159878. lajstromszámú szabadalom • Ultraprecizíós maszkpozicionáló (maskalignment) berendezés
3 159878 4 dugattyúiból általak, aurait •közel a központjánál nugioval felerősített két golyásonotn ált '(két-két galyóna, melyek helyzete meghatározott szöget zár be a dugattyú központjára, és helyzetük távtartóval biztosított) egy edzetitifalú persely belső oldaléra kényszerítenek. A gyakorlati tapasztalait azt mutatta, hogy a vezeték a két felületet a golyók íáOital támasztott helyeken <másoűljia le és éhhez a golyómba, körkörasségi hiba pozditív-inegaftiív értelemben hozzájárul, másrészről a vezeték négy ponton történő felfekvése túlhartárolt. A valóságban ezeknek a berendezéseknek az elkészítése igen precíz fiinamimechanikai munkáit igényel és asak megfelelő nagypontosságú gépekkél, eszközökkel valósítható meg. A találmány a miaszkpoziaiönáló és egyéb félvezető rteahnikában vagy egyebütt alkalmazott iröviiditávú (nagypontosságú mozgatások tökéletesebb ímeiglaMésáit adja, A mozgatás vezetését laz eddigi súrlódó vagy gördülő alkatrészek helyett két egymástól meghatározott, vagy állatható távolságbain levő széMin elmozdulásimiettiitesen befogott és középütt mereven összekötött membránok segítségével oldja meg úgy, hogy a közvetlen egymáshoz szerelt alkatrészek között oldalirányú elmozdulás neim jöhet létre és így a kívánt feltétel; biztosított. Gyakorlati kivitelezése emellett olyan egyszerű, hcigy a legprimitívebb eszközökkel is gyorsan elkészíthető. A mozgás amplitúdóját a membrán középpontjának két szélső helyzete baitáirozza meg oly módon, hogy a membrán elmozdulása asak ''annyi, hogy aiz még a arugálmlassiáigi haitáron 'belül van. így tehát a memlbnán méretíe, rugalimassága, valamint kiképzése (pl. hullámosi•tott membrán) határozzák meg a maiximálüs elmozdíithatióságot. A imiembrán alakija célszerűen kör, de ellipszis, esetleg más is lelhet. Anyaiga "oélszerűen -rugailmais fémlemez (pl,: ruigóacél, föszfanbronz), de bármilyen más anyagiból is lehet, pl.: ímegifelélően kiiképzett ruigaimats műanyagból is. Az aldaliránymenítes (mozgás erdőkében a két membránnak egy 'mechanikai egységet kell képeznie. Ezt biztosítja a két membrán középponitját (összekötő rúd, aminek ímeghosszabbításábain foglal helyet a tárgytairtő asiztal. Az öiszezekötő rúdnak aMerev fémirudniak ikell lennie (nagyobb szilárdságú cső is lehet).. Egy •meim.brán esetében ugyanis a kifaiflenés veszélye áll fenn. Ezt ae: össaefcötő rúd másik membránon •töribénő vezetése akadályozza meg. . A membránok (kerületiét olyan rendszerbe kell elimozdulásmenitesen. rögzíteni, amelyhez képesít a mozgatást végezzük. A membránok (mozgatása többféle imiódon történhet: < mechanikai' úton: pl.: emelőrendszer segítségével, ímelyet egy holtjáitékmentes felfüggesztés tart a helyén. Ezt a felfüggesztést (konzolt)magára a ímeimibránfcartó házra erősítjük fel. (Pl.: egy. vastagifalú cső ibelső ifelületéne.) Történhet a (mozgatás pneumatikus vagy hidraulikus úton úgy, hogy az alsó membrán alatt zárt iteret képzünk ki, ahova sűrített levegőt, illetve folyadékát benyomva a membránt meg-5 emeljük. Viákiuuniimal történő szívás esetén fordított mozgást érünk el. Lehetséges továbbá a mozgatás elektromágnes segítségével, amilkaris a membránokat összekötő rúd meghosszabbításába egy lágyvas hengert erősítünk, atwely egy 10 elektromágneses tekercs belsejébe nyúlik 'és az áramsűrűség változtatásával az elmozdulás mértéke szabályozható. Szükség esetén az árammérőt elmozduliásna kaliibnáühatjuk. így az elmozdulás mentéké leolvasható. 15 • ....••••.. A találmiány alkalmazása "révén elérhető előny abból származik, hogy ellentétben (a korábbi rnegoldásokfcal, nincs 'szükség a vezeitöfé'lületek pontos kialakítására, és így iaz előállítás sok-20 kaiba egyszerűbbé viáhlk. A találmány szerinti berendezés már elvi szempontból is hibátlan működést biztosít. - .*.-.• Másik előny a találmány alka&nazása. esetében az a körülmény, hogy a mozgatás létre-25 hozásíához (szükséges kapcsolatokat a legkülönbözőbb megoldásokkal létrehozhatjuk anélkül, hogy a pontosságot veszélyeztetnénk. (Pl: lehet . mechanikus, pneumatikus, hidraulikus, mágneses.) Így a szükséges mozgatás vezérelhető, 50 illetve távvezérelhető kivitelben is elkészíthető. További előny, hogy nincsenek csúszó, súrlódó alkatrészeik, így a kopás veszélye nem áll fenn és .pontossága hosszú használat ufóm sem csökken. 35 A membrános mozgatás egy példaképpeni konkrét példáját az általunk elkészített maszkillesztő barenidezéslben mutatjuk meg. A találmányban foglalt maszkiliesztő berendezés finqni . függőleges mozgatását a következőképpein oildot-40 tük meg: ". A készülék 1 házában elhelyezett; 2, függőleges állító csavarral feszítünk egy 3 szögemelőt, .atmiit 4 mugólapok holtjíátékmentesen rögzítemek az 1. ház falához erősített konzolon. A 3 . szögemelő vízszintesen fekvő karja 5 kiegyenlítő tüske felső csúcsán nyugtszik, amelynek alsó csúcsa 6, állító csawaodban foglal helyet. A 6 állítóesavar viszont'.fitnommenettel kapcsolódik 7 tiávote'égitartóhoz, amely mindkét végén .n a 8 és 9 (membrán furaitelba van erősítve, ami ° vezetékül szolgáíl. A ;Í8—9'(membrán külső peremei ház felső és lalsó parem'árie.van erősítve, . az • elmozdulást .10 tálca végzi, .mely a 7 'táytairítcfra v'aih. erősítve. A (tálcán foglal helyet a szilíciuim szelet, á.miit válku!ummal iCögzítünk egy 55 önbeálló gombffiiatlakozón.. A ,2 álltóesiavarral a mémibrán 7 távolságbairtőjiária felhelyezett 10 tálca 3—l(0ö /iirn tiávolsiágiba mozgatható. Az elmozdulás (mértéke szalbjályozhaitó a 2 állíitócsaivar (menet (emeltoed'ésének és a 3 szög(emelő kanábtételének ímegifelalő megyálaisiztásával.. Ennielk az amánylag fiioom. 3—iliOiO pm. mozgási itaritjofmiánynak.a Ibeállibásia .az. 1. hée 11 es foglalat ütköztetési miagaissiágámak beállításával 3.
