167639. lajstromszámú szabadalom • Szerkezet munkadarabok síkbeli preciziós elmozdítására

167639 rögzítve, mig a 10, 11 lapok másik vége lk, 15 csuklón át az 1 koordinátaasztal hornyaiban rögzített 12, 13 laprugókkal vannak összekapcsolva, amely laprugók sikja merőleges a kapcsolódó piezoelektromos lap síkjára. A piezoelektromos 3,4 10, 11 lapok bimorf piezokerámiai lapok. Az 1 koordinátaasztal sikban történő elfordítása további piezoelektromos 16 lap segítségével történhet, amely a kerülete mentén 17 tartóágyban befogott bimorf piezokeramikus tárcsa. A piezoelektromos 16 lap közepén két 19 görgővel ellátott 18 csap van elrendezve. A 18 csap 19 görgői a 20 rugóval a görgőkhöz nyomott 5 tartó kétbekezdésü csavarpályán feküsznek fel, a 18 csap és az 5 tartó kétbekezdésü 21 osavarpályája tehát csavarpárt alkotnak, A piezoelektromos 3,4 10, 11 és 16 lapok, valamint a csavarpár piezoelektromos elektromechanikus átalakítót alkotnak. A munkadarabok síkbeli preciziós helyezésére alkalmas szerkezet működése az alábbi: Ha egy — a leirásban nem ismertetett -forrásból vezérlőfeszültséget adunk a piezoelektromos 3,4 lapokra, akkor azok 8,9 csuklóhoz kapcsolódó vége a reciprok piezoeffektusnak-megfelelően elmozdul. A piezoelektromos 3,4 lapok felső végének elmozdulását a 8,9 csuklók a 6,7 laprugók közvetítésével átadják az 1 koordinátaasztalnak. Eközben a 6,7 laprugók nem hajlanak, mert síkjuk merőleges a piezoelektromos lap síkjára, az elmozdulás tehát a laprugók síkjában történik. A piezoelektromos 3,4 lapok alakváltozásának hatására az 1 koordinátaasztal az X-koordinátatengely irányában elmozdul. • Eközben a 12, 13 laprugók szabadon elmozdulhatnak az X-koordinátatengely mentén, mert a 3,4 lapok elmozdulásának iránya merőleges a 12, 13 laprugók sikjára. Ha a piezoelektromos 10, 11 lapokra vezetünk vezérlőfeszültséget, a szerkezet a fent leírtakhoz hasonlóan működik, de az 1 koordinátaasztal elmozdulása az Y-koordinátatengely irányában történhet. Ha a piezoelektromos 3, 4 lapokra és a 10, 11 lapokra egyszerre vezetünk vezérlőfeszültséget, az 1 koordinátaasztal az X és Y koordinátákkal adott irányba mozdul el. Ha a koordinétaasztal síkbeli elfordítására is szükség van, ugy e célból a piezoelektromos 16 lapra vezetünk vezérlőfészültségét. Ennek hatására a 16 lap közepe elmodzul, a lap kihajlik és a 18 csapot emeli vagy süllyeszti, ennek hatására a 19 görgőkhöz kapcsolódó 21 csavarpálya elfordul és magával viszi az 1 ko-10 15 20 ordinátaasztalt, amely elfordul, A 21 csavarpálya emelkedését ugy kell megválasztani, hogy ne legyen önzáró. Az -1 koordinátaasztal elfordulásának szöge arányos a piezoelektromos 16 lapra vezetett vezérlőfeszültség amplitúdójával és az elfordulás iránya a vezérlőfeszültség polaritásától függ, A bimorf piezokeramikus 3,^ 10,11 és 16 lapok .helyett tetszőleges, hajlitásra igénybevezető piezoelemek is alkalmazhatók, A szerkezet előnyei a konstrukció egyszerűsége, a mechanikusan mozgó, csúszó segédszervek és elasztikus támaszok elhagyása, a szélesebb alkalmazási lehetőség, A találmány szerinti szerkezet azon kívül, hogy a mikroelektronikai szerelő, ellenőrző és mérőberendezésekben integrált áramkörök alkatrészeinek precíziós helyezésére alkalmas, alkalmazható optikai-mechanikus műszerek, lézerberendezés, koordináta mérőberendezések és hasonló más berendezések részeként is, ahol a munkadarabok precíz elmozdítására a mikrométer tört részeitől néhány mm-ig terjedő tartományban szükséges. A helyezendő alkatrészek általában integrált áramkörök alkatrészei, tartók és sziliciutnlapkák, fény- és lézersugár eltérítő tükrök, vagy más hasonló tárgyak. 25 30 35 40 SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Szerkezet munkdarabok sikbeli preciziós elmozdításéra, amelynek a munkadarabot tartó koordihátaasztala, a koordinátaasztalt mozgató piezoelektromos átalakítója, valamint a piezoelektromos átalakítót rögzitő tartója és tartóágya van, azzal jellemezve, hogy két, egy sikban elrendezett piezoelektromos lapja /3,4/és az előzőre merőleges egyazon sikban elrendezett további két piezoelektromos lapja /10, 11/ van, amely piezoelektromos lapok /3,4,10,11/ egyik vége a tartóban /5/ van rögzítve, mig a piezoelektromos lapok /3,4,10, 11/ másik vége a koordinétaasztalon /l/ rögzített laprugóval /6,7,12,13/ van megfogva, amely laprugók sikja a laprugóhoz kapcsolódó piezoelektromos lapra merőleges; a tartóágyban /17/ további piezoelektromos lap /16/ van rögzítve, amellyel a tartó csavarpályával ellátott elemen át van kinetikus kapcsolatban. 1 rajz, 1 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 760273, OTH, Budapest