158216. lajstromszámú szabadalom • Eljárás erősáramú szilicium alapanyagú diffúziós dióda p-n átmenet előállítására

158216 Nemzetközi osztályozás: H 01 17/46; C 23 b 5/08 (SÍI WW ZI Fig. la (Sio2

) {Siptyp.) (SLrítyp) <£Fig. 1b (sio2

) (Siy/yp)-^ (Si.ríiyp] S ^ Fig. 4c