152719. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet munkadaraboknak, különösen félvezetőszerkezeteknek, korlátozott felületi kezelésére

3 152719 4 részekre pl. az elektródokra kerüljön, úgyhogy a már említett zavarok létrejönnek. Végül olyan ismert eljárást említünk, amely nyomtatott kapcsolásoknál alkalmazható és amelynél az egyes felületi részeket gumibélyeg- 5 zővel való leszorítással takarnak el. Ennél az eljárásnál sem lehet — különösen a széleken — a gumibélyegzővel letakart részeknél a marás szempontjából éles határvonalat elérni. Hátra- . nyos továbbá, hogy különösen olyan elrendeze- 10 sek, amelyeknek vékony lapalakú félvezető részei vannak, gumibélyegző nyomásának nem tehetők ki. A találmány szerint, korlátozott felületi kezelésnek alávetett félvezető szerkezeteknél fent 15 ismertetett hátrányokat azáltal küszöbölhetjük ki, hogy a kezelőfürdő támadásának kitett és ettől védendő felületi tartományokat gázbéléssel takarjuk le. A találmány szerinti eljárás alapján a keze>- 20 lendő munkadarabokat, különösen félvezető szerkezetet két keszon közé helyezzük oly módon, hogy a felületi kezelésnek kiteendő felületi rész ezen keszonon kívül maradjon. A keszonra szerelt vezeték útján azok belsejébe gázt, pl. 25 levegőt vezetünk be, úgyhogy kis túlnyomást hozunk létre. Az egymásra helyezett keszonokat rugalmas rugószerkezettel tartjuk össze. A maróoldatnák á keszonok szélein való behatolását, az ott uralkodó gáznyomás akadályozza meg. 30 A keszonok a maróoldat által meg nem támadható anyagból, célszerűen műanyagból vannak előállítva. A keszonok határoló peremét nem kell síkalakúan kiképezni, hanem az a félvezető szerkezet profiljához igazodóan képezhető ki, 35 úgy azonban, hogy a keszont a félvezető szerkezetre fel lehessen erősíteni. A teljes szerkezetet^ azaz a keszont, a befoglalt munkadarabbal, a kívánt felületi kezelés céljából fürdőbe mártjuk, vagy más módon 40 maró vagy oxidációs eljárásnak vetjük alá. A találmány szerinti eljárás foganatosítási módját példaként az alábbiakban ismertetjük rajz alapján. Az ábra, félvezetőszerkezet meghatározott felületrészének befedésére szolgáló 45 találmány szerinti berendezés elvi vázlatos rajzát mutatja. 1 db A kiadásért felel: a Közgazdasági 66084S5. Zrínyi (T) Nyomda, Budap< Két, a kezelőfürdő által meg nem támadott anyagból álló pl. műanyagból kiképzett 2 keszonok között félvezetőszerkezet, pl. 1 egyenirányító van oly módon elrendezve, hogy a fürdő által kezelendő felületi tartomány, a keszonon kívül áll. A 2 keszont rugalmas 7 rugószerkezet, pl. 'műanyagcsat fogja össze. A 2 keszon belsejébe való levegő bevezetését mindig 3 vezeték oldja meg. A 2 keszon belsejében beállítható túlnyomással elérhetjük, hogy a marófolyadék a 2 keszonba ne hatoljon be és a félvezető szerkezet, valamint ä 2 keszon érintkezési területét gázpámával tömítse. Amint az a 1. ábrán látható, a fél vezetőszerkezetet már előzetesen 5 érintkező forrasztásokkal és 6 hozzávezetésekkel, vagy ehhez hasonló eszközökkel elláthatjuk. A teljes szerkezet egyszerűen kezelhető, könnyen előállítható, gyakorlatilag zavarmentesen és hatékonyan működik. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás munkadaraboknak korlátozott felületi kezelésére, különösen félvezetőszerkezetek részére, amelyeknek felületkezelését maró vagy oxidáló oldattal végezzük és amely oldatban a munkadarab felületének egyes részeit, a kezelési eljárás ellen árnyékoljuk azzal jellemezve, hogy a munkadarabok felületének olyan részeit, amelyeket az oldatnak nem teszünk ki, gázpárnával védjük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a munkadarabot két, gázvezetékkel ellátott műanyag keszonnal, a kezelendő felületi rész kihagyásával befoglaljuk, majd a keszonban gáznyomást állítunk elő és a teljes elrendezést, a felületkezelés elvégzésére a fürdőbe merítjük. 3. Szerkezet az 1. és 2. igénypontok szerinti eljárás foganatosítására azzal jellemezve, hogy a munkadarab két különböző oldalán fölhelyezhető, mindenkor egy vagy több gázhozzávezetéssel ellátott és rugóval összekapcsolt, a felület kezelendő részeit szabadonhagyó keszonnal van ellátva. rajz és Jogi Könyvkiadó Igazgatója, it V., Balassi Bálint utca 21—23. 2