167458. lajstromszámú szabadalom • Hermetikusan zárható tokszerekezet

MAGTAB NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY 167458 'S- «<<! (JOB Bejelentés napja: 1973. XI. 02. (Hi-367) Közzététel napja: 1975. V. 28. Megjelent: 1976. X. 30. Nemzetközi osztályozás: H0111/04 *•"•* Bejelentés napja: 1973. XI. 02. (Hi-367) Közzététel napja: 1975. V. 28. Megjelent: 1976. X. 30. Nemzetközi osztályozás: H0111/04 Ol TAI fl ISZAG4 ALMA iTVATA >S NYI L, Bejelentés napja: 1973. XI. 02. (Hi-367) Közzététel napja: 1975. V. 28. Megjelent: 1976. X. 30. ,/ "• '' "';

''•-•y Feltalálók: Walton Gusztáv oki. villamosmérnök 55%, Wollitzei György oki. vegyész 25%, Sztankovics László oki. vegyész 10%, Budapest, Pajer László oki. gépészmérnök 10%, Bicske Tulajdonos: Híradástechnikai Ipari Kutató Intézet, Budapest Hermetikusan zárható tokszerkezet 1 A találmány tárgya olyan hermetikus szigetelést biztosító, hibrid elemekkel, nyomtatott vezető ellenálláshálózattal ellátott tokszerkezet, mely kerámiagyűrűből és fémburából áll, és a tokszerkezet elemei egymáshoz hermetikusan üvegtartalmú ragasztó vagy szigetelőanyaggal, illetve forrasztással vannak rögzítve. A szigetelő alapú vastagréteg hibrid integrált áramkörökkel szemben támasztott magasabb igényeket nemcsak a bonyolultsági fok, hanem elsősorban a nagy megbízhatóság, az áramkörök statikus és dinamikus paramétereinek nagyfokú stabilitása is jelenti. Ezen stabilitási tulajdonságok jelentős mértékben az alkalmazott tok hermetizáltságának a függvényei. A félvezető integrált áramkörök tok konstrukciói már nagyjából kiforrottak és léteznek nemzetközileg elfogadott szerkezetek. A hibrid technika azonban még ilyen elfogadott tokszerkezettel nem rendelkezik és világszerte folynak a -kutató és fejlesztő munkák, amelyeknek az alapvető céljuk, hogy a mindenkori technológiához rugalmasan alkalmazkodó tokszerkezeteket alakítsanak ki, illetve ezek a szerkezetek stabil hermetizáltságot biztosítsanak. Ismert tény, hogy az integrált áramköri tokot a felhasznált anyagok szerint három nagy csoportba sorolhatjuk. 5 a) Műanyag, b) fém-üveg és c) fém-kerámia tokok. A fejlesztési munkák során néhány olyan 10 szerkezet jött létre, melyek e kettős feladatot csak részben oldják meg. A napjainkban ismert és leggyakrabban alkalmazott megoldásokat tartalmazza az 1., 2. és 3. ábrán közölt konstrukció. 15 Az 1. ábra egy fém és kerámia megoldást ábrázol, ahol az 1 a fémsapkát, 2 a forrasztást, 3 a vezető gyűrűt, 4 a szigetelőt, 5 a kerámia alaplemezt, 6 pedig a hibrid elemet jelenti. Az 1. ábrán vázolt tokszerkezet az ún. lappal forrasztott 20 multilayer tok. A tokszerkezet gazdaságos volta mellett hátrányos tulajdonságokkal is rendelkezik. A tokszerkezet konstrukciója, hogy a légmentes kötést síkok között hajtják végre. Ez a módszer 25 azt a veszélyt rejti magában, hogy a síkfelületek között zárványok és szennyezések vannak, amelyek szemmel nem látható és nehezen ellenőrizhető réseket alakítanak ki és káros hatásaik általában csak a kész áramkörök gyártása és ellenőrzése után 30 jelentkeznek. 167458