159878. lajstromszámú szabadalom • Ultraprecizíós maszkpozicionáló (maskalignment) berendezés
159878 6 és 6 álí tócsa var helyzetevei kívüliről való szabályozásaival történik. A ftaomimozgaitás végprehapását maszkillesztő berendezésnél kézi mozgatásra terveztük, de egyéb területeikéin, (ahol előre meghatározott 5 magasság többszöri beállítása szükséges, pl.: a félvezatőteahniikáhain alkalmaízatt széletmérő (félkész mérő) automata berendezésekben, végrehajtható a mozjgaitlás elektromágnes, vagy elektromágneses szeleppel levegő segítségével is. 10 A megfelelő mozgástartományt ilyeniktQr nem a 2 állítácsiavar menetemelkedése, hanem két üitköző határozza -meg, ímelyék 'állíthatók. A fent említett berendezések visszaállása pon- 15 totssága a szerszámgépeknél megkívánt legfinomabb (pontosságot felülmúlja. A pozieiöináló berendezésbe ezen kívül egy durva (függőleges (mozgást létrehozó szerkezet is 20 be vain építve, ami lényegileg a fant leírt berendezés. Erre azért -van szükség, hogy a kristály !be- és kirakását -fiakos rendszerrel oldhassulk meg;. A (durva (mozgatásnál is igen előnyösen kihasználható a (membrán. A felemé- 25 lésnél ugyanis a kristálynak teljes felületen fel kell feküdnie a maszkhoz, ugyanakkor a tűiemelés elkeirülése végett a memlbnánitairtó háznak is ütköznie kell. A kristályvastagságban jelentkező kb. 40—61O mikron toleranciák miatt 30 ez nehezen volna megvalósítható. Jelen esetben viszont ezeket az eltéréseket a membrán rugalmassága felveszi. A művelet tehát a következő: pneumatika segítségével felemeljük az egész házait. A (gömbcsuklón elhelyezett kristály 35 felfekszik a maszkira (a gömbcsiukP.ó éppen az egy krisitályszeliaten belüli vastagságkülanbségeket van hivatva kiegyenlíteni) a további emelésinél a membrán behajlik addig, amíg a membrán tairtóház ütköziik az eme kiképzett 40 felületen. A pneumatika a műveletek alatt az egész házait erre az ütköző felületire felszorítja. Az előbb leírt fíiinommoizgató szarkezétítel visszaemeljük a maszktól a kristályt klb. (5—15 imiknonoia úgy, hogy ia maszk és a kristály ábrái a 4g megfigyelő (mikroszkópban rníég jól láthatók legyenek. így végezzük el ia pozicionálást, ennek befejeztével a kristályt oldalirányú elmozdulástól miantes íinoimállítióvaíl visszaemeljük a maszkhoz. Miajd (a jó összeszorttás érdekében a 50 kettőt vákuumánál összeszívjuk. így igen jó •minőségű leképzés érhető el. A tapasztalat szerint az ily módon készített maszkillesztő berendezés a legkisebb sibraktúrék {illesztési pontosság il imilkiron) méretlhű leképzésére üzem- g5 szerűen is alkalmas. közel \-~r - egymással <— célszerűen hullámosan kiképzett — távtartóval i(7) összekötött, legalább két rugalmas etame, pl. membránlemeze (8 és 9) van, a nugaltaiais elemek .pereme elmioádulásimanitesen van befogva, továbbá ezen legalább két rugalmas elem közös és egyidejű mozgatására 'szolgáló eszköze, pit egy (erőátadó szerkezeten — előnyösen kétkarú szögemelőn (3) — keresztül, ímely szögemelő (3) egyik karja — célszerűen a távtartóval (7) — van merev kajpcsolatbain, a kétkarú szögemelő .másik karjához csatlakozó, (állítócsavarja (.2) vain. 2. Az 1. igénypont saerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a távtartó (7) rúd. ' .'< 3. Az 1. igénypont szeriéi berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy ia távtartó (7) cső. 4. Az 1—3. igénypontok bánmelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a távtartó (7) furattal iiandelkezilk, amelybe a kétkarú szögemelő (3) egyik kairja bele van illesztve. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a távtartó (7) falnom beállításaira szolgáló, előnyösen a távtartó (7) alsó végéhez finom menettel csatlakozó állítóesavarja (6) van. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a kétkarú szögemelő (3) mindkét karja holtjátékimentesen egy-egy lemezrugóhoz (4) csatlakozik. 7. Az 1—6. igénypontok bánmelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a távtartó (7) egy kiegyenlítő tüskén {(5) van elhelyezve!, ímely kiegyenlítő tüske <(5) egyik vége a kétkarú szögemelő (3) egyik karjával, másik vége pedig finom menettel ellátott állítócsavarral (6) van kapcsolatban. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a távtartó >(7) felső végén a félvezető kristály és a maszk egyidejű tartására szolgáló tálca (liO) van elhelyezve. 9. Az 1—8. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja azzal jellfemiezve, hogy a írugalmais elemek (8 és 9) mazgaitására szolgáló pneumatikus szeirkezete vam. 10. Az I—8, igénypontok bánmelyike szerinti berendezés kivitelá alakja iázzál jellemezve, hogy a rugalmas elemek (8 és 9) (mozgatására hidraulikus szerkezete van. 60 Szabadalmi igénypontok: 1. .Rövidtávú, nagypontosságú mozgások, pl. a félvezető technikából ismert imaszkillesztés végrehajtására szolgáló berendezés, azzal jellemezve, hogy — két középpantjiábain, vagy ahhoz «5 ködtetett távvezérlése vam. 111. Az il—8. igénypontok bánmelyike szerinti berendezés kiviteli alakja 'azzal jellemezve, hogy a rugalmas elemek 1(8 és 9) (mozgatására szolgáló elektromos szerkezete pl. elektromágnese, jelfogója, vagy elekitromotoria, ill. impulzusmotoria, vagy aktív láraimfcörd elemekkel mű-3
