116221. lajstromszámú szabadalom • Eljárás katódos porlasztáshoz használt fémeleketródák előkezelésére
MAGYAR KTRÁLYI SZABADALMI BÍRÓSÁG SZABADALMI LEÍRÁS 116231. SZÁM. Yll/i. (Vll'/a., I V h l.) OSZTÁLY- — €. 4733. ALAPSZÁM. Eljárás katódos porlasztáshoz használt fémelektródák előkezelésére. La Dispersion Cathodique S. A. cég", Bruxelles. A bejelentés napja 1935. évi október hó 15-ike. Franciaországi elsőbbsége 1934. évi október hó 16-ika. A találmány célja, hogy fémek katódos porlasztási eljárását meggyorsítsuk1 és giazr daságossá tegyük és hogy katódosan porlaszthassunk oly fémeket isi, amelyeknek 5 porlasztása eddig vagy egyáltalán nem. vagy csak nagy nehézségekkel volt lehet' séges. Ugyancsak célja a találmánynak, hogy a katódos porlasztás az eddig szokásos nyomásoknál nagyobb nyomáson is 10 lehetséges legyen,. A találmány abból a felismerésből indul ki, hogy a katódos porlasztáskor felmerülő, fent megjelölt nehézségeket az a vékony gázréteg okozza, amiely a porlasz-15 tandó fém felületén kemoszorpció, vagy aktív (aktivált) adszorpció következtében van lekötve. Az aktív (aktivált) adszorpció alatt gázoknak szilárd testeken a primer valenciaerők okozta adszorpcióját 20 értjük, mely hatás csak bizonyos hő.fokhatár fölött jelentkezik észrevehető mértékben, innen a hőmérséklettel egy bizonyos maximumig nő és ezután már nem távolítható el egyszerűen a 25 nyomás csökkentésével. (Lásd H. Dohse und H. Mark „Die Absorption von Gasen und Dámpfen an festen Körpern", Leipzig, Akademische Verlagsgesellschaít m. b. H., 1933 és James Williaim Mc. Bain 30 „The soirption of gases and vapours by solids", London, 1932, George Routledge & Sons Ltd.) A találmány értelmében ezt a gáz rété get a porlasztás kezdetei előtt vagy annak 35 megkezdésekor úgy távolítjuk el, hogy az elektródát 800 C°-nál magasabb hőmérsékletre hevítjük. A gáz eltávolításéit célszerűen oly gáz atmoszférájában végezzük, amely a kötött réteg gázával vegyileg egyesül. 40 Annak a hőfoknak a mórtéke, anielyro a katódát fel kell hevíteni, a porlasztandó fémtől, a töltőgázi vegyi sajátságaitól és a fémen adszorbeált gáztól függ. Egyes elektródafémeknél ez a hőmérséklet a fe- 45 hérizzás hőmérséklete. Platin- és wolframéi ektródákuál 1300 C° lölö:; van. A kaf óda ezekre a hőmérsékletiekre többféle módon hevíthető. így pl. eljárhatunk úgy is. hogy a katódát a porlasztáshoz 50 használt árammal hevítjük fel, vagy pedig erre a célra külön áramkört is alkalmazhatunk. Célszeírű, ha az elektróda fenti módon történő gázmentesítése közben a hordozó 55 beporlasztandó felülete és az elektróda között védőernyőt alkalmazunk, miely az elporlasztott fémnek a hordozó-felületre vaB lecsapódását meggátol ja. A gázréteg eltávolításához szükséges 60 hőmérséklet azzal csö'kkienthieltö, hogy a hevítést ion iyjált gázatmorszf érában végezzülk. Az ionizáliáis fokozása végett segédeldktródákat is alkalmazhatunk, de errie magukat a porlasztó elektródákat, 65 röntgensugárzást Vagy radiimsugárzást is felhasználhatjuk. A találmány szerinti eljárást a katódos porlasztás minden esetében előnyöteien használhatjuk, pl. fűtőtestek, villamos el- 70 lenállálsdk, tükrök, stb. készítésénléi. Az alábbiakban az eljárás foganatosításának két példáját adjuk:
