158963. lajstromszámú szabadalom • Eljárás krómlapok maratására és az ilyen módon előállított fotólitografikus maszkok
5 vastagsága előnyösen 800—1200 Angström között van. A krómmal bevont szubsztrátumot ezután szokványos pozitív fotoreziszt anyaggal vonjuk be és egy mintázatot viszünk át a fotoreziszt anyagra a fémminta fényképészeti emulzióíjáról ibolyántúli fény behatása alatt kontakt nyomással. A mintázatot ezután előhívjuk a fotoreziszt anyagnak oldószer segítségévéi való eltávolításával és ily módon a fémréteg feltárásával. Ezután maratófolyadékot készítünk egy tf. rész koncentrált sav (AGS) reagens minőség: 9/5—98% H2SO4) 4 tf. rész koncentrált foszforsav (ACS reagens minőség: ' legalább 85% H3PO/;) és 4 tf. rész ionmentes viz alkalmazásával. A szubsztrátumot az oldatba merítjük, a krómífelületen azonban semmiféle' oldódási jelenséget nem észlelhetünk. A króm felületnek finom alumíniumlhuizallal (hálóval) való egyszeri érintkeztetésével azonlban az érintkezési ponton igen gyors reakciót létesítünk. A reakció beindítása után az érintkezési .pontról gyorsan átterjed a krónrafelületre mindaddig, amíg ez a felület teljesen feloldódik. A példa során a maratást klb. 3—5 másodpercig végezzük. A példa kivitelezésekor és más kísérletek folyamán is arra a megállapításra jutottunk, hogy az alumíniumlhuzalt a krómfelülettel egyetlen ponton kell érintkezésibe hozni és kaparási vagy csiszölási művelet a krómfelületen a huzal segítségével nem szükséges. Előnyösen a savoldatot előmelegítjük példaképpen kb. SO C° hőmérsékletre és ezt a hőmérsékletet a maratási művelet során is fenntartjuk. • A reakció során nagyszámú gázbuborék keletkezik, melyek a krómfelülethez tapadnák. Annak megakadályozására, hogy ezek Védőréteget alkossanak és így a savoldatnálk a krómfelüléttel váló bensőséges érintkezését megakadályozzák, szükséges a buborékoknak a maratási művelét során való eltávolítása', amit a felületnek lágy appMlkátorral való letörlésével végzünk. Szokványosán amikor a maratási művelet a kívánt mértéket eléri, a reakciót hirtelen megszakítjuk a szubsztrátumnaik ammóniumhidroxíd megszakító fürdőbe való merítésével. Ilyen . megszakító fürdő- alkalmazása megakadályozza a maratott szakaszokból oldalirányban támadó sav következtében a fényálló képeik szélein alámarások keletkezését, ami különösen akkor kritikus, ha a maratást olyan oldatokkal mint koncentrált kénsav vagy koncentrált sósav, végezzük. Hacsak a szubsztrátumot azonnal el nem távolítjuk a savoldatból és nem mártjuk azonnal a megszakító fürdőbe a kellő menynyiségű króm letnaratásia után, a sav a fényálló-anyag alá mar. Továbbá amiennyiben ilyen alámiarás lép fel, úgy az átlátszó és az át nem látszó szakiaszok széleit elválasztó vonalaik határozatlanok, szabálytalanok és szaggatottak 6 lesznek. Ez magától értetődően azzal a következménnyel jár, hogy ezzel a maszkkal fényképészeti úton készített képek is kevésbé lesznek élesek. 5 Meglepő módon megállapítottuk, hogy annak ellenére, hogy a találmány szerint a maratási reakció igen gyorsan megy végibe, a fényállö kép szélein semmi . atlámarás sem észlellhető, 10 még abban az eisetben sem, ha .a szufos ztrátuni a kívántnál valamivel hosszabb ideig marad a: maró folyadékiban, mint ami szükséges lenne a felület lemaratáisálhoz. így példaképpen a savfürdőiben 20-^30 másodperccel tovább mala radlhiat a szubsztrátum, mint a szükséges 3—5 másodperc, mely a maratás végrehajtásaihoz minden észrevehető alámarás képződése nélkül szükséges. Ebből megálllapítható, hogy 'a talál-' mány szerinti manatófolyaidák alkalmazása igen 20 előnyös, mivel alkalmas, a fényálló kép széléig a krómréteg lemaratásárá, azonban pontosan meg nem magyarázlhiató okból nem terjed tovább azonnal a maró hatás a fényálló kép alámarását előidézve. így a maratási művelet al-25 kalmiazásanak lényegesen szélesebb skálája biztosítható. Amennyiben szükséges, a szufosztriátum a találmány szerinti matratáfolyiadékiban valamivel a 20—30 se;c.-ot meghaladó ideig is tartható. 30 Amennyiben így járunk el megfigyelhetjük, hogy a maratás folytatódik és a Iáikkal letakart képek aláimarása következik be. Azonban ha ez az alámarás. be is következik, nem jelent-' kéznek az egyéb ismert maratási eljárásiaknál 35 jelentkező szabálytalan vagy szaggatott vonalak, sőt ezzel ellentétben siimia, éles vonalakat kapunk, amelyekből fényképészeti úton igen éltes képeik állíthatók elő. Ilyen módon a találmány szerinti maratási eljárás alkalmazása kü-40 lönösen előnyös olyan esetekben, amikor a mintázat átlátszó szakaszait kívánjuk, növelni, miivel ez egyszerűen oly módon érhető el, hogy a szubsztrátumot a marató folyadékban hoszszafoib ideig tartjuk. 45 , A szubsztrátumot kb. 20 sec. múlva távolítjuk el a marat áfolyadékból és. amimóniumhidroxidlból álló megszakító oldatba helyezzük a sav semlegesítésére. A védő fotoreziszt anya-50 got a lapról eltávoliítjiuik és az ily módon előkészített krónnmaszkot hígított nátriumhidroxid oldatban tisztítjuk lágy viniilszivaecsial . való erőteljes dörzsölés útján. lommentes vízben való végleges, öblítés után a maszkot sű-55 rített levegővel takéletesen megsizárítjuk. Vizuális megfigyeléssel megállapítható, hogy különösképpen1 éles vonal választja el a maszk átlátszó szakaszait az át nem látszó szakaszoktól és ez a vonal lényegileg alámarésoktól mentes. 60 A találmány gyakorlati alkalmazása során, a marató oldat koncentrációjának beállítása nem feltétlenül kritikus tényező és változhat bizonyos határok között. Amint azt azonban már S5 az előbbiekben ismertettük, amennyiben csak
