118890. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés bevonatok előállítására testeken a bevonóanyagnak vákuumban való elgőzölögtetése útján

alomból álló részecskéket alkotnak, még mielőtt a bevonandó testet elérnék. Énnek következménye, hogy a bevonat durva szemcsés és rosszul tapad. 5 A találmány szerinti eljárás ezeket a nehézségeket kiküszöböli. A találmány értelmében az elgőzölögtetendő anyagot, tehát pl. a fémet, kvarcot, vagy a kvarchoz hasonló más szigetelő anyagokat, vagy pl. 10 ezüstkloridot folytonosan, vagy szakaszosan az uralkodó nyomással adott elgőzölögtetés! hőfok fölé hevített fűtőtestre oly kis mennyiségekben visszük fel, hogy a felhevített anyag azonnal elgőzölög, majd 15 a gőzöket önmagában ismert módon a hordozó testre, amelyen a bevonatot előállítani kívánjuk, lecsapjuk. A találmány szerinti eljárás lényeges jellemzője, hogy az időegységben az clgőzölögtetendő anyagnak 20 csak igen kis mennyiségei jutnak a fűtőtesttel érintkezésbe, úgyhogy az arra vitt anyag mindenkor azonnal gőzzé alakul. Az elgőzölögletett anyagot új anyaggal helyettesítjük, még pedig vagy foly-25 tonosan, .vagy szakaszosan, aszerint, amint ezt a mindenkori munkafolyamat megkívánja. Annak következtében, hogy az időegységben mindig csak rendkívül kis mennyi.30 ségű anyagot párologtatunk el igen magas hőfokon, a keletkezett gőz túlhevített, tehát a gőzmolekulák átlagos kinematikai energiája nagyobb, mint az ismert eljárásoknál és a gőz túlhevítése következtebea na-35 gyobb annál az értéknél, amely a szóban levő anyag elgőzölögtetési hőfokának az elgőzölögtetésre használt edényben uralkodó nyomás mellett megfelelne. A fűtőtestnek az a felülete, amelyen az clgőzöllög-40 letés végbemegy, a mindenkor bevezetett rendkívül kicsiny anyagmennyiség következtében a fűtőtest egész felületével szemben igen kicsiny, úgyhogy a gőzalomok minden irányban szétterjednek és így a 45 gőz sűrűsége, amely az elgőzölögtetés helyétől mért távolsággal exponenciális arányban csökken, az elgőzölögtetés terében igen kicsiny. Ezzel az atomok egymásközti öszszeütközésének valószínűsége is igen ki-50 csíny, úgyhogy a fent említett és az atomok szabad úthosszára vonatkozó feltétel annál jobban van kielégítve, minél kisebb az időegységben elgőzölög te le tt anyag mennyisége. Azokban a ritka csetek-55 ben, amikor az atomok az aránylag hideg gázmolekulákkal való ütközések következtében az elgőzölögtetési hőmérséklet alá hűlnek le, ez a lehűlés az elgőzölögtetés helyétől már oly távolságban történik, ahol a gőzsűrűség már nagyon kicsiny. Ezzel 60 csökken a bevonandó test elérése előtt az egymáson való kondenzálódásnak és nagyobb részecskék képződésének a lehetősége. Célszerű, ha a fűtőtestet az elgőzölögte- 65 lendő anyag bevezetése előtt már a szükséges magas hőfokra hevítjük és ha a munka befejezésekor előbb szüntetjük be az elgőzölögtetendő anyag bevezetését és csak azután a fűtőtest felfűtését. Hogy a 70 fent említett két feltételt kielégítsük, nevezetesen, hogy a fűtőtestre vezetett elgőzölög lelendő anyagnak az időegységenkénti mennyisége a fűtőtest tömegéhez viszonyítva mindenkor igen kicsiny legyen és 75 hogy az elgőzölögtetendő anyag és a fűtőtest közötti érintkezési felület az egész fűtőfelületnek csak elenyészően kicsiny tört része legyen, célszerű, ha az clgőzölögtelendő anyagot, pl. drót-, szalag-, szemcse-, 80 vagy poralakban vezetjük a fűtőtestre. A találmány szerinti eljárásnál nem kell a fent említett alacsony vákuumokkal dolgozni, igen jó minőségű bevonatokat állíthatunk elő 10 4

mm higanyoszlopnál na- 85 gyobb nyomások mellett éppen azért, mert az időegységben elgőzölögletett anyag mennyisége igen kicsiny és így a gőz túlhevített. Célszerű, ha az elgőzölögtetés előtt a készülékben levő gázmaradékokat iners 90 gázzal, vagy hidrogénnel helyettesítjük, mely célra finoman szabályozható szelepet alkalmazunk. Kijárhatunk úgy is, hogy a töltőgázt az elgőzölögtetés folyamata közben is folytonosan vezetjük a berendezésbe 95 és ezzel az abban uralkodó nyomást tetszés szerint változtatjuk, vagy állandó ériéken tarljuk. Kísérleteink azt mutatták, hogy célszerű, ha az elgőzölögtetés terében levő gázokat az elgőzölögtetés időtartama alatt 100 ionizáljuk. Nagyobb berendezésekben, valamint nagyobb felületek bevonásakor általában nem elegenidő, ha csak egyetlen elgőzölögtetési hellyel dolgozunk. Az ilyen esetekben, ami- 105 kor rendszerint nagyobb elgőzölögtető munkatér áll rendelkezésre, az elgőzölögtetést egyidejűleg a munkatér több helyén végezzük. Az elgőzölögtetés minden egyes helyén külön-külön fűtőtestet alkalmazunk, 110 alkalmazhatunk azonban két, vagy több elgőzölögtetési helyhez, vagy akár valamennyi elgőzölögtetési helyhez is csak egyetlen fűtőtestei. Lényeges, hogy az egyes elgőzölögtetési helyek egymástól oly 115 távolságokban legyenek, mely távolságokkal szemben az elgőzölögtetési helyek méretei elenyészően kicsinyek. Ez szükséges ah-