179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez
173233 1. = ora t'4. 0 3. u I ábra találmány szerinti vízszintes elrendezésű kazettalálmány szerinti'függőleges elrendezésű, hengeres kazettát szemléltet. Az 1. ábrán vízszintes elrendezésű reaktorban alkalmazható kazetta egy kiviteli alakja látható, amellyel egy szelet mindkét oldalára egy-egy epitaxiás réteg vihető fel. A' kazettával a növesztés az alábbiak szerint történik: A 10 kazettatest 1 és 2 részeit egymásba csúsztatjuk, a 4 tartóba behelyezzük a félvezető 6 szeletet és azt az 5 rög'z i t ő elem helye r e csus zb ab as aval ~r ögz i t j ük. A kazetta 3 olvadéktartójába elhelyezzük az olvadék összetevő komponenseit. A 4 tartót a 10 kazettatest hátsó nyilasán keresztül a 9 megvezető rész segítségével betoljuk annyira, hogy a 6 szelet széle a 3 olvadéktartó oldalán lévő 8 nyílásba éppen belecsússzon. A kazettát ezután belehelyezzük a reaktortérbe és az előkészítő műveletek elvégzése után a réteg növesztését elvégezhetjük oly módon, hogy a 3 olvadéktartóban levő túltelített folyadékba a' 7 szár segítségével az olvadék közepébe betoljuk a 6 szeletet. -A kívánt -rét egvas tagság-elérése -után_a ..m húzásával az olvadék és a 6 szelet közötti kontaktust tétjük, ami a növesztés befejezését jelenti. Ezután a 6 szeletet a 4 tartó segítségével a reaktortér magas hőmérsékletű teréből eltávolítjuk. A tulhütés során az olvadék felületén lévő hártyát a 6 szelet például 250-350 /um vastag éle felhasitja, s ily módon az olvadék belsejében a nedvesítés tökéletes ïesz. 'Amikor az olvadékból kihúzzuk a 6 szeletet, a 6 szelet vastagságánál kb, 10-50 /im-el vastagabb 8 nyílás tökéletesen letörli az olvadék maradványait a 6 szelet felületéről. T~27r’abra két 6 széletré~öt különböző réteg feinóvesztésére alkalmas kazetta kiviteli alakját mutatja. A növesztés kivitelezésének egyik lehetésges módja az alábbiak szerinti: megszuntar tóba 15 rögzitőelem segítségével befogjuk a 6 szeyek egymástól való távolságát adott meretü 21 gra-A 14 leteket, amelyek egymástól való távolsági fitlapka segítségével állítjuk be. A 11 és 12 részekből álló 10 kazettatestet összeszereljük azáltal, hogy az első 11 részre ráhelyezzük a felső 12 részt és azt úgy rögzítjük, hogy a 13 olvadéktartók üregei egymás fölé kerüljenek: A 13 olvadéktartókba~e lhelyezzük^az^lvad-ékok-komponenseit .■ Az igy előké-■ szitett 10 kazettatestet a függőleges reaktortérben rögzítjük. Az egymást követő technológiai folyamatokban a rétegek felnövesztésének kezdetekor a 14 tartót a függőleges .17 szár segítségével lesüllyesztjük a 10 kazettatest 19'furatába úgy, hogy az belekerüljön a 10 kazettatest belsejébe.. A 6 szeletek ek-' kor a 10 kazettatest 12 részén kiképzett 2Ó kivágásba jutnak. A rétegeket a kívánt vastagságban és kétféle sorrendben lehet egymás után felnöveszteni, attól függően, hogy az óramutató járasával megegyezően, vagy avval ellentétes irányban forgatjuk el a Í4 tartót. A felnövesztett rétegek száma tovább növelhető és a meglévő olvadékokból tetszőlegesen kijelölhető a további sorrend is, hiszen a félvezető 6 szeleteket az öt lehetséges olvadék bármelyikébe ismételten betolhatjuk, s ezáltal a legkülönbözőbb réteg-variációkat hozhatjuk létre. A növesztés befejeztével a 6 szeletek visszakerülnek a kiindulási hely ;etbe, és a függőleges 17 szár felfelé történő kihúzásával a reaktortér alacsony, hőmérsékletű terébe emelhetők. Több 14 tartó alkalmazásával újbóli növesztések végezhetők a berendelés' megbontása nélkül." 5
