179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez
179233 e. A szeletet a beoldási, illetve telitési szakaszban a kályha magas hőmérsékletű terében tartják, ezáltal annak felülete a termikus marás következtében károsodik. A fenti hibák kiküszöbölése különösen a többréteges félvezető lézer struktúrák esetében fontos J mert a rétegekben, vagy azok határfelületén’létrejövő kristályszerkezeti hibák /amelyeket a felületben létrejövő karcok, esetleg grafit zárványok okoznak/ rövidre zárhatják az eszköz működése szempontjából alapvető, fontosságú p-n átmenetet, s ezáltal lehetetlenné teszik annak működését, vagy az eszköz gyors tcnkremenete-lét/ eredményezik:-«— IIIV Mártogatásos módszer A függőleges elrendezésű reaktortérben elhelyezett tégelybe vagy az abban kiképezett rekeszbe felülről egy mozgató rudazat segítségével belemártják a félvezető szeletet igy hozva létre az olvadék és a szelet felületének érintkezését. A művelet kivitelezése hasonló az előbbiekhez, itt is az olvadék hűtésével állítják elő annak telitett, illetve túltelített állaletet beiemárt£„e_ut án_a_sz e^ ennél a módszernél a félvezető szelet a reaktor magashőmérsékletü terén kivül tartható a telités során és igy kiküszöbölhető, hogy fe. lülete termikusán maródjék, hátrányos, hogy csak egyréteges szerkezetek előállítására alkalmas amiatt, hogy az olvadék eltávolítása" a felületről nem biztosított, s az olvadék maradványok az előző olvadékba jutva megváltoztatják annak összetételét. További hátrány, hogy a felületen keletkező hártya akadályozza a nedvesítést,* illetve az olvadék eltávolítását a nö-vessfcés—befejezésekor-. A találmány szerinti eljárás abban különbözik az ismert eljárásoktól, hogy a hordozó félvezető szeletet oldalról juttatjuk közvetlenül az olvadék belsejébe, s ehhez nem alkalmazunk olyan csúsztatható nyelvet, amely az olvadékkal érintkezik. Találmányunk azon a felis nier és en alapul, hogy az olvadéktartó rekesz keskeny nyílásán - amelyen az átlagos vastagságú /250-350/um/ félvezető szelet átfér - az olvadék nagy felületi feszültsége következtében nem folyik ki, illetve nem tud átjutni—a_ szomszédos—rekeszbe.— A találmány tehát egyrészt eljárás félvezető struktúrák ólvadékfázisu epitaxiális növesztésére, amelynek során félve-zető szeletet olvadéktartóban elhelyezett előirt hőmérsékletű és összetételű félvezető olvadékkal érintkéztétünk, miközben az olvadékot előirt sebességgel hütjük, és az jellemzi, hogy az érintkeztetést a félve^étő szeletnek az olvadék belsejébe az olvadéktartó keskeny tíyilásán át történő betolásával végezzük. A találmány másrészt kazetta félvezető struktúrák olvadékf áziSTr~ep üraxiálxs-növés ztés éhezy-amely ne k~ kaze tt a tes t ey—ebben kiképzett legalább egy olvadéktartója és a növesztendő legalább egy félvezető szeletet befogadó, a kazettatesthez illeszkedő tartója van, és amelynél az olvadéktartó legalább egyik oldalon a félvezető szelet átbocsátására szolgáló nyílás van kialakítva, és a tartó a félvezető szelet kiálló befogadására alkalmas rögzitőelemmel van ellátva. A találmányt a továbbiakban az ábrákon szemléltetett kát kiviteli alak alapján ismertetjük, ahol az potát. Amikor ez-az állapot bekövetkezik, a sze letet kiemelik és a rendszert lehűtik. Jóllehet
