167487. lajstromszámú szabadalom • Töltés-csatolású félvezető eszköz és eljárás annak előállítására

9 167487 10 14. A 10-13. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első vezetőréteg felvitele után a vezetőrétegre feszültségimpulzust adunk, majd az eljárást az elektródarendszer kialakításával folytatjuk. 15. A 10—13. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az elektródarendszer kialakítása után az elrendezésre további vezetőréteget viszünk fel, a további vezetőrétegre feszültségimpulzust adunk, a további vezetőréteget az első vezetőréteg anyagát meg nem támadó marószerrel eltávolítjuk, majd az eljárást az elektródarendszerre való feszültségimpulzus ráadásával folytatjuk. 2 rajz, 2 ábra A kiadáséit felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 766107 - Zrínyi Nyomda 5