182247. lajstromszámú szabadalom • Berenezés alkatrészek, előnyösen szilicium lemezek atmoszferikus nyomás feletti kezelésérte
5 182247 6 dik 17 szabályzó szelepen kiáramló G2 gázmennyiség a 24 fúvókán beáramló mennyiséggel azonos. Ekkor a 11 kvarccsőben lévő oxidáló közeg és a 11 kvarccsövet körülvevő külső közeg nyomása egymással szintén állandó, dinamikus egyensúlyt tart. A nyomás leeresztésekor elzárjuk a G, gáz beáramlását szabályozó első 15 szabályzó szelepet. Mivel a második 16 szabályzó szelepen keresztül a G, gáz kiáramlása folytatódik, a 11 kvarccsőben a Pj nyomás csökkenni kezd. Ekkor a 20 zárt térben a P, nyomás szintén csökken és a 21 membrán két oldalán kialakult egyensúly felbomlik. A 23 torlólemez a 24 fúvóka felé elmozdul, a 24 fúvókán keresztül a G2 gáz beáramlása csökken. Mivel a harmadik 17 szabályzó szelepen a gáz kiáramlása azonos marad, a 13 nyomásálló edényben a P2 nyomás szintén csökkenni kezd. Ez a nyomáscsökkenés az előzőekben leírt módon követi a Gj gáz nyomáscsökkenését. A berendezés működése során fontos szerepet játszik a 15, 16 és 17 szabályzó szelepek beállítása. Közülük az oxidáló közeg kiáramlását szabályzó második 16 szabályzó szelep áteresztésének megválasztása önkényes, de célszerű közepes értékűre venni. Túlságosan nagy áteresztés esetén nagy a gázfogyasztás, alacsony érték esetén pedig a nyomás leeresztése csak lassan történhet. A második 16 szabályzó szelep * kiválasztása után az első 15 szabályzó szelep nyílását úgy kell megválasztani, hogy áteresztő képessége nagyobb legyen a második 16 szabályzó szelep átbocsátó képességénél. Ha a ^ 15 és 16 szabályzó szelepek áteresztő képessége közötti különbség kicsi, a 11 kvarccső nyomásemelkedése csak lassan történhet, míg ha túlságosan nagy, a 13 nyomásállő edény utántöltése csak lassan tudja követni a 11 kvarccső feltöltését. Végül pedig a harmadik 17 szabályozó szelep áteresztő képességét olyannak kell választani, hogy a rajta egységnyi idő alatt kiömlő gáz mennyisége nagyobb nyomásesést idézzen elő a 13 nyomásálló edény P2 nyomásában, mint amilyen nyomásesést a második 16 szabályzó szelepen kiáramló gáz mennyisége okoz a 11 kvarccső nyomásában. Megoldásunkban ez igen fontos feltétel, mert ez biztosítja, hogy a működés során, vagyis minden alkalommal, amikor a 11 kvarccsőben a Pj nyomás a környezeti atmoszférikus nyomás fölé emelkedik, a 14 nyomáskiegyenlítő szerkezet 24 fúvókája nyitva legyen és rajta keresztül a kiegyenlítő gáz áramoljon. Készülékünk működése során természetesen az is alapvető követelmény, hogy a 24 fúvókán átáramló G2 gáz mennyisége teljesen kinyitott állapotban nagyobb legyen a harmadik * 17 szabályzó szelepen eltávozó gáz mennyiségénél és ebben a helyzetben a 13 nyomásálló edény nyomásemelkedésének üteme meghaladhassa a 11 kvarccső maximálisan elérhető , nyomásemelkedési ütemét. A készülék működését természetesen nem befolyásolja az a követelmény, ha üzem közben a 15, 16 vagy 17 szabályzó szelepek valamelyikének állását változtatjuk, ha egyébként a szelepek áteresztési viszonya nem változik. így például a 16 és 17 szabályzószelepeket a rendszef nagy nyomásra történő feltöltése alatt, valamint az oxidációs művelet idején célszerű kis értékűre venni a gázfogyasztás csökkentése érdekében, míg a rendszer nyomásának leeresztésekor a 16 és 17 szabályzó szelepeket ajánlatos nagyobbra nyitni, hogy a leeresztési folyamat gyorsabban történhessen. Az eddigiek során készülékünk elvi működésének csupán egyik lehetséges módját mutattuk be, amikor az oxidációs reakció színhelyéül szolgáló 11 kvarccsőbe történő gázbeáramlás vezérli a 