116221. lajstromszámú szabadalom • Eljárás katódos porlasztáshoz használt fémeleketródák előkezelésére

116231. 1. példa. Kobalt katódos porlasztása végett 4 m m széles és 2 mm vastag kobaltszalagból készült elektródákat és mint töltőgázt hidrogént alkalmazunk. E gázat-5 moszféra nyomása 0.36 mm Hg. A katódákat 1100 C'-ra hevítjük. Az elektródákon adszorbeált gázréteg, mely oxigénből van, 1 perc alatt távozik el. Ezután a kobaltot 2000 Volt feszültség alatt porlasztjuk. 5 10 perces porlasztási idő alatt 40 miillimikron vastagságú fémréteget kapunk. 2. példa. Molibdén porlasztásához 0.S mm átmérőjű molibdéndrótból készítünk katódákat. Töltőgázként hidrogént alkaljj, mázunk. A hidrogén-atmoszféra nyomása 0.4 mm Hg. A katódákat 1200 C°-ra hevítjük, amikor az azokon adszorbeált gázréteg 2 perc alaitt eltávozik. Ezután 4 perces porlasztási idő és 1900 Volt feszültség 20 mellett 40 millimikron A"astagságú molibdén rét eget kapunk. 1. Eljárás katódos porlasztáshoz használt fémelektródák előzetes kezelésére, amelyre jellemző, hogy a temetek- 2," tróda felületén kemoszorpció vagy aktív (aktivált) adszorpció rtévén lekötött gázréteget porlaszbtás előtt vagy a porlasztási eljárás kezdetéin 800 C°-nál magasabb hőmérsékleten eltávolítjuk. 3c 2. Az 1. igénypontban védett eljárás foganatosítás,i módja, ameilyre jellemző, hogy az adszorbeált gázréteget az elektródáról oly gáaatmoszféráiban távolítjuk el, amely az elektródán adszorbeált gázzal vegyileg egyesül. 3. Az 1. igénypontban védett eljárás fogan altosítás/i módja, amelyre jellemző, hogy az elektródán adszorbeált gázréteget onnan oly gázatmosziférában távo- 40 lítjuk el, melyei e művelet közben iorr :álunk.