164001. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vákuumcső vagy gáztöltésű cső buráján belüli tér gáztalanítására, illetve atmoszférájának beállítására, és egyéb ezekkel kapcsolatos műveletek elvégzésére

MAGTAB NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1968. II. 13. (BE-939) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1967. III. 22. (WP 21 f/123 550) Közzététel napja: 1973. VII. 28. Megjelent: 1975. IV. 30. 164001 Nemzetközi osztályozás: H 01 k 3/24, H 01 j 9/38, H 01 j 9/48. Feltalálók: Krebs Dieter, nagyfrekvenciás mérnök, Siedlung Waltersdorf, Zucht Werner, nagyfrekvenciás mérnök, Berlin-Friedrichshagen, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Berliner Glühlampenwerk, Berlin, Német Demokratikus Köztársaság Berendezés vákuumcső vagy gáztöltésű cső buráján belüli tér gáztalanítására, illetve atmoszférájának beállítására, és egyéb ezekkel kapcsolatos műveletek elvégzésére 1 2 A találmány szivattyúzási folyamat, valamint az ezzel közvetlenül összefüggő és hozzá kapcsolódó, a légmentesítendő burán végzendő folyamatok elvégzéséhez felhasználható berendezésre vonatkozik. A találmány elsősorban a szivattyúzási 5 folyamatra és e folyamat elvégzéséhez, elektroncsövek és gázkisülési csövek esetében szükséges berendezésekre, továbbá a hozzá tartozó folyamatokra: kifűtés, formálás, aktiválás, gáz- ill. folyadékadagolás, valamint a kapcsolódó munkafo- 10 lyamatokra, mint a szivattyúzandó tárgy felfogása és behelyezése, a búra részeinek összekötése és a burák lezárása, vonatkozik. Ismert, hogy az elektronikus ipar sok termékét, pl. az elektroncsöveket, a gázkisülési csöveket és az 15 izzólámpákat előállításuk folyamán légtelenítési folyamatnak kell alávetni. Ez a folyamat és a benne foglalt és a hozzátartozó feldolgozási munkafolyamatok a berendezésekkel szemben az ismertetett gyártmányok különböző típusainál 20 általában mindig ugyanazokat a követelményeket támasztják. A búra egyes részeit összekötő beforrasztási eljárás után, a szivattyúzandó tárgyon nyílás marad, amely viszonylag szűk és hosszú csövön, az ún. szívócsövön keresztül csatlakozik 25 vagy oldhatóan (a szívógumicsövön, szívócsonkon) vagy oldhatatlanul (összeolvasztással) légmentesen a szivattyúhoz. A szivattyú egyes szelepeiből vagy csiszolt szelepekből álló szeleprendszer segítségével a 30 szívócsövön keresztül a burában vákuumot hoznak létre. A vákuum előállítása rendszerint különböző lépcsőkben történik úgy, hogy egymás után különböző szivattyúk, pl. elővákuum-szivattyú és nagyvákuum-szivattyú csatlakoztatásával, a végső vákuum, a kívánt nyomás elérhető. A végső vákuum javítására a burákat a kifűtési folyamatban magasabb hőméréskletre fűtik fel, így a búra falaira tapadt folyadékok és gázok gyorsabban elpárolognak, és leszivattyúzhatók, mint ez szobahőmérsékleten lehetséges. Végeznek továbbá gázöblítéseket is pl. nemesgázokkal, azért, hogy ezek a búra falára lerakódjanak ill. a maradék gáz összetételét döntően meghatározzák (keverés). Néhány gyártmányba, pl. a gázkisülési csövekbe, közvetlenül a termék lezárása előtt meghatározott gáz-vagy folyadékmennyiséget kell beadagolni. Folyadék-adagoláshoz adagolóegységet rendszerint minden egyes szívócsőnyílással szemben elhelyeznek. A kiszivattyúzott gyártmány elzárása oly módon történik, hogy az üveg szívócsövet a legegyszerűbb esetben gázlánggal vagy villamosfűtésű lehúzófejjel összeolvasztják majd lehúzzák és tömörítik, ill. a villamos lehúzásnál kihűlés után az össze olvasztási helyet üvegvágóval elvágják. A legtöbb terméknél leszívatás közben formálási folyamatot is (formálást és aktiválást) végeznek, ekkor a katódot felhevítik, hogy az anyaga átalakuljon és a katód anyagában lekötött gázok felszabaduljanak. 164001