158963. lajstromszámú szabadalom • Eljárás krómlapok maratására és az ilyen módon előállított fotólitografikus maszkok

1 15.8V68 kénsavat használunk, a sav hatása gyorsabb és így komoly aláraarást idézhet elő a szufosztrátum lefedett szakaszain. Ugyanez a hatás figyelhető meg koncentrált sósav alkalmazása esetén is. Ezzel ellentétben fosztfoirsiaiv önmagában láthatólag semmiféle hatással sincs a krómra és annak oldása szempontjából hatástalan. Ameny. nyiben azonban kénsavat hígítunk és foszforsavval elegyítünk, az oldási folyamait gyorsan végbemegy, azonban meglepő módon azonnal megszakad a szubsztrátum leifedett neszénél és így alámarás nem keletkezik. Általánosságban alkalmazott, igen jó hatásfokú, megfelelő marató oldat, az alábbi összetevőkből áll: 1— 4 tf. rósz koncentrált kénsav 4—li6 tf. rész koncentrált foszforsav és 4—16 tf. rész: víz. Amint azt a példa ismertetésében említettük, látható reakció nem. követtkezdk be a találmány szerinti maratóoldat és a krómifelülelt között, amíg a kirómifelületet fécmihuzallal nem órintkeztetjük. Az érfatkeztetés után, a reakció az érintkezési ponttól gyojríáan terjed és az egész felületre szétterjed, mindaddiig amíg az egész ferárntfelület az oldaliban, fel nem oldódik. Nem teljesen tisztázott annak a jelenségnek az oka, mély szepint fémmel, való érintkezltetéskor a reakció beindul, azonban feltételezhető, hogy katalizátor hajtás lép fel. Ennek a feltételezésnek figyelembevételével, jobb megjelölés hiányában, azokat a fémeket, airjíelyek a krómnak a marató folyadékban, való, oldódási folyamatát beindítják, a továbbiakban „katalizátor fémeknek" nevezzük. Az oldása reakció beindításÉíia áUkatoas katalizátor íésnefe tbözül, alumíntan, ón, magnézium, cink, kadmium.,, és ezek ötvözetét tartalmazó fémek bizonyulták különösen hatásosnak. A felsorolt fémek közül alumíniumot alkalmazzuk legelőnyösebben, miweí e»nek .segítségéve! éitelő el a kívánt Tolatás, a lej&edfvezőfoben.. A találmány szerinti eljárás további igen jelentős előnye abban áll, hogy a kén$aivfeól éjs foszforaaivlból álló miaotfató folyadék hatékonyan oldja a krómot, amjjkw a tatámat katalizátor 5 fémhuzallal érintkez-tettjük, még akkor is, ha a króm passzív állapotban van. Mint ismeretes, a króm aktív állapotról passzív állapot» •változik, amienmyiiben bizonyos ideiig levegő hatásának tesszük ki. Aktív állapotban a króm 10 szokványos, eljárások alkalmazásával könnyűszerrel feloldható. Amennyiben azonban a króm passzív állapottban vtan, a, szokványosán alkalmazott oldattok, mint koncentrált kénsav, vagy sósav nem alkalmasak a króm oldásána, mind-15 addig, amíg a króm ismét nem reaktivál ód'ik. Mivel a találmány gyakorlati alkalmazása során az oldás gyorsan végbemegy függetlenül attól, hogy a króm aktív vagy passzív állapotban van-e, a krómmal borított szubsztrátum 20 hosszú' ideig tartható a maratási művelet végrehajtása előtt. Példaképpen meg kell említeni, hogy amennyiben a, már ismert maratásii eljárásokat alkalmazzuk, a krámimial bevont szubsztrátum maratását a bevonás megtörtén-25 te után néhány napon belül el kell végezni. Ezzel ellentétben, amennyiben a találmány szerinti eljárást alkalmazzuk, még olyan szub-, szStoátumok is könnyűszerrel alkalmazhatók a maratási eljárásnál, melyeket hat hónappal eze-30 lőtt vontunk be krómréfieggel, sőt az, eljárás végrehajtható abban áz esetben is, ha a króm passzív állapotban van. 35 Szabadalmi igénypont; 1. Eljárás krómlapek maratására, főleg éles, elhatárolt körvonalakkal rendelkező fotolitografiikus maszkok előállítására, melynek során va-40 lamely sautesztrátumon létesített ikrómréteg nem védett szakaszait kénsavibázisú miaratáfölyadék hatásának tesszük ki és a króm feloldását a krómfielüliet legalább egy pontjának katalieátorféfwmel való érin'tikeztetéséfvel indítjuk meg, 4§ azaaj jell«nie«e, hogy az oldatban 1—4 tf. rész koncentrált kénsavat, 4—16 tf. rész koncentrált foszforsav^at és 4—16 tf. rész Vizet használunk. 4 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója-T1Q86S6, Ziínjíi (1) Nyomd», Budapest V., Balassi Bálint utca 21—S3.