158216. lajstromszámú szabadalom • Eljárás erősáramú szilicium alapanyagú diffúziós dióda p-n átmenet előállítására
158216 Az oldat pH éntébe 4,5—5,2 hőmérséklete 50 C°, az alkalmazandó áramsűrűség 2—3 A/dm2 , szükséges kapocsfeszültség 3—4 V, az anódfe-. lüleit — katódfelület aránya 1:1. A. felvitt réteget 1000—1400 Cc közötti tartományiban hidrogéniben beégetjük. Ezután a molifodénko-rong méretének, továbbá a kívánt ezüstréteg vastagságának megfelelő mennyiségű ezüstöt, darabos formába ráhelyezzük a molibdenkörongokra és azoikat • az ezüst olvadáspontjánál, 960 C°-nál magasabb hőmérsékleten hidrogénben, tűzi úton beezüstözzük. Az előzőek szerint felvitt és beégetett nikkelréteg, valamint a moMibdén felületéneik miegfeMő feldurvít ása biztosítja az ezüst egyenletes szétterülését. A találmány szerinti eljárás érteiméiben az előzőek szerint elkészített 2 aranyréteggel ellátott 1 sziMeiumtamez keményforrasztását a 4. ábrán látihaitó összeállítás szerint végezzük. A 7 grafitformában kimunkált üregben alul helyezkedik el a 4 moliibdénkorong, az 1% antimon tartalmú 5 aranykorong. Az 1% antimon tartalmú 5 aranykorong felületéről a szennyezésekéit a keményforrasztás előtt kémiai úton pl. hidtogénflworidban történő maratással távolítjuk el, majd az 5 korongot a maróoldat maradványainak eltávolítása céljából gondosan lemossuk. Az 1% antimon tartalmú 5 aranykorogra tesszük a 2 aranyréteggel ellátott 1 lemezt úgy, hogy a 2 aranyréteg alul helyezkedjék el. Ezután a 8 grafittávoliságtartót tesszük be az üregbe és annak furatába az alumíniumból, vagy alumíniumötvözetből készíteitt 6 korongot. Az alumínium- vagy alumínium- szilícium 6 korong felületéről a szennyezéseiket keményforrasztás előtt kémiai úton, pld. hidrogénfluo'ridban történő maratással távolítjuk efl, majd a 6 korongot a maróoldat maradványadnak eltávolítása céljából gondosan lemossuk. Az alumínium, vagy alumínium- szilícium 6 korongra helyezzük a 3 molibdónkorongöt úgy, hogy ezüstözött lapja felül legyen és erre teszszük a nikkelből, vagy más fémből készült 9 súlyt. Az így összeállított együttest nagyvákuumterű ötvözőkályihába helyezzük és az 5. ábrán látható hőfokprogramot hajtjuk végre, amikoris megtörténik a 4 műliibdénlkorong és az 1'%-os antimon tartalmú 5 aranykorong, valamint a 3 molibdénkorong és az alumínium vagy alumíniumszili dum 6 korong és a 2 aranyréteggel ellátott 1 sziliöiunilemez keményforrasztása. A keményforrasztás időtartama alatt a vákuum értéke célszerűen öxlű-4 — 10 -6 Hgmm a hőkezelés maximuma dióda típustól függően 450—750 C°, és a hőntartás időtartama 5—il5 perc. A kész átmenetet a 6. ábra szerinti felületeken 11 védőréteggel látjuk el. E célra 0—20 5 %-os higroszkopikus anyagot tartalmazó nagy hőállóságú lakkot, illetve ilyen lakk vailamelyik oldószeres oldatát alkalmazzuk. A fenti oldattal az átmenet védendő felületiét vékonyan bekenjük, majd az oldószer nagy 10 részét vakuumexszikkátonha téve ej távolítjuk, végül az átmenetet levegőn, vagy vákuumban célszerűién 100—200 C°-on 10—15 órán keresztül hőntartjuk a védőréteg beégetése céljából. A felületileg védeitít átmenetet védőgázas 15 szekrényben tokozzuk le. Először a 12 bázistönkre forrasztjuk fel az awmirozott átmeneteket, majd a 13 belső kivezetőt forrasztjuk fel, azután a 14 toksapkát helyezzük fel és préseljük be a bázisitönkibe, illetve annak felső ki-2o vezeitiését a beilső átvezeitőre. Végül a 15 külső kábelt préseljük be a helyére. A kész dióda keresztmetszetéit a 7. ábra mutatja. 25 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás erősáramú, szilícium alapanyagú diffúziós dióda p—n átmenet előállítására, amelynél a ,,p" típusú diffúziós réteggel ellá-30 toitit ,,n" típusú szilícium lemez (1) egyik felületéről a p-iréteget csiszolással eltávolítjuk, majd a szilícium lemezt kemencében hőfcezeljük, a hőkezelést 350—900 C° hőmérsékletű tartományiban legalább 10 percen át foganato-35 sítjuk és a kemencével együtt lehűlni hagyjuk, végül a szilícium lemezt alumínium (Al) vagy szilícium tartalmú alumínium (AISi) és antimon tartalmú arany (AuSb) ohmos kontaktusokkal (5, 6) látjuk el, azzal jellemezve, 40 hogy az ohmos kontaktusokhoz tűzi úton ezüstözött nikkellel bevont molibdén allkat-részeket (3, 4) csat/laíkoztiatunk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganaito-45 sítási módja azzal jellemezve, hogy a tűzi eljárás alkalmazása előtt a molibdén alkatrészeket (3, 4) galvanikus úton nikStelezzük. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás 50 foganatosítása módja azzal jellemezve, hogy a nikkel és ezüst rétegek megfelelő kötése érdekélben a 'molibdén alkatrészek (3, 4) felületét feldurvítjuk. 5_ 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja azzal jieüemezve, hogy az ohmos kontaktusok keményforrasztás sát nagyvákuum kályhában 10~~3 —10 -7 Hgmm vákuumór,ték mellett végezzük. 7 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7107233. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V-, Balassi Bálint "utca 21—23. 3
