118890. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés bevonatok előállítására testeken a bevonóanyagnak vákuumban való elgőzölögtetése útján

hoz, hogy lehetőleg kicsiny gőzsűrűséget érjünk el, illetőleg, hogy az atomok nagy szabad úthosszát biztosítsuk. Az előállított, illetőleg lecsapódott bevonat minőségéből b mindenkor megállapítható, hogy az egyes elgőzöíögtetési helyek egymástól valló távolsága elegendő nagy-e. A találmány szerinti berendezés néhány kiviteli alakját a rajzban tüntettük 10 fel. Az 1. ábra drót- vagy szalagalakú anyagok elgőzölögtetésére való berendezést, a • 2. ábra szemcsés vagy poralakú anyag elgőzölögtetésére való berendezést, a 15 3. ábra nagy méretű felületek bevonására alkalmas berendezést, míg a 4. és 5. ábrák a fűtőtest különleges kiviteli alakjait mutatják. Az 1. ábra szerinti megoldásnál a (11) 20 harang (12) tömítés közbeiktatásával nyugszik a (13) alzaton Az alzat középső részén (14) csőcsonk van, amelyen át a harang belseje evakuálható. A (15) pofák között rögzítettük a (16) fűtőtestet, mely 25 wolfrámból, vagy molibdénből készült szalag és amelyet egyen-, vagy váltóáramú forrásból hevítünk. Az áramot a (17) vezetékeken vezetjük a (16) fűtőtestbe. Az elgőzölögtetendő (18) anyag vékony drót, 30 vagy szalag alakjában a (19) dobra van felcsévélve és azt két (20) görgő között vezetjük a (16) fűtőtestre. A (21) tokban elrendezett hajtómű mozgatja a (20) továbbítógörgőket. Ez a hajtómű lehet pl. vil-85 lamos motor, vagy óramű. Mint bevonandó testet a példában két (22) és (23) üveglapot vettünk fel, amelyeket az elgőzölögtetés helyétől két oldalt rendeztünk eil. Az üveglapokat (24), illetőleg (25) keretek 40 tartják. A (26) és (27) elektródákat (28) és (29) bevezetéseken: át (30) nagyfeszültségű forrásból tápláljuk. Az elektródákkal alkotott kisütőpálya célja a bura alatt levő gázok, vagy gőzök ionizálása. Erre az in-45 tézkedésre azonban nincs okvetlenül szükség és az egyébként is csak aránylag nagyobb nyomások mellett foganatosítható. Hogv a készülék belsejében a nyomást szükség esetén fokozhassuk, illetőleg, hogy 50 a levegőmaradékot más gázzal helyettesíthessük, á bura alá a (31) szeleppel sza^ bályozható (32) vezetéken át töltőgázt, pl. hidrogént vezetünk. Működtetés végett mindenekelőtt a fűtő-55 áramot kapcsoljuk be és a fűtőtestet oly hőmérsékletre hevítjük, mely magasabb mint az a hőfok, amelyen a készülék belsejében uralkodó nyomás mellett az elgőzölögteteiidő anyag gőzállapotba megy át. Ha pl. alumíniumot kívánunk elgő- 60 zölögtetni és a készülékben a nyomás 10~s

mm higanyoszlop, akkor a fűtőtestet 1500 Ora hevítjük. Ha a (20) továbbítógörgők hajtóművét megindítjuk, akkor megfelelő módon beállított sebesség mellett a 65 (18) drótnak mindenkor csak a hegye érintkezik a (16) fűtőtesttel és az azt alkotó csekély mennyiségű alumínium pillanatnyilag elgőzölög és a (22), iletőleg (23) üveglemezekre csapódik. A (18) drótot a 70 (20) görgőkkel folytonosan, vagy szakaszosan is meneszthetjük, aszerint, amint az üzem feltételei ezt mindenkor megkívánják. Célszerű, ha a (20) görgőket olyan hajtóművel működtetjük, melynek 75 sebessége szabályozható, mert az utánpótlás sebessége a (18) test különböző méreteitől függ. Függ azonkívül az elgőzölögtetendő anyag egyéb sajátosságaitól is. Ezeknek a tényezőknek megfelelően min- 80 denkor csak annyi anyagot juttatunk a (16) fűtőtestre, amennyi azon pillanatnyilag elpárolog. Ha hosszú és hajlítható testeket, pl. hosszú papiros- vagy filmszalagokat kell 85 bevonattal ellátnunk, úgy ezeket célszerűen tekercsalakban visszük a készülékbe és az elgőzölögtetés folyamata közben az anyagot a tárolótekercsről lefejtjük, a bevont anyagot pedig egy második tekercsbe felgom- 90 bolyítjuk. Az átgombolyítás közben az anyag az elgőzölögtetés helye mellett halad el. Mivel a (18) drót, vagy szalag tárolótekercse a készülék belsejében van, a készülékben igen nagy mennyiségű elgőzö- 95 lögtetendő anyag tárolható, úgy hogy hoszszú papiros-, film- vagy más szalagok egyetlen munkamenetben vonhatók be, anélkül, hogy a műveletet újabb be vonóanyag bevitele végett meg kellene szakítani. 100 Ha a bevonóanyagnak csak kis menynyiségeit kell elgőzölögtetni, akkor nem szükséges, hogy a drót- vagy szalagalakú anyagot felcsévéljük. Ez esetben pl. rövid drótot helyezhetünk a (33) vezetékbe, mely 105 saját súlya következtében alsó csúcsával a (16) fűtőtesten áll. Ha a fűtőtest üzemi hőmérsékletét elérte, akkor az azon álló drót anyaga folytonosan gőzzé alakul, miközben a még gőzzé nem alakult drót sa- 110 ját súlya következtében folytonosan sűlyed mindaddig, míg az egész anyag el nem párolgott. Ha az elgőzölögtetendő anyagot bármily okból nem kívánjuk drót- vagy szalag- 115 alakba hozni, vagy annak ily alakba való hozatala nem lehetséges, akkor az anyag szemcsés-, vagy poralakban is feldolgoz-