175084. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagokon vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására
175084 8 A középértéktől való szórás A filmsűrűség egyenletes elosztása = ±5% Az egyenletes koncentráció-elosztást a diffúziósréteg fajlagos felületi ellenállásának csekély Rs = ±3% (a diffúzió szerint) szórása jellemzi lemez fölött A találmányt az alábbi példák kapcsán szemléltetjük: 1. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 7,2 ml ionmentesített vizet, majd 4,7 ml ortofoszforsavat (85%-os; sűrűsége dj0 = 1,69) töltünk. Az oldatot keverjük és a lombikot jéggel és hideg vízzel töltött edénybe állítva 3 °C-ra hűtjük. Ezután bensőséges keverés mellett a hűtés megszakítása nélkül 22,3 ml tetraetoxiszilánt adunk oldathoz. Miután az oldat hőmérséklete elérte a szobahőmérsékletet, dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Ez az oldat olyan foszforszilikát réteg előállítását biztosítja, amely mintegy 50 súly% foszforpentoxid koncentrációval rendelkezik és az integrált mikroáramkörök gyártástechnológiájánál az emitterdiffúzió végrehajtásakor a foszfor bevitelére alkalmas. Az oldat felhasználhatósága 3-4 hónap. 7 2. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 7,2 ml ionmentesített vizet, majd 4,7 ml ortofoszforsavat (85%-os) töltünk. Az oldatot keverjük és a lombikot jéggel és hideg vízzel töltött edénybe állítva 1 °C-ra hűtjük. Ezután bensőséges keverés mellett a hűtés megszakítása nélkül 14,3 ml tetrametoxiszilánt adunk az oldathoz. Miután az oldat hőmérséklete elérte a szobahőmérsékletet, dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 3 hónap. 3. példa 100 ml-es mérőlombikba 50-55 ml dioxánt és 7,2 ml ionmentesített vizet, majd 4,7 ml ortofoszforsavat (85%-os) töltünk. Az oldatot keverjük és 0 °C-ra hűtjük. Ezután keverés mellett a hűtés megszakítása nélkül 28,8 ml tetrapropoxiszílánt adunk az oldathoz. Miután az oldat hőmérséklete elérte a szobahőmérsékletet, dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 3-4 hónap. 4. példa 100 ml-es mérőlombikba 50-55 ml dioxánt és 5,4 ml ionmentesített vizet, majd 4,7 ml ortofoszforsavat (85%-os) töltünk. Az oldatot keverjük és -2 °C-ra hűtjük. Ezután keverés mellett a hűtés megszakítása nélkül 22,3 ml tetraetoxiszilánt adunk az oldathoz. Miután az oldat hőmérséklete elérte a szobahőmérsékletet, dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 3 hónap. 5. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 13,5 ml ionmentesített vizet, majd 7,05 ml 85%-os ortofoszforsavat töltünk. Az oldatot keverjük és —3 °C-ra hűtjük. Ezután keverés mellett, a hűtés megszakítása nélkül 21,5 ml tetrametoxiszilánt adunk az oldathoz. Miután az oldat hőmérséklete elérte a szobahőmérsékletet, dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 2 hónap. 6. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 4,5 ml ionmentesített vizet, majd 2,35 ml 85%-os ortofoszforsavat töltünk. Az oldatot keverjük és 3 °C-on 11,15 ml tetraetoxiszilánt adunk hozzá. Ezután dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 1 év. 7. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 13,5 ml ionmentesített vizet, majd 7,05 ml 85%-os ortofoszforsavat töltünk, keverjük és szobahőmérsékleten 33,5 ml tetraetoxiszilánt adunk hozzá. Ezután dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 1 hónap. 8. példa 100 ml-es mérőlombikba 50—55 ml dioxánt és 13,5 ml ionmentesített vizet, majd 7,05 ml 85%-os ortofoszforsavat töltünk, keverjük és szobahőmérsékleten 33,5 ml tetraetoxiszilánt adunk hozzá. Ezután dioxánnal 100 ml-re töltjük fel, majd 0,15 ml 37%-os 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
