167458. lajstromszámú szabadalom • Hermetikusan zárható tokszerekezet
167458 3 4 A másik lényeges hátrányos tulajdonság abból adódik, hogy a fémbúra kb. 30 ju m távolságra van a kivezetőktől, így a szórt kapacitások miatt káros visszacsatolások keletkeznek olyannyira, hogy a nagyfrekvenciás alkalmazását lehetetlenné teszik. Korszerűbb és elsősorban a szórt kapacitások kiküszöbölését célozza a 2. ábrán bemutatott tokszerkezet, ahol az 1 az üvegfedőt, 2 az üveg forraszt, 5 az alaplemezt, 6 pedig a hibrid elemet jelenti. A szórt kapacitások csökkentését a nyomtatott speciális, szuper vastagréteg biztosítja és ugyanerre a rétegre helyezik el az üvegből készült fedőt. Az üvegfedő jól illeszkedik, azonban a ház magassága igen kicsi, ezzel a hibrid technikában való alkalmazása nagyon korlátozott. Az előzőkben vázolt tokszerkezeteknél jóval előnyösebb a 3. ábrán bemutatott tokszerkezet. A 3. ábrán bemutatott tokszerkezet metszetében az 1 a kerámia fedőt, 2 az üveg vagy fém forraszanyagot, 3 a kivezetőt, 4 az üvegszigetelőt, 5 a kerámia alaplemezt, 6 a hibrid elemet, 7 a kerámiagyűrűt jelenti. A tökszerkezet elemei kerámiából vannak kiképezve és a fedele egy kerámiából kiképzett síklap. A ház magasságát a kerámiagyűrű határozza meg és ezen tulajdonsága a különböző magasságú hibrid elemek behelyezését jelentősen korlátozza. A gyártás során különböző magasságú hibrid elemek kerülnek beépítésre, amelyeknek az elhelyezése nehézkes, ugyanis a tokkonstrukció nem alkalmazkodik a hibrid elemek geometriai méreteihez és a tok méretének a növelése pedig csak bonyolult eljárásokkal lehetséges. A síkban kiképzett kerámia tokfedél pedig csak a síklapok közötti forrasztást teszi lehetővé, tehát ismét fennáll a tökéletlen zárás veszélye. Ezen hiányosságokat küszöböli ki az általunk kidolgozott tokszerkezet, mely a hibrid elemek geometriai méreteihez igazodva a hermetikus tokozást biztosítja, valamint a nemkívánatos szórt kapacitást és a káros csatolások keletkezését megakadályozza. A találmány tárgya hermetikus szigetelést biztosító hibrid elemekkel, nyomtatott vezető ellenálláshálózattal ellátott, valamint kerámia gyűrűből és fémburából kialakított tokszerkezet. A találmány szerinti tokszerkezetet a 4. ábra mutatja be, ahol az 1 a fémburát, 2 a forrasztást, 3 a nyomtatott vezetőréteget, 4 a szigetelő réteget, 5 a kerámia hordozó lapkát, 7 a kerámiagyűrűt, 8 a kivezetőt jelenti. A találmány szerinti kivitelezett tokszerkezet úgy van kiképezve, hogy az 5 kerámia hordozólapkán elhelyezett 3 ki vezetőkre egy 7 kerámiagyűrűt, üvegtartalmú ragasztó vagy szigetelőanyag segítségével van ágyazva, míg az ugyanezen gyűrű fels» pereme 1 fémburával csatlakozik, mely a kerámiagyűrű felső síkjára merőleges 1 fémbura fala és a 7 kerámiagyűrű síkja között 2 élvarrat helyezkedik el. Az 5 kerámia hordozó lapkára az ismert 5 technológiák valamelyikének a segítségével kialakítjuk a szükséges vastagréteg 3 vezető nyomtatott réteg hálózatot, mely biztosítja az 5 kerámia hordozón levő áramkör és a 8 kivezető közötti kapcsolatot. 10 Ezután a nyomtatási technológiával felvisszük az üveg alapanyagú szigetelő pasztát, melynek geometriai mérete megegyezik a 7 kerámiagyűrű méretével. 15 A 7 kerámiagyűrűt mielőtt az 5 hordozó kerámia lapkán elhelyezzük a következőképp készítjük elő: A 7 kerámiagyűrű azon oldalára, mely az 1 20 fémburához csatlakozik, vezetőréteget nyomtatunk fel oly módon, hogy a fémbura ráhelyezésekor a nyomtatott réteg vastagságával egyértelműen pozícionálja az 1 fémburát. Ezután a vezetőréteg beégetésre kerül. Az így előkészített kerámiagyűrű 25 és kerámia hordozó lapka egy speciális befogó szerszámban együttes beégetésre kerül. Ezekkel a műveletekkel lényegében a kerámia hordozó lapka és a gyűrű már szilárd hermetikus kapcsolata megvalósult. 30 Az agy előkészített kerámia hordozó lapkát szereljük a szükséges hibrid elemekkel, majd a szerelés után a kerámiagyűrű felső pereméhez illesztjük a fémburát és az illeszkedésük vonala 35 mentén mártóforrasztásos vagy fénypákás forrasztással rögzítjük őket egymáshoz. A találmány szerinti kidolgozott tokszerkezet leglényegesebb előnye elsősorban az, hogy 40 -a fémburás zárásból adódó határfrekvencia korlátozást megszünteti oly módon, hogy nagymértékben lecsökkenti, 45 — gyakorlatilag megszünteti — a tokozott rendszer és a fémbura közötti szórt kapacitást és induktivitást, továbbá az alapvetően kerámia rendszerű szerkezet a tokozás szempontjából kiváló kerámia tulajdonságok mellett az alkalmazott 50 fémbura révén egyszerű eszközökkel eleget tud tenni a hibrid technika területén felmerült igényeknek, nevezetesen annak, hogy az ismertetett megoldás lehetővé teszi a különböző hibrid elemekhez igazodó, változtatható térfogatú, azonos 55 szerkezeti elemeket magába foglaló tokszerkezetek megvalósítását, valamint annak javíthatóságát, bonthatóságát biztosítja. -A fémbura és a kerámiagyűrű közötti igen 60 kritikus kötésnek élforrasztással való rögzítése -szemben minden eddigi megoldással (1., 2. és 3. ábrák) - vizuálisan könnyen ellenőrizhető, tömeggyártásra alkalmas. Az ilyen módon előállított hermetikus tokszerkezetek a külső behatásokkal 65 szemben igen stabilak. 2
