121407. lajstromszámú szabadalom • Eljárás elhatárolt rétegek előállítására vákuumedényekben

!\Tegi)elent 1939. évi szeptember hó 1-én. MAGYAR KIRÁLYI SZABADALMI BÍRÓSÁG SZABADALMI LEÍRÁS 121407. SZÁM. VlI/d. OSZTÁLY. — _F. 7969. ALAPSZÁM. Eljárás elhatárolt rétegek előállítására vákuumedényekben. Ferii seli A.-G. cég, Berlin-Zelilendorf-ban. A bejelentés napja 1937. évi március hó 18-ika. Németországi elsőbbsége 1936. évi március hó 21-ike. Vákuumedények belső felületén rétegek előállításánál, pl. elektródák vagy átlátszó vagy átlátszatlan világítóernyők, sőt fotókatódák vezető alapbevonatának 5 előállításánál is többnyire a felgőzölő eljárást használják, amelynél vákuumban valaminő anyagot^ pl. fémet egészen az elgőzölgésig hevítenek. Ennél az eljárásnál pl. viszonylag kis, pontszerű ezüst-10 sugárf orr ássál dolgozhatunk, úgyhogy ezüstdróttal körültekeit platina dróttekercset ára mát vezetéssel izzásba hozunk és ezzel a rátekert ezüstdrótot elgőzölögtetjük. Sok esetben már most az 15 a feladat, hogy lehetőleg élesen elhatárolt fém- vagy egyéb rétegeket állítsunk elő. Ha ebből a célból az elgőzö'ögtetőforrást olyan védőköpennyel vesszük körül,amely a sugárzást csak a térnek egy bizonyos 20 részébe engedi meg, akkor a keletkező 5 bevonatnak annál kevésbé élesek a határvonalai, minél távolabb van a sugárforrás a besugárzandó falfelülettől. Viszont csak a. sugárforrás és besugárzott 25 felület nagyobb távolsága esetén érhető 1 el a bevonatnak olyan jó egyenletessége, aminő sok esetben kívánatos. Hogy ilyen esetekben is élesen és szabályszerűen elhatárolt rétegeket kap-30junk, a kívánt réteghatár közvetlen közelében ellenzőket vagy hasonló elemeket helyezhetünk be az elgőzölögtetőedénybe. Továbbá azokon a helyeken, ahol a csapadék határvonalát akarjuk létrehozni, 85 vagy ahol két bevonatot, pl. villamos szigetelés céljából, el akarunk választani egymástól, az edény falának egy részét az elgőzölögtető sugárforráshoz viszonyítva úgy alakíthatjuk ki, hogy az edény falának másik részére árnyékot 40 vessen. Ekkor csupán megfelelő, árnyékot vető kiemelkedést vagy bemélyedést kell létesítenünk. Ez egyszerű módon, üvegedény esetén, az edény belseje felé domború, illetve homorú barázda vagy 45 horony benyomásával vagy fúvásával, vagy pedig, kerámiai edényeknél, megfelelő kialakítással válik lehetővé. Ezt az esetet az 1. ábra tünteti fel, ahol az (1) vákuumedény falára a (2) sugárforrás 50 segítségével egymástól elkülönített (3) rétegeket vittünk fel. Az árnyékhatás létesítésére az edény falán borda vagy hurka-alakú vastagítást is létesíthetünk, amikoris a külső felület teljesen sima 55 maradhat. Ugyanezt a célt egy vagy több fokozatban létesített hirtelen kiszélesítéssel is elérhetjük, amint az a 2. ábrán látható. Ilyenkor a sugárforrás mindig olyan elhelyezésű, hogy az egyik 60 falrésznek a másik falrészre gyakorolt árnyékoló hatása folytán, gőzöletlen öv keletkezik. Az ellenzők alkalmazásával szemben ez utóbbi eljárásnak az az előnye, hogy az edények üvegfúvási vagy 65 kerámiai megmunkálásánál nem léphetnek fel nehézségek, továbbá, hogy nem kell ellenzőket bevinni, illetve utólag eltávolítani az edényekből. Továbbá az evakuálás szempontjábólalkalmas ellenző 70 anyag kikeresése sem szükséges. Ilymódon egymástól elválasztott, hengeres gyűrűket vagy csatlakozó hengeres elektródától elválasztott, sapkaszerű •elektródákat is előállíthatunk. Az éles hatá- 75 rok létesítésére a réteg anyagának utó-