal együttes sorozata hatáséira nemcsak a kapcsolások es letiltások történnek kétszeres frekvenciával a súlyfüggvényhez képest, hanem a gerjesztés is, jóllehet adott gerjesztestipus frekvenciája mindig azonos a sulyfüggvényével. Ennél az eljárási módnál differenciális DLTS módszert valósítunk meg, amely vizsgálati lehetőségeit tekintve mindazt nyújtja, mint a DDLTS módszer, csak nagyobb érzékenység elérését teszi lehetővé egyszerűbb műszerezettség mellett'. Ennél az eljárásnál célszerűen a további gerjesztő impulzusokhoz rendelt letiltási időtartamot a kivánt impulzus időtartam és a holt idő együttes időtartamára állítjuk be és ennek befejeződési időpontját a szinkronizáló impulzus előjelváltási időpontjával azonosra választjuk. A találmánnyal berendezést is létrehoztunk az eljárás foganatosítására, amelynél a különbség a hivatkozott 1439/80 sz. magyar szabadalmi bejelentéshez képest abban áll, hogy 1:2 osztási arányú frekvenciaosztót tartalmaz, amelynek bemenete a vezérlő egységnek a holt idő végéhez szinkronizált kezdetű óraimpulzust kibocsátó kimenetéhez csatlakozik, kimenete pedig a lock-in erősítő referencia bemenetéhez csatlakozik, a vezérlő egység tartalmaz ezenkívül letiltó kimenetet, amely minden második gerjesztő impulzus létesítésének letiltására a gerjesztést letesitő szerv letiltó bemenetéhez van kapcsolva. A differenciális KLTS eljárás megvalósítása céljából a gerjesztést létesítő szervben két impulzus keltő egység van, az első impulzuskeltő egység bemenetelhez vannak a vezérlő egységnek az első tipusu gerjesztő impulzusok generálását vezérlő 4
