167639. lajstromszámú szabadalom • Szerkezet munkadarabok síkbeli preciziós elmozdítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 1974. VI. 26. (MO-904) Bejelentés napja: Elsőbbsége: Szovjetunió, 1973. VI. 26. (1 936 988) Közzététel napja: 1975. VI. 28. Megjelent: 1977. VII. 15. 167639 Nemzetközi osztályozás: H 01 I 7/00 H 01 I 7/68 H 01 119/00 Feltaláló: Ivanov Evgeny Alexandrovich, mérnök, Silchenkova Vladislava Venediktovna, mérnök, Sazonov Alexandr Afanasievich, mérnök, Budkin Nikolai Stefanovich, elektroműszerész, Moszkva, Szovjetunió Tulajdonos: Moskovsky Institut elektronnoi tekhniíci, Moszkva, Szovjetunió Szerkezet munkadarabok síkbeli precíziós elmozdítására 1 A bejelentés tárgya szerkezet munkadarabok síkbeli precíziós elmozdítására, amelynek a munkadarabot tartó koordinátaasztala, a koordinátaasztalt mozgató piezoelektromos átalakítója, valamint a piezoelektromos átalakítót rögzitó tartója és tartóágya van. A szerkezet mikroelektronikában, különösen integrált áramkörök technológiai berendezéseinél, koordinátamérő és optikai-mechanikus műszerekben alkalmazható . Munkadarabok síkbeli precíziós elmozdítására alkalmas szerkezetek ismertek. Az egyik ismert szerkezetnél a munkadarabot tartó koordinátaasztal mozgatására koordinátánként egy piezokeramikus tárcsából.álló piezoelektromos elektromechanikus átalakító szolgál, amelyekhez elasztikus anyagú két támasz tartozik, A piezokeramikus tárcsák közül kettő függőlegesen, egy vízszintesen van elrendezve. Ennek az ismert szerkezetnek hátránya a piezokeramikus tárcsák alkalmazásából eredő komplikáltság és a piezoelektromos tárcsák körülményes precíziós megmunkálhat ósága. A szerkezet további hátránya, hogy rugalmas támaszai maradandó elasztikus deformációt szenvednek, ami az élettartam, a méretpontosság és az üzembiztosság szempontjából hátrányo s. Egy további ismert megoldásnál a koordinátaasztalt a tartóval összekötő piezoelektromos elektromechanikus átalakitó piezoelektromos lapokból áll, amelyek mindegyike ütközőn át egy-egy szánt mozgat, A szánok a különböző koordináták irányában vannak elrendezve. Ennek a megoldásnak hátránya a szánok és a szánokat egymással összekötő merev rugók alkalmazásából adódó konstrukciós bonyolultság., ami a pontosságot, a működés gyorsaságát és a mozgástartományt korlátozza. Célunk a találmánnyal a fenti hátrányok kiküszöbölése olyan szerkezet kialakításával, amely szerkezet piezoelektromos elektromechanikus átalakítójának konstrukciós kialakítása lehetővé teszi a pontosságnak, a működés gyorsaságának és a koordinátaasztal mozgástartományának növelését, 5 A feladat találmány szerinti megoldásában a munkadarabok síkbeli preciziós elmozdítására alkalmas szerkezetnek két, egy sikban elrendezett piezoelektromos lapja és az előzőre merőleges egyazon sikban elrendezett további két piezoelektromos lapja van. A piezoelektromos JQ lapok egyik vége a tartóban van rögzítve, mig a piezoelektromos lapok másik vége a koordinátaasztalon rögzített laprugóval van megfogva, amely laprugók sikja a laprugóhoz kapcsolódó piezoelektromos lapra merőleges, A tartóágyban további piezoelektromos lap van rögzítve, 15 amellyel a tartó csavarpályával ellátott elemen át van kinetikus kapcsolatban. Az alábbiakban kiviteli példára vonatkozó rajz alapján részletesen ismertetjük a találmány lényegét. A rajzon az ábra a helyező szerkezet axonometri-20 kus vázlata. A munkadarabok sikbeli preciziós elmozdítására alkalmas berendezésnek 2 munkdarabot tartó 1 koordinátaasztala van. A koordinátaasztal X-koordinátatengely irányú elmozdítására négyszögalaku piezoelektromos Jt k lapok szol-25 gálnak, amelyek egyik vége 5 tartó hornyaiba van mereven rögzitve. A piezoelektromos 3, k lapok 8,9 csuklón át az 1 koordinátaasztalon rögzített 6,7 laprugókkal vannak összekapcsolva, amely laprugók sikja merőleges a kapcsolódó piezoelektromos lap síkjára. 30 A koordinátaasztal Y-koordinátatengely irányú elmozdítására ugyancsak négyszögalaku piezoelektromos 10, 11 lapok szolgálnak, amelyek a piezoelektromos "},k lapok síkjára merőleges, egyazon sikban vannak elrendezve, A piezoelektromos 10, 11 lapok egyik vége 35 ugyancsak az 5 tartó hornyaiban van mereven 167639
