180861. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilíciumoxid, szilíciumnitrid és szilícium plazmamarási végpontjának, valamint plazmás fotoreziszt eltávolítási végpontjának jelzésére
O X 2 £ •Z r K) W l'â, / gáz be
/
