182247. lajstromszámú szabadalom • Berenezés alkatrészek, előnyösen szilicium lemezek atmoszferikus nyomás feletti kezelésérte
182247 8 7 vezető csővel (11a, 11b), valamint fűtőtesttel (12) ellátott kvarccsöve (11) van, azzal jellemezve, hogy a két gázbevezető cső (11 a, 18) és a nyomásálló edény ( 13) gázbevezető csöve (13a) között nyomáskiegyenlítő szerkezete (14) van, azonkívül a kvarccső (11) gázbevezető csövének (11a), valamint a 5 két gázkivezető csőnek (11 b, 13b) szabályozó szelepe (15,16, 17) van. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a nyomáskiegyenlítő szerkezetnek (14) rugalmas membránnal (21) elválasztott háza (27) van, amely- 10 hez a két gázbevezető és gázkivezető cső ( 13c, 18,19) csatlakozik, továbbá a rugalmas membránnak (21) nyílással (25a,b) ellátott rögzítő szerv (26) útján kapcsolt torló lemeze (23), valamint a torló lemezhez (23) illesztett fúvókája (24) van, az egyik gázbevezető cső (13c) a ház (27) zártteréhez 15 (20), a másik gázbevezető cső (18) a fúvókához (24), a gázkivezető cső (19) pedig a nyomásálló edény (13) gázbevezető csövéhez (13a) csatlakozik. 3. Az 1. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a nyomáskiegyenlítő szerkezetnek (14) ru- 20 galmas membránnal (21 ) és záró lemezzel (28) három térrészre osztott háza (27) van, a zárólemeznek (28) nyílással ellátott fészke (29) van, melybe a nyíláson átnyúló csappal (30) ellátott zárószerv (31) illeszkedik, a zárószerv (31) csapja (30) a rugalmas membránhoz (21) van rögzítve, az egyik gázbevezető cső (13c) a zárt térhez (20), a másik gázbevezető cső (18) az elválasztott térhez (32) a gázkivezető cső (19) pedig a ház (27) középső teréhez (33) csatlakozik. 4. A 2. vagy 3. igénypontok szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a nyomáskiegyenlítő szerkezet (14) egyik gázbevezető csöve (13c) a nyomásálló edény (13) gázbevezető csövéhez (13a), gázkivezető csöve (19) pedig a kvarccső (11) gázbevezető csövéhez (1 la) csatlakozik. 5. A 2—4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a rugalmas membránnak (21) előfeszítő rugója van. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kvarccsőnek (11) további legalább egy gázbevezető csöve (34) van. 2 rajz, 3 ábra A kiadásírt felel a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.5597.66-4 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkö István igazgató
