154318. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés kisnyomású gázkisülőcsövek szivattyúzására
1 154318 4 szivattyúzáskor bekövetkező kisülési cső törésekor fellépő szennyeződésre, a higanyadagolás, áramhozzávetés a megfelelő pozíciókban. A fent felsorolt műveleteket az ismert szivattyúzási rendszereknél általában a következő módon oldották meg: az álló szeleptányér furataihoz különálló vákuumszivattyú egységeket csatlakoztattak. Esetleg két, vagy több pozíció leszívására használták egy közös szivattyút. Ezeknek a megoldásoknak általános hibája az, hogy igen sok szivattyú egység alkalmazását teszik szükségessé, ami üzembiztonság és karbantarthatóság szempontjából hátrányos. Előfordulhat, hogy valamelyik szivattyú egység vákuuma rosszabb, mint az előtte levőé, ily módon a fénycsőbe visszaáramlás történik és így a fénycső már viszonylag jó vákuuma ismét leromlik, emellett a visszaáramláskor a csővezetéken keresztül szennyezett gáz is juthat a csőbe. A fénycső nagy térfogata és az egyébként szükséges vékony és hosszú szívócső nagy áramlási ellenállása miatt a szükséges vákuum csak hosszú idő alatt érhető el, ami a szivattyúzási időtartam növekedését vagy a cső minőségének romlását vonja maga után. A nemesgáznak a kb. 2—3 mm-es végnyomásra való betöltéséhez a nagynyomású edényékből, vagy nemesgázvezetékből a gáz nyomását már a szivattyú álló szeleptányérja előtt egy ata.-nál kisebb értékre állítják be. Csőletörés esetén a letört csőhöz tartozó szivattyú és vezetéke lelevegősödik és így a következő belépő csövek vákuuma annyira leromlik, hogy kedvezőtlen esetben a cső a teljes körfolyamat alatt nem is szivattyúzható le, és ezek a csövek minőségileg másodrendűek vagy selejtesek lesznek. * Ennek az eljárásnak további hátránya, hogy ha letört csőhely, vagy egy ata. nyomású vezetékrész kerül a letöltő állás fölé, akkor a levegő benyomul a viszonylag kis nyomású töltőrendszerbe. Az így elszennyezett töltőgáz kerül azután a többi egyébként jól leszivattyúzott csőbe, ami minőségi romlást vagy selejtet eredményez. A katód elbontásához, formáláshoz, s aktiválásához szükséges áramszolgáltatáshoz rendszerint megfogó vagy akasztó szerkezetet alkalmaznak. Ezek a rendszerék lelassítják a fénycsőnek a szivattyúra való rárakási műveletét. Ezenkívül ezek a szerkezetek költségesek és rendszerint alapos karbantartást igényelnök. A higanyadagoló mozgó adagoló szervének működtetésénél általában elektromágneseket alkalmaznak. A mágnestékercsek a csöveknek a pozícióikba való belépése után mechanikus szerkezettel süllyednek és emelkednek fel a továbblépés megkezdése előtt. Az ilyen szerkezetek költségesek, komplikálták igen gondos karbantartást igényelnek és még emellett is előfordulhat .— tökéletlen működés esetén — géptörés. A fenti, általában ismert eljárások említett hibáinak kiküszöbölését szolgálja a találmányunk szerinti szivattyúzási eljárás és az ezen eljárás foganatosítására szolgáló berendezés. Találmányunk eljárás, kis nyomású gázkisülőcsövek szivattyúzására és azzal van. jellemezve, hogy a csöveket oly szivattyúrendszerrel szivattyúzzuk, amelynek végnyomása előnyösen 10~3 és 1 torr között van, a szivattyúzandó csöveket a szivattyúgépen elhelyezett vákuumkazánra, vagy vákuumkazánokra csatlakoztatjuk és a szennyezések 10-4 Torr-nál kisebb parciális nyomását a nemesgázzal és/vagy indifferens gázzal és/vagy higanygőzzel való ismételt öblítéssel biztosítjuk, oly módon, hogy a higanyon kívüli öblítő és töltőrészt 1 ata.-nál nagyobb nyomású töltőrendszerről adagoljuk a gép egy lépésoiklusához képest rövid idő alatt. A találmányunk szerinti eljárásnál az öblítéshez, ül. töltéshez szükséges gázmennyiséget 1 ata. feletti nyomású töltőrendszerből adagoljuk oly módon, hogy a gázbeáramlási időt a forgó szeleptányér elforgási sebességével állandósítjuk, a beármalási sebességet pedig a kívánt töltőgáznyomástól függően a töltőrendszer túlnyomása és a rendszerbe iktatott áramlási ellenállások beszabályozásával állítjuk be. A találmányunk szerinti eljárásnál a vákuum kazánokat, ill. a szivattyú rendszert a szivatytyúzott kisülőcsövek törése esetén a beáramló levegőtől pozíciónként beépített visszacsapó szeleppel védjük. A találmányunk szerinti eljárás foganatosítására szolgáló berendezés azzal van jellemezve, hogy a szivattyú törzsében vákuumkazán, ill. vákuumkazánok vannak elhelyezve az álló szeleptányérral való csatlakozással s ezen vákuumkazánok a gépen kívül elhelyezett szivattyúkkal vannak összekötve. A vákuumkazánok nyomása 10-3 és 1 Torr között van, mely nyomást előnyösen Root-rendszerű szivattyúkkal tartjuk fenn. A találmányunk szerinti berendezésnél a forgókoszorú csővezetéke a szeleptányér és a töltendő kisülőcső közti szakaszon visszacsapó szelepet tartalmaz. A találmányunk szerinti berendezésnél a forgókoszorú mindegyik szivattyú pozíciójának komplett, velemozgó higanyadagolója van, melyek külön-külön el vannak látva a működtetésükhöz szükséges elektromágneses tekercsekkel, melyeknek gerjesztése rugalmas érintkező szerveken át történik. A találmányunk szerinti berendezés az elkészítendő kisülőcső elektródáinak kifűtésére, formálására, valamint a kisülőcső széthajlított árambevezető elektródáihoz az aktiválására szükséges áramot szolgáltató, az előrehaladás irányában folyamatosan egymáshoz közelítő árambevezető sínekkel van ellátva, abból a célból, hogy az érintkező sínekhez rugalmasan feszülő bevezető drótoknak a kályházás folyamán történő lágyulása ellenére az áramszolgáltatáshoz szükséges és elegendő érintkezés biztosítva legyen. A találmányunk szerinti berendezésnél a töltő rendszernek az álló szeleptányér előtti vezeték 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 2