13 nyomásálló edényben a kiegyenlítő nyomás létrehozását biztosító gáz beáramlását. A bemutatotthoz hasonló dinamikus egyensúly biztosítható abban az esetben is, ha a 14 nyomáskiegyenlítő szerkezetünk 20 zárt terébe a 13 nyomásálló edénybe áramló gázt vezetjük és ezzel vezéreljük a 24 fúvókán a 11 kvarccsőbe beáramló oxidáló közeget. Ebben az esetben a 14 nyomáskiegyenlítő szerkezet 13c gázbevezetö csöve a 13 nyomásálló edény 13a gázbevezető csövéhez csatlakozik, a 19 gázkivezető csöve pedig a 11 kvarccső 1 la gázbevezető csövéhez kapcsolódik. A készülékünk működésében fontos szerepet játszó 14 nyomáskiegyenlítő rendszer működését a készülék leírása során ezidáig a 2. ábrán bemutatott szerkezet segítségével magyaráztuk. A 14 nyomáskiegyenlítő szerkezet működése azonban — azonos elvi működés mellett — nem csupán a 2. ábra szerinti konstrukcióval biztosítható és találmányunkat ne n is kívánjuk erre az esetre korlátozni. A következőkben a teljesség igénye nélkül egy újabb példát mutatunk be a 3. ábrán. Ebben az esetben a vezérlő gáz a G( gáz amely a 20 zárt részben P, nyomást hoz létre. Amennyiben a P, nyomás meghaladja a vezérelt G2 gáz által a 33 középső térben létrehozott P2 nyomást, a 21 membrán a 33 középső tér felé elmozdul és elmozdítja a 30 csappal ellátott 31 zárószerkezetet. A 31 záró szerV 30 csapja keresztülnyúlik a 28 zárólemez nyílásán és a 29 fészekbe illeszkedik. Alaphelyzetben, azaz a Pj és P2 nyomás egyenlősége esetén a 31 zárószerv éppen belefekszik a 28 zárólemezben lévő 29 fészekbe és elzárja a G2 gáz beáramlását. Készülékünk továbbfejlesztése során a 15, 16 és 17 sza. bályzó szelepeket különböző elektromos vagy pneumatikus vezérlésű szelepekkel helyettesíthetjük, amelyek a berendezés automatikus vagy félautomatikus működtetését teszik lehetővé. Ezzel találmányunkat nem kívánjuk korlátozni. Ugyancsak kiegészíthetjük a készüléket a nyomásstabilizátorok előtt vagy után elhelyezett gázadagoló szerkezettel, illetve a készülék egészében elsősorban a biztonságos üzemelést elősegítő reteszelő, árammegszakító szerkezetekkel. Ezek készülékünk lényegét nem érintik. Készülékünk működésében, amint ez a részletes ismertetésből kitűnik, nem játszik szerepet, hogy a G, gáz egykomponensű, vagy gázelegy. Nyilvánvalóan a működést nem befolyásolja, ha akár vezérlő, akár vezérelt gázként, akár mindkettő gyanánt gázkeveréket, például nitrogén-oxigén, nitrogén-hidrogén stb. keveréket használunk. Különös figyelmet érdemel az oxigén-hidrogén keverék használata, ami az atmoszférikus nyomáson történő-oxidáció gyakran használt gázkeveréke. Ebben az esetben az oxidációs csőben kémiai reakció megy végbe, amelynek következtében térfogat változás történik. Ezen esetben is, és más térfogat változással járó reakciónál is az általunk leírt berendezés használható. A kívánt gázmennyiségek a 15, 16, 17 szabályozó szelepek segítségével beállíthatók. A 11 kvarccsőre szükség szerint alla gázbevezető csövön kívül további 34 gázbevezető csövek készíthetők. Ezek léte készülékünk lényegét nem érinti. Bármely kialakítás szerinti 14 nyomáskiegyenlítő szerkezet 21 membránja rugóval előfeszíthető. Ezáltal a 11 kvarccső és a 13 nyomásálló edény nyomása között meghatározott különbséget tudunk létrehozni. Ezen változtatás készülékünk lényegét nem érinti. Szabadalmi igénypontok 1. Berendezés alkatrészek, előnyösen szilíciumlemezek atmoszférikus nyomás feletti kezelésére, amelynek gázbevezető és gázkivezető csővel (13a, 13b) ellátott nyomásálló edénye (13), a nyomásálló edényben (13) gázbevezető és gázki-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 5
