152719. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet munkadaraboknak, különösen félvezetőszerkezeteknek, korlátozott felületi kezelésére
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1964. VII. 02. (HA—700) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1963. VII. 02. Közzététel napja: 1965. X. 22, Megjelent: 1966. VI. 15. 152719 Szabadalmi osztály: 48 d1 1/00 Nemzetközi osztály: C 23 £, 1/00 Decimái osztályozás: 621.79.025 620.185 Feltalálok: Köhler Günter oki. fizikus, KHeinmachnow, Völkel Bernhard mérnök, Teltow, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Halbleiterwerk Frankfurt (Oder)1, Werkteil Stahnsdorf, Stahnadorf, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és szerkezet munkadaraboknak, különösen félvezetőszerkezeteknek, korlátozott feleleti kezelésére Tárgyak korlátozott felületi marásánál — különösen félvezetőszerkezetek marásánál — kívánatos, hogy a marási eljárás geometriailag pontosan definiált felületrészre korlátozódjon. A marási eljárás azt a célt szolgálja, hogy az előállítás eljárása során létrejött szennyeződéseket eltávolítsa. Félvezetőszerkezeteknél a felülettisztítás problémája egyrészt abban van, hogy a felületnek különböző vezetőképességű részei határolják egymást, másrészt a felülettisztítással olyan áthidalások kerülhetők el, amelyek záróirányú igénybevétel esetén a záróirányú karakterisztikát rontják. A találmány, eljárás és szerkezet a fent említett korlátozott felületkezelés megvalósítására. Különböző felületkezelési eljárások már ismeretesek. A tulajdonképpeni fél vezetőt est et elektródák nélkül pl. megfelelő oldatba mártják, miáltal a szennyező felületi réteg feloldódik. Ha a félvezető testet ezután az eljárás után elektródákkal szerelik fel és a felületüket ilyen módon kezelik, akkor a maróoldat általában az elektródokat is megtámadja. A kioldott elektródafémionok miatt a félvezetoelemek a legtöbb esetben használhatatlanná válnak, mert a maróoldatban levő legkisebb fémszennyeződés nyoma is károsan befolyásolja a félvezető karakterisztikáját. Az idegen fémion befolyásának kiküszöbölésére, vagy messzemenő csökkentésére — mint 10 15 30 ismert •— komplexkötésű maratófürdőt készítenek, hogy az a zavaró fémionokat lekösse. Ez az eljárás annyiból kezelhető nehezen, hogy az egyrészt a komplexkötésnek a szennyeződésekkel szembeni viselkedésétől, másrészt pedig az idegen, fémnek a félvezetőhöz való affinitásától függ. Ezenkívül kiderül az is, hogy a komplexkötésű marófürdő befolyását a félvezető szerkezetre, hatékony öblítés ellenére sem lehet kizárni. A félvezetőszerkezet villamos instabilitású és sok szempontból használhatatlan. Ismeretesek továbbá olyan eljárások, amelyeknél a megadott felületi rész, vagy pl. az elektródák maróoldat elleni védelme céljából lakkal, oxidréteggel, vagy ehhez hasonlóval vonják be. Az egyes felületi részek lefedésére megfelelően alakított maszkokat használnak. Az említett eljárásoknál azonban hátrányos, hogy a lefedés nem tökéletes, mivel különösen hosszú marási idő alatt, a takarórétegek a szélek mentén, vagy a félvezetőtest profil helyein felemelkednek és ezzel lehetővé teszik a maróoldal nem kívánt helyre való jutását. A marási eljárás után, a takarólakkot a további felhasználás céljából a maróoldattal mentesíteni kell. Egy további ismert eljárás abban van, hogy a maróoldatot a félvezetőtest meghatározott részeire szórják, miáltal a maróanyag támadását korlátozzák. Ennél az eljárásnál nem lehet teljesen elkerülni azt, hogy a maróanyag a védendő 152719
