167487. lajstromszámú szabadalom • Töltés-csatolású félvezető eszköz és eljárás annak előállítására

7 167487 8 nyitunk, és ezután visszük fel a második vezetőréteget. A második vezetőréteg csak az ablakokban kerül az eszközre, a felesleges részeket a fotorezisztlakkal együtt eltávolítjuk. Irodalomjegyzék 1. W. S. Boyle, G. E. Smith. B. S. T. J. 49, 587-593 (1970) 2. W. E. Engeler, J. J. Tieman, R. D. Baertsch: Appl. Phys. Lett. 17 469-472 (1970) 3. W. F. Kosonocky, J. G. Carnes: ISSCC Digest Tech. Papers, Febr. 1971, 162-163 IEEE J. Solid-St.Circ. SC-6, (1971) 314-322 4. C. N. Berglund, et al.: Appl. Phys. Lett. 20 (1972) 413-414 5. D. Frohman-Bentchkonsky, M. Lenzlinger: J. Appl. Phys. 40, (1969) 3307-3319 6. J. T. Wallmark, J. H. Scott: RCA Rev. 30 (1969) 335-365 7. E. C. Ross, J. T. Wallmark: RCA Rev. 30 (1969) 366-381 8. E. J. M. Kendall, Solid-St. Electron. 14 (1971) 791-798 9. N. J.Chon, et al.: IEEE Trans. El. Dev. ED-19 (1972) 198-204 10. A. M. Goodman, E. C. Ross, M. T. Duffy: RCA Rev. 31 (1970) 342-354 11. C. A. T. Salama: Elektronics Letts. 8, (1972) 21-22 12. P.P. Gelberger, C. A. T. Salama, Proc. IEEE 60 (1972) 721-722 13. R.H. Krambeck: B. S. T. J. 50 (1971) 3169-3175 14. S. Nakanuma, et al.: IEEE J. Solid-St. Circ. SC-5 (1970) 203-207 15. C. A. T. Salama, J. Electrochem. Soc. 118 (1971) 1993-1999 16. D. Khang, S. M. Sze: B. S. T. J. 46 (1967) 1288—1295 17. G. E.Smith: U.S. Patent 3 654 499, Apr. 4, 1972. Szabadalmi igénypontok: 1. töltés-csatolású félvezető eszköz, amelynek félvezető hordozón kialakított töltött szigetelőrétege, a szigetelőrétegen lévő elektródarendszere és az elektródarendszerhez, valamint a félvezető hordozóhoz csatlakoztatott kivezetései vannak, azzal jellemezve, hogy az elektródarendszer egymáshoz képest egyenlő* hézagokkal elhelyezett elektródáit két vezetőréteg alkotja, ahol a második vezetőréteg az első vezetőréteget részben fedi, részben túlnyúlik azon. 2. Az 1. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető hordozóban a kiürülési tartomány vastagsága az elektródák első vezetőrétege alatt nagyobb, mint a félvezető hordozó egyéb részein. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródákat alkotó két vezetőréteg egymástól különböző anyagú. 4. A 3. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák első vezetőrétegét részben fedő második vezetőréteg anyaga az első vezetőréteget meg nem 5 támadó marószerrel eltávolítható fém. 5. A 4. igénypont szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák első vezetőrétege polikristályos szilícium vagy molibdén, a második vezetőrétege pedig alumínium. 10 6. Az előző igénypontok bármelyike szerinti félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szomszédos elektródák közötti hézag 5-20 Mm. 7. Az előző igénypontok bármelyike szerinti 15 félvezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető hordozó p- vagy n-típusú szilícium, a szigetelőréteg pedig két egymáson lévő, egymástól eltérő anyagú szigetelőrétegből áll. 8. A 7. igénypont szerinti félvezető eszköz ki-20 viteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szilícium hordozón szilíciumdioxid anyagú első szigetelőréteg, ezen pedig szilíciumnitrid anyagú második szigetelőréteg van. 9. Az 1-6. igénypontok bármelyike szerinti fél-25 vezető eszköz kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a félvezető hordozó n-típusú szilícium, a szigetelőréteg pedig egymáson lévő szilíciumdioxid és alumíniumoxid szigetelőrétegekből vagy csak egyetlen alumíniumoxid szigetelőrétegből áll. 30 10. Eljárás töltés-csatolású félvezető eszköz előállítására, ahol a félvezető eszköznek félvezető hordozón kialakított töltött szigetelőrétege és a szigetelőrétegen lévő elektródarendszere van, azzal jellemezve, hogy a félvezető hordozón villamosan 35 tölthető szigetelőréteget alakítunk ki, a szigetelőrétegre első vezetőréteget viszünk fel, ebből egymástól hézagokkal elválasztott elektródákból álló elektródarendszert alakítunk ki, ezután az elektródarendszerre feszültségimpulzust adunk, majd az 40 elektródák legalább egyik szélét változatlanul hagyva, második vezetőréteg szelektív felvitelével valamennyi elektródát legalább az egyik irányban megszélesítjük. 11. A 10. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 45 módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségimpulzus ráadása után az elrendezésre második vezetőréteget viszünk fel, amelyből maszkolási technikával, az első vezetőréteg anyagát meg nem támadó marószer alkalmazásával az elektródákat részben fedő 50 második rétegelrendezést alakítunk ki. 12. A 11. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elektródarendszert maszkolási technikával alakítjuk ki, és a második rétegelrendezés kialakításánál az elektróda-55 rendszernél alkalmazott maszknak a szomszédos elektródák közötti hézagnál kisebb eltolásával készített maszkot alkalmazunk. 13. A 10. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségimpulzus 60 ráadása után az elrendezést fotorezisztlakkal fedjük be, a lakkrétegen az alatta lévő elektródákkal részben fedésben ablakokat nyitunk, ezután felvisszük a második vezetőréteget, majd a felesleges vezetőrétegrészeket a fotorezisztlakkal együtt el-65 távolítjuk. 4