180861. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilíciumoxid, szilíciumnitrid és szilícium plazmamarási végpontjának, valamint plazmás fotoreziszt eltávolítási végpontjának jelzésére
180861 8 Az általunk alkalmazott CO vonal regisztrálásának egy másik előnye, hogy a folyamat végénél, vagy az egyik rétegből a másikba történő átmenetnél bekövetkező ugrásszerű jelváltozás elektronikusan jól érzékelhető, szemben a fluornál tapasztalható kis változással. Ez a jelváltozás elektronikusan feldolgozható és felhasználható a plazmamarási folyamat vezérlésére. így például Si3N4 marás alkalmazásánál a réteghatár elérésekor a folyamat automatikusan megállítható, vagy átkapcsolható a lakkréteg eltávolítására. Egy másik esetben a Si02 tetején lévő polikristályos szilícium egy megfelelő nagyfrekvenciás teljesítménnyel marható, majd a Si02 réteg elérésekor egy másik, az Si02 marása szempontjából előnyösebb teljesítmény választható ki, ugyancsak automatikusan, végül pedig a szilíciumot elérve a nagyfrekvenciás teljesítmény megfelelő alacsony szintre csökkenthető és így elkerülhető a nagy marási sebességből adódó marási inhomogenitás. Természetesen a bemutatott folyamatok csak példaként szolgálnak és nem korlátozzák az eljárás alkalmazhatóságát csupán ezekre az esetekre. Megjegyezzük még, hogy az általunk felsorolt példákban a megfelelő színképvonal kiválasztásához mindig csupán színszűrőt említettünk. Természetes azonban, hogy a megfelelő színképvonal kiválasztása más egyszerű módszerrel, pl. interferencia szűrő alkalmazásával is történhet. A korábban tett megállapításainkra ez semmiféle megszorítást nem jelent és azok ebben az esetben is érvényesek. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás szilíciumdioxid, szilíciumnitrid és szilícium plazmamarási végpontjának, valamint plazmás fotoreziszt eltávolítási végpontjának jelzésére, azzal jellemezve, hogy a plazmamarási reakcióban keletkező termékek színképéből a szénmonoxid megfelelő hullámhosszú fényjelét rögzítjük, a marás, illetve a fotoreziszt eltávolítás befejezését a jel ugrásszerű változása alapján határozzuk meg és a marási végpont, valamint a fotoreziszt eltávolítási végpontjának meghatározására közös szűrőt, pl. színszűrőt alkalmazunk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, 5 azzal jellemezve, hogy a plazmás fotoreziszt eltávolítás végpontjának érzékelésére és jelzésére a szénmonoxid előre meghatározott hullámhosszú színképvonalát pl. 483,5 nm hullámhosszat használjuk fel. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 10 módja, azzal jellemezve, hogy a szilícium-dioxid, szilícium-nitrid és szilícium marása során az egyébként ismert széntetrafluorid és oxigén, valamint nemesgáz tartalmú marógázhoz olyan mennyiségű hidrogéngázt keverünk, mellyel a végpontjelzéshez szükséges szénmonoxid keletkezését bizto- 15 sítjuk. 4. Berendezés az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítására, szilícium-dioxid, szilícium-nitrid és szilícium plazmamarási végpontjának, valamint plazmás fotoreziszt eltávolítási végpontjának jelzésére, amelynek reak-20 ciókamrája, az érzékelt fényjel erősítésére erősítője és az erősítő kimenetére kapcsolt megjelenítője vagy regisztrálója van, azzal jellemezve, hogy a berendezésnek nagyfrekvenciás tekerccsel (12), gázbevezetéssel és gázelszívó szerkezettel ellátott reakciókamrája (11), továbbá a reakciókamra (11) és 25 az erősítő (18) között szénmonoxidot érzékelő egyetlen szűrője, pl. színszűrője és egyetlen detektora van. 5. A 4. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szűrője interferenciaszűrő, vagy monokromátor (16). 30 6. A 4. vagy 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az erősítő (18) kimenete és a nagyfrekvenciás tekercset (12) tápláló nagyfrekvenciás jelforrás bemenete közé beavatkozó szerv (20) van kapcsolva. 7. Az 5—6. igénypontok bármelyike szerinti berendezés 35 kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az erősítő kimenetére egy a bevezetett gáz mennyiségét és/vagy minőségét szabályozó beavatkozó szerv van kapcsolva. 1 rajz, 1 ábra A kiadásért felel a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó Igazgatója 84.1286.66-4 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő [stván igazgató
