175084. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagokon vékony rétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására
9 10 sósavat adunk hozzá, keverjük, szűrjük és hermetikusan lezárjuk. Az oldattal közel 50 súly% foszforpentoxid tartalmú foszforszilikát rétegek készíthetők. Az oldat felhasználhatósága 40 nap (1,3 hónap). Szabadalmi igénypont Eljárás félvezető anyagokon vékonyrétegek kialakítására alkalmas oldatok előállítására: valamely hidrofil szerves oldószernek vízzel, tetraalkoxi-szilánna) és adalékanyagként ortofoszforsawal történő elegyítésével, azzal jellemezve, hogy hidrofil szerves oldószerke : dioxánt 4:1-12:1 arányban vízzel elegyítünk, 5 mám az elegyhez adalékanyagként ortofoszforsavat adunk legfeljebb 25 °C hőmérsékleten, ezután a kapott elegyet lehűtjük +3 °C-ra, hozzáadunk az elegyben levő víz 1 móljára számítva 3—5 mól tetraaikoxiszilánt, majd kívánt esetben 0,005-0,04 mól/liter só- 10 savat. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 80.433.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen - Felelős vezető: Benkő István igazgató
