159878. lajstromszámú szabadalom • Ultraprecizíós maszkpozicionáló (maskalignment) berendezés

I 159878 12.. Az 1—8. dgényiponftok ibénmieliyike szerinti berendezés kiviteli alliaíkja ajzzal jiefflieimezve, hogy a Tiugialimias elemek (8 és 9) 'mozgatáséra szolgáló ímecthainilkius saetrikeaerte, pl. 'miferométeroaaiviairia viairi; 13. Az 1—<ia. igénypontok Ibámmielyfke szerinti berendezés kiviitieli alakja azizal jeüetrwezve, hogy a félvezető kirdistály és a (maszk «sszeszorítlására szoflgáMó vékuuimszívó szerkezetije viaih. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 4 7207583. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23.